【課題】吸引力発生源において発生する振動が液体吐出に悪影響を及ぼしにくい。
【解決手段】サブキャリッジ１００に保持されたプレコートヘッド１０とインクジェットヘッド１１との間に吸引機構１３０が設けられている。吸引機構１３０は、固定側ダクト１３１、可動側ダクト１３２及び吸引ユニット１３３（吸引力発生源）を有している。固定側ダクト１３１及び可動側ダクト１３２は互いに連結され、吸引ユニット１３３は、固定側ダクト１３１及び可動側ダクト１３２を介してミストを吸引する。固定側ダクト１３１及び吸引ユニット１３３は、メインキャリッジ１２０に保持されており、可動側ダクト１３２はサブキャリッジ１００に保持されている。移動機構は、メインキャリッジ１２０に対してサブキャリッジ１００を移動させる。 （もっと読む）

【課題】 ソルダーレジスト等の液状材料によってノズル詰まり等の不良が発生すると、装置の稼働率が低下する。
【解決手段】 基板に液状材料を吐出させる複数のノズルが設けられたノズルユニットが、基板に対向している。移動機構が、ノズルユニットに対し、基板を面内方向に移動させる。撮像装置が、基板に塗布された液状材料により形成されたパターンを検出する。制御装置が、ノズルユニットに対して基板を移動させながら、基板にノズルユニットから液状材料を吐出させ、基板に付着した液状材料によって検査パターンを形成する。撮像装置で撮像された検査パターンの画像データを取得する。この画像データを解析することによって、ノズルヘッドのノズルの良否を判定する。不良と判定されたノズルからは液状材料を吐出させない制御を行い、良と判定されたノズルから液状材料を吐出させることにより、基板に薄膜パターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】液体に含まれる粒子が圧力室内に沈降した場合であっても、この粒子によってノズルが目詰まりすることを防ぎ、また沈降した粒子を攪拌することができる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル２３に連通する圧力室２０と、該圧力室２０に供給口２２を通じて液体を供給する共通液室２９と、を有し、圧力室２０内の液体に圧力変動を付与することによりノズル２３から液滴を噴射可能な液体噴射ヘッド２であって、圧力室２０の底面には、供給口２２側からノズル２３側への流体の流れに対して抵抗となる段差部２５が設けられた。 （もっと読む）

【課題】液状樹脂の廃棄を少なくして、樹脂膜の形成コストを低減すること。
【解決手段】本発明の樹脂膜形成装置（２）は、ウェーハ（Ｗ）を保持する吸着面（６１）を囲むように環状凸部（６５）が設けられた成膜用テーブル（２２）と、成膜用テーブル（２２）の環状凸部（６５）に当接して、ウェーハ（Ｗ）上方に液密な空間（Ｓ）を形成する塗布部（２３）とを備え、塗布部（２３）には、液密な空間に液状樹脂を供給する供給口（７４）と、ウェーハ（Ｗ）の外周側に対向する位置において液密な空間（Ｓ）内を吸引する吸引溝（７６）とが形成され、成膜用テーブル（２２）と塗布部（２３）とを相対的にスライドさせる構成にした。 （もっと読む）

【課題】軽量化を図りつつ、液体噴射ヘッドの払拭時に払拭部材が弛むことを抑制できるワイパーユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクを噴射する記録ヘッド２２に付着したインクを払拭する長尺状のワイピング部材３０の一端を巻装した繰り出しローラー８１、または、ワイピング部材３０の他端を巻装した巻き取りローラー８２のうち、払拭時にワイピング部材３０に対して作用する摩擦力によって張力がかかるローラーの回動を規制するラチェット１１５，１２４を備えた。 （もっと読む）

【課題】ワイピング部材の浪費を抑制しつつ、ワイピング部材において液体を吸収した部分が液体噴射ヘッドに当接することを回避することができるワイパーユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクを噴射する記録ヘッドに付着したインクを払拭する長尺状のワイピング部材３０を巻装した繰り出しローラーと、繰り出しローラーから巻き解かれたワイピング部材３０を巻き取る巻き取りローラー８２と、ワイピング部材３０において繰り出しローラーと巻き取りローラー８２との間の掛装される部分を巻き掛けた状態で、繰り出しローラーから巻き取りローラー８２へのワイピング部材３０の繰り出しに伴って連れ回るように回動する中継ローラー８９と、中継ローラー８９の回動量を検出するロータリーエンコーダー１２９とを備えた。 （もっと読む）

【課題】キラキラとした輝きを有する堆積物を製造する。
【解決手段】本発明は、堆積物製造方法であって、基板上に散乱粒子を供給する工程と、基板上に供給された散乱粒子の上で、金属イオンを含有する第１の液体と、金属イオンを還元させることができる還元剤を含有する第２の液体とを接触させることによって、散乱粒子の上に金属を析出させる工程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液滴の吐出精度の低下を抑制することができる液体噴射ヘッドモジュールの製造方法及び液体噴射ヘッドモジュール並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクを吐出する複数のヘッド１０と、複数の液体噴射ヘッド１０を保持する保持部材５０とを具備し、保持部材５０の一方面に、複数のヘッド１０が載置される載置面５４、及び保持部材５０を支持する位置決め治具７０の位置決めピン７８が当接される治具受け面５６が設けられたヘッドモジュール１の製造方法であって、保持部材５０の一方面に、載置面５４と治具受け面５６とを分断させるとともに面一に形成し、保持部材５０を治具受け面５６で位置決めピン７８に当接させ、保持部材５０の載置面５４に複数のヘッド１０を接着剤で仮固定し、締結部材６０で本固定する。 （もっと読む）

【課題】不良ノズルを確実に検出する液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基材に向けてノズルから機能液を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記基材に着弾した前記液滴の着弾径を測定する着弾径測定部と、制御部と、を備え、前記制御部では、前記ノズルから基材に向けて吐出された液滴の吐出量と前記基材に着弾した前記吐出量に対応する前記液滴の基準着弾径との関係を示す関係データを取得し、前記ノズルから前記基材に向けて前記関係データに含まれる所定の液滴量を吐出させて、前記基材に着弾した前記液滴の着弾径を測定させ、測定された検査着弾径と前記所定の液滴量に対応する前記基準着弾径とを比較し、前記ノズルの合否を判断する。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、基板に所定パターンの薄膜を精細に塗布することができる薄膜塗布装置を提供することにある。
【解決手段】
ｘｙｚ直交座標系を定義したとき、ｚ方向に向けて薄膜材料を吐出する複数のノズルがｙ方向に配列するノズル列を含む複数のノズルヘッドと、前記複数のノズルヘッドを保持するホルダと、を含み、前記ホルダは、前記複数のノズルヘッドを取り付ける際に、前記複数のノズルヘッド各々のｙ方向に対する配置位置を規定することができる位置決め機構を有する。 （もっと読む）

【課題】高粘度の塗布液を、無駄なく均一に基板上に塗布する。
【解決手段】レジスト塗布装置１の塗布ノズル３３は、その内部にレジスト液Ｒを貯留する貯留室６２が形成された本体部６０と、本体部６０の下面に形成され、レジスト液Ｒの表面張力によりその先端にレジスト液の液溜りを形成するスリット状の吐出口６１と、貯留室６２と吐出口６１とに連通するレジスト液流路６３と、を備え、レジスト塗布装置１は、塗布ノズル３３とウェハとを相対的に上下方向及び水平方向移動させる移動機構と、前記貯留室内部の圧力を調整する圧力調整機構７１と、を有している。圧力調整機構７１は、塗布ノズル３３とウェハとを相対的に移動させてウェハにレジスト液Ｒを塗布する間、吐出口６１からのレジスト液Ｒの吐出量が一定となるように、貯留室６２内部の圧力を調整し、且つ負圧に維持する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドを精度よくアライメントすることのできるインクジェットヘッドの組立方法を提供する。
【解決手段】基準座標データに基づいて、インクジェットヘッドをヘッドプレートに組み付けたヘッドユニットを、姿勢変更して使用状態としたときのインクジェットヘッドの使用状態座標データを取得する使用状態データ取得工程Ｓ０７と、基準座標データと使用状態座標データとを比較し、インクジェットヘッドの位置ズレ量を取得するズレ量取得工程Ｓ１１と、基準座標データを位置ズレ量により補正した実装座標データを取得する実装データ取得工程Ｓ１１と、実装座標データに基づいて、インクジェットヘッドをヘッドプレートに組み付けるヘッド組付け工程Ｓ１３と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】作業位置精度の高い基板用搬送ステージ、それを備えた描画装置、および、それを用いた描画方法を提供する。
【解決手段】基板用搬送ステージ５０は、ベース１と、主走査軸方向としてのＹ軸方向の走査を行なうＹ軸モーター５と、Ｙ軸モーター５の可動子としてのＹ軸テーブル１０に載置されＹ軸方向と交差する副走査軸方向としてのＸ軸方向の走査を行なうＸ軸モーター１５と、Ｘ軸モーター１５の可動子としてのＸ軸テーブル２０に載置されＹ軸方向やＸ軸方向と直交する直交軸回りの回転を行なうθ軸回転式モーター２５およびその可動子としての基板ステージ３０と、Ｙ軸テーブル１０と基板ステージ３０とをロックするロック手段としての摩擦ブレーキ部１８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 供給路部材と弾性部材との接続部分からの液体漏れの発生を抑えつつ、供給路部材を弾性部材の開口部に挿入する際に要する力を低減することが可能な供給路接続部材を提供する。
【解決手段】 供給路接続部材は、液体を供給する供給路部材と、供給路部材が挿入され、供給路部材によって外周方向へ押圧される内壁を備える開口部が設けられた弾性部材と、弾性部材を収容する収容部材と、供給路部材の挿入方向に関して弾性部材を押圧する押圧部材と、を有する。ここで、弾性部材には、押圧される内壁と外周方向に関して重ならない位置に、挿入方向に関して収容部材と押圧部材とで挟持された挟持部が形成されている。更に、供給路部材が開口部に挿入された状態で、開口部に対応する弾性部材の外周部には、外周方向に関して収容部材に当接される当接部と、外周方向に関して収容部材に当接されない非当接部と、が形成されている。 （もっと読む）

【課題】補完された画素が筋として視認されること、画素の除去部位が筋として視認されることのうち少なくとも一方を防止可能な印刷システム、印刷方法およびレンズシートを提供する。
【解決手段】一方向を長手とする複数の凸レンズ１１を有するレンズシート１０に印刷する印刷システム２０であり、レンズシート１０に印刷を行う印刷手段４４と、印刷手段４４を制御する制御部５５と、を具備し、制御部５５は、複数の凸レンズ１１に対するレンズ分配画像が実際のレンズピッチと異なる所定のピッチに基づくものである場合、一方向に沿うと共に一方向と直交する方向で散在する位置においてレンズ分配画像を構成する画素を凸レンズ１１の隣接部から所定範囲内で補完するか又は除去するかの少なくとも一方を伴う補修に基づき印刷を行うよう印刷手段４４を制御する。 （もっと読む）

【課題】プランジャーの移動速度の調節を容易に行うことができる液体材料の吐出装置および方法の提供。
【解決手段】ノズルと連通し、液体材料が供給される液室５０と、後端部にピストン３３が形成され、先端部３１が液室内を進退動するプランジャーと、プランジャーに付勢力を与える弾性体４７と、ピストンが配設され加圧気体が供給される加圧室と、を備え、プランジャーを高速で進出移動させることによりノズルから液体材料を吐出する液体材料の吐出装置であって、前記弾性体がプランジャーを後退方向に付勢し、前記加圧室に供給された加圧気体がピストンに推進力を与えることによりプランジャーを進出移動させる。 （もっと読む）

【課題】従来の描画装置では、描画品位を向上させることが困難である。
【解決手段】描画シートＷに設定された許可領域７３に、吐出ヘッド３３を前記ワークの搬送経路に対して交差するＸ方向に移動させながら、吐出ヘッド３３から液状体を吐出することによって、許可領域７３に前記液状体で描画を行う描画工程と、描画シートＷの余白領域７５に、吐出ヘッド３３から前記液状体を吐出することによって、余白領域７５に前記液状体で検査パターンを形成する検査パターン形成工程と、吐出ヘッド３３よりも前記搬送経路の下流側において、余白領域７５を含む描画シートＷの一部に重なる位置に設けられた撮像装置１２で、余白領域７５の前記検査パターンを撮像する撮像工程と、前記検査パターンを撮像した結果に基づいて、吐出ヘッド３３における前記液状体の吐出にかかる性能の合否を判定する判定工程と、を含む、ことを特徴とする描画方法。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドのノズルから塗布液を吐出して塗布液の塗膜を形成しつつ、塗布液の塗膜の表面をより平滑にすることができる塗布方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドに設けられる複数のノズルから塗布液の液滴を基板Ｗに吐出させ、基板Ｗの周縁部における膜厚に比べて基板Ｗの中央部における膜厚が厚い塗布液の塗膜Ｆを形成する工程と、基板Ｗを回転させて基板Ｗの中央部から周縁部に向けて塗膜Ｆ内の塗布液を移動させる工程と、を備える塗布方法である。塗膜Ｆ内の塗布液を移動させる工程では、塗膜Ｆを形成している基板Ｗ上の塗布液は基板Ｗの中央部から周縁部に向かって移動するので、基板の中央部と基板の周縁部との間で塗膜の膜厚の差が減少し、塗膜の膜厚を略均一にすることができる。同時に、塗膜Ｆ内の塗布液が動くことによって、塗膜Ｆの表面をより平滑にすることができる。 （もっと読む）

【課題】従来の描画装置では、コストを低減することが困難であるという課題がある。
【解決手段】紫外光４１の照射を受けることによって硬化する機能液５３を吐出する吐出ヘッド３３からワークＷに向けて機能液５３を吐出することによって、ワークＷに機能液５３を塗布する塗布工程と、ワークＷに塗布された機能液５３に対して、紫外光４１を含む光を発する光源４３により紫外光４１を照射する照射工程と、前記照射工程の前に、ワークＷの熱特性に応じて光源４３とワークＷとの間の距離を制御する距離制御工程と、を有する、ことを特徴とする描画方法。 （もっと読む）