【課題】液体のリッチ現象を回避するとともに、液体吐出装置の構成の簡略化、及び小型化を図る。
【解決手段】液体吐出装置１は、導電性接着剤３を吐出するものであり、吐出対象の導電性接着剤３には、少なくとも金属フィラーが含まれている。また、液体吐出装置１には導電性接着剤３を収納するシリンジ４が設けられ、このシリンジ４に収納している導電性接着剤３を攪拌する攪拌部材６が設けられている。また、攪拌部材６は、導電性接着剤３と非接触状態で電磁誘導により金属フィラーを移動させて導電性接着剤３を攪拌する。 （もっと読む）

【課題】スピンレスレジスト塗布装置を用いたレジスト塗布時に、スピンレスのスリットノズル内の気泡、詰まりを早期に発見し、塗布不良の発生を未然に防止することである。
【解決手段】レジストを吐出するスリットノズルと、スリットノズルにレジストを供給するレジスト供給源からなるレジスト供給機構とを備え、被処理基板の表面に水平走行させつつ、スリットノズルの内部に充填されたレジストを吐出させることにより、レジストを基板に塗布するスケルトンスピンレスノズルであって、スリットノズル及びレジスト供給機構は、透明化した部分からなるスケルトンスピンレスノズルであり、透明化した部分からその内部に充填されたレジストが視認されるスケルトンスピンレスノズルであって、そのスケルトン部分の表面の一部分に監視カメラが付設され、レジストの撮像の変化量が監視されるスケルトンスピンレスノズル。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、圧着、接着、溶接やロウ付けのような接合部での強度低下や接合欠陥が生じる方法ではなく、接合部で強度低下や接合欠陥が発生せず、たわみ等の変形がない２ｍ以上の長尺の超硬合金製塗布工具用先端部材とそれを具備する塗布装置用塗布工具を得ることである。
【解決手段】1回以上の焼結処理（ＨＩＰを含む）を施した２個以上の超硬合金焼結体部材を、拡散接合して塗布工具用先端部材を製造する。長尺の超硬合金製塗布工具用先端部材を得るため、２個以上の超硬合金焼結体部材を拡散接合して一体となるように形成しているので、２個以上の超硬合金焼結体部材を圧着、接着、溶接やロウ付けで一体としたものと比較すると、接合部での強度低下や接合欠陥が発生せず、たわみ等の変形がない長尺の超硬合金製塗布工具用先端部材とそれを具備する塗布装置用塗布工具を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】構造がより簡単で、より効率的に液滴を吐出することができる液体吐出ヘッド及びこの液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子の変位を圧力室内の液体に伝達することで圧力室に連通するノズルの吐出孔から液体の液滴を吐出する液体吐出ヘッドにおいて、ノズルが体積抵抗率を１０¹⁵Ω・ｍ以上とする樹脂又はガラスより形成されているノズルプレートと、ノズルプレートに形成されているノズルが連通する圧力室となる圧力室溝がＳｉ又は石英より形成されているボディプレートとを含み、圧電素子の第１の面は、圧力室内の液体に接する圧力室の壁の一部をなしている。 （もっと読む）

【課題】濃度の高い色素材料を塗布する場合、液溜りの生じにくい安価な塗布装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る塗布装置１０は、色素材料を供給するバルブ部１４と、バルブ部１４に着脱可能で、色素材料を光ディスク基板表面に付着させるノズル１２とを備え、ノズル１２の吐出先端部に小径の吐出管１２ａが形成され、該吐出管１２aの外周にフッ素加工部材１１が被覆されている。 （もっと読む）

液滴噴射ヘッド（１００）は、液体噴射装置（１）内に取り付けられるように設計される。液滴噴射ヘッドは、作動チャンバー（１０５）を含み、この作動チャンバー（１０５）が液体供給チャンバー（１０６）に接続された入口及び噴射ノズル（９９）に接続された出口を有する。作動チャンバーもまた、制御装置から受容されたエネルギーによって作動される場合に、作動チャンバーに含有された液体内にパルス波を生み出すための作動手段（１２０）を含む。作動チャンバーの出口（１０８）は、単一の共通の噴射ノズル（９９）に接続され、液滴が単一の共通の噴射ノズル（９９）を通じて噴射される。
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【課題】反りの発生を抑えることが可能な多層構成基板を用いた静電吐出ヘッドを提供すること。
【解決手段】静電力を作用させるための制御電極と、インクガイドに対向する位置に配置された対向電極とを備え、基板の表裏でほぼ等しい曲げ応力がかかるように構成した多層構成の制御基板を用いる。基板の表裏でほぼ等しい曲げ応力がかかるように構成する方法としては、熱膨張率がほぼ等しい層同士を概ね上下（表裏）対称になるように配置する構成，補強層を配置する構成あるいは前記層の材質として高剛性を有する材料を用いる構成等が好適に用い得る。 （もっと読む）

【課題】 半導体基板等の被処理基板上にフォトレジスト液等の処理液を吐出させる場合において、処理液の吐出状態を正確にモニタリングすることができる吐出装置を提供すること。
【解決手段】 光透過性素材により断面形状が円環状に成形された処理液吐出ノズル２を横切るようにして、光投射手段４ａと受光手段５ａを含む光学センサによる光路６が形成される。そして、前記光投射手段と受光手段を結ぶ直線上から若干外れた位置に、前記処理液吐出ノズルの軸芯を位置させた構成にされている。前記ノズル２より処理液Ｒが吐出される場合には光投射手段４ａからの光は屈折作用により受光手段５ａには到達しない。一方、ノズル２より処理液Ｒが吐出されない場合には光投射手段４ａからの光は屈折を受けずに受光手段５ａに到達する。前記した光学的な構成によると、処理液Ｒの色の濃さに依存されることなく、処理液Ｒの吐出状態を検知することができる。 （もっと読む）

【課題】 粘度の高い塗布液を、間歇的に、基板の両面に厚塗りするスリットコータと、乾燥設備を備えた基板のコーティングシステムを提供する。
【解決手段】 基板１を垂直に搬送する基板搬送手段と、搬送される基板１の両側に配置され、塗布液を基板１の両面に同時に塗布するスリット状の吐出口を有する塗布ヘッド３と、塗布ヘッド３に塗布液２を供給する塗布液供給手段と、塗布ヘッド３を移動させて、吐出口４と塗布面との間の距離を所望の距離に変更するヘッド移動手段と、吐出口４から吐出した塗布液２を塗布液供給手段へ戻す塗布液戻し手段と、を含み、塗布ヘッド３が、塗布位置と待機位置との間を移動することによって、塗布を間歇的に行なう。また待機位置において、吐出口４から吐出した塗布液を塗布液供給手段へ戻すことによって、基板の塗布を間歇的に行なう場合でも、塗布ヘッド３内で塗布液を連続的に流動させることができる。 （もっと読む）

【課題】 ヘッドの反りを低減して印刷品質を向上することができると共にコストを低減した液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 液滴を吐出するノズル開口２１が並設された液体噴射ヘッド２２０と、該液体噴射ヘッド２２０に固定されるヘッドケース２３０とを具備し、前記ヘッドケース２３０の前記ノズル開口２１の並設方向である基準方向の線膨張係数を前記基準方向と直交する方向の線膨張係数よりも小さくする。 （もっと読む）

【課題】 スリット式塗布ノズルへの被塗布物の付着を抑制することのできるスリット式塗布装置を提供する。
【解決手段】 基台１１０と、スリット式塗布ノズル１２０とを備える。基台１１０には、基板１３０が載せられ、スリット式塗布ノズル１２０は、基台１１０の上方に設けられる。スリット式塗布ノズルの少なくとも一部の領域には薄膜１２１が形成され、被塗布物を塗布するときに、被塗布物とスリット式塗布ノズル１２０とが、薄膜１２１により隔離され、被塗布物が容易に付着しないようにして、清潔に保つ。 （もっと読む）

【課題】 長期間の塗布を行っても塗布幅方向で均一な塗布膜厚を有し、塗布故障が少ない塗布製品が得られ、塗布液と接する箇所の清掃が容易なフッ素系樹脂により被覆加工された１ｍ以上の広幅のダイコータを用いた塗布装置及びダイコータの作製方法の提供。
【解決手段】 塗布液を塗布幅方向に広げるポケット部と、該塗布液を該ポケット部へ供給する塗布液供給口と、前記塗布液を前記ポケット部から支持体に吐出するスリット部とを有し、少なくとも２本のバーを組み付けたダイコータを用いた塗布装置において、前記塗布液に接する該ダイコータの面を構成する該バーの少なくとも一部がフッ素系樹脂で被覆加工されており、前記バーを底面側を下にして台の載置面上に載置し、焼成炉で該フッ素系樹脂を焼成処理した後、仕上げ研削加工したことを特徴とする塗布装置。 （もっと読む）

第１のアプリケータスロットと流体連通している空洞を共に画定する少なくとも第１の部分（１２）および第２の部分（１４）と、第２の部分に対して第１の部分を締結するように配置された少なくとも１つの簡易脱着固定具（４８、５２）と、を有するスロット塗布ダイ（１０）に関する。本発明は、第３の部分を含み、第２の部分および第３の部分が、第２のアプリケータスロットと流体連通する第２の空洞を共に画定する多層塗布ダイの作成に特に適する。好ましい後部操作式の簡易脱着締結は、シムを交換するため、またはスロットを清掃するために、内部部分の１つにアクセスするためのダイ全体の解体の必要性を除去する。
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【課題】 接着剤をそれに含まれる異物の影響少なく塗布することができるようにする。
【解決手段】 ナイフエッジ２を備え、移動する被塗工面３ａに接着剤４を供給し塗布する塗工ヘッド１において、被塗工面３ａの反移動方向側に向くナイフエッジ２の背面２に凹陥部５を設ける。ナイフエッジは供給される接着剤を貯留してその温度と圧を調整しながら被塗工面に供給するタンクの供給口に設けられる。ナイフエッジにはは好ましくは均質焼き入れ鋼を用いる。 （もっと読む）

【課題】 塗布処理の効率を低下させることなく吐出部材の乾燥を防止しようとする塗布装置を提供する。
【解決手段】 インクタンク３に貯留された修正インク７に正圧を作用して、該修正インク７を前記インクタンク３に取付けた塗布針８からカラーフィルタ１９に吐出する塗布装置１であって、前記塗布針８の外側面に接触させて設けられ、塗布針８内の前記修正インク７を冷却又は凍結及び加熱又は解凍させる冷却加熱手段５と、該冷却加熱手段５の駆動を制御する制御手段６とを備え、前記冷却加熱手段５の駆動により、前記修正インク７の吐出待機時に前記塗布針８内の修正インク７を冷却又は凍結させ、吐出時に該塗布針８内の修正インク７を加熱又は解凍するものである。 （もっと読む）