【課題】電極パターンの断線が生じ難いインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に枠部材を設置し、この枠部材に囲まれた空間内に、溝状の圧力室を形成した圧電部材を設置し、前記空間を、前記圧力室との対向部にノズルを有するノズルプレートにより覆って共通液室を形成し、前記基板に穿設したインク流通孔を通して前記共通液室に供給されるインクを、外部からの信号により前記圧力室を変形させて、前記ノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、前記圧電部材は、直方体の両側面を所定の傾斜面とした台形状を成し、前記圧力室は、前記圧電部材の台形面と平行で、上面に開溝する溝状に形成され、この圧力室の溝底部上面から前記両傾斜面上を通って基板上に達する電極パターンが形成されており、前記圧力室として前記圧電部材に形成される溝の底辺と前記傾斜面との交差部は滑らかに形成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電部材と配線部材の電気的接続信頼性を確保するために生産性が低下する。
【解決手段】ＣＳＰ１６の出力端子１６２と駆動柱１２Ａの個別外部電極２３とははんだバンプ１６４による半田４１Ｂで接合され、ＣＳＰ１６の入力端子１６１とＦＰＣ１５の配線電極とははんだバンプ１６３による半田４１Ａで接合され、ＣＳＰ１６の出力端子と圧電部材１２の個別外部電極２３とを接合する半田４１Ｂの厚みは、ＣＳＰ１６の入力端子とＦＰＣ１５の配線電極１５Aとを接合する半田４１Ａの厚みよりも薄くしている。 （もっと読む）

【課題】ノズルへの異物詰まりを防止する。
【解決手段】液体を液滴として吐出するノズル４と、該ノズル４に連通する個別流路６と、液体が個別流路６に至る途中に設けられたフィルタ１０と、を少なくとも備えた液滴吐出ヘッド１において、フィルタ１０は、ノズル４から液滴を排出する方向に液体を流した場合と、ノズル４から液体を供給する方向に液体を流した場合とでは、捕捉できる異物のサイズが異なるものとしている。 （もっと読む）

【課題】微少量の塗布剤の塗布も可能とする塗布装置を提供する。
【解決手段】シリンジ４２をヘッド２１に接続し、樹脂１１をヘッド２１の貯留空間３１に供給する。圧力制御部５１からのエア圧に応じた予圧を貯留空間３１内の樹脂１１に付与する。ヘッド２１のノズル部２３に小孔部６３とテーパー部６４からなる連通穴６１を設け、小孔部６３は、チップをボンディングする為に十分な樹脂量の樹脂１１を貯留可能とする。ヘッド２１に押出ツール７４を挿通し、前進時に小径部８２に貯留した樹脂１１を押出ツール７４の先端部に付して押し出して、ボンディング箇所１０１に塗布する。 （もっと読む）

【課題】圧電体に発生するクラックが少なく、電極間の短絡や圧電素子の駆動不良の少ない安定した液体の噴射を行なう液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】流路形成基板１０の壁１５に形成された突出部１６の厚みは、流路形成基板１０の厚みより薄いので、突出部１６は流路形成基板１０と比較して変形し易い。また、振動板５６は対向面１０１と対向面１０１に連続した突出部１６の支持面１６０によって支えられているので、圧電体能動部３２０および振動板５６は連続して緩やかに変形することができる。したがって、圧電体能動部３２０の端３２１の圧電体層７０に応力が加わりにくく、圧電体層７０のクラックの発生を抑えることができ、下電極６０と上電極８０との間の短絡や圧電素子３００の駆動不良の少ない、安定したインクの吐出を行なうインクジェット式記録ヘッド１を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の破壊を抑制すると共に、圧電素子の変位特性に優れた液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び圧電素子、並びに液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、第１電極６０と、第１電極６０上方に形成された圧電体層７０と、圧電体層７０上方に形成された第２電極８０と、少なくとも圧電体層７０の側面を覆うと共に第２電極８０上面に臨んで設けられ且つ第２電極８０の上面に開口部１４１を有する絶縁膜１４０と、を備えて圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧電素子と、を具備し、第１電極６０及び第２電極８０によって圧電体層７０が挟まれた領域である圧電体能動部３２０に対応する領域では、絶縁膜１４０と第２電極８０上面との間には間隙１５０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】
塗液の漏れなく、基材に対する高精度な平行度をもつ塗布ヘッドであって、複数の金属部材とそれらに挟み込まれるシール部材から構成され、組み立てた状態で一定期間経た後に分解しても、シール部材が金属部材に固着することなく、シール部材と金属部材を容易に分離することができる塗布ヘッドを提供することを目的とする。
【解決手段】
第１の金属部材と第２の金属部材のそれぞれの接合面が互いに向き合うように配置され、かつ第１の金属部材の接合面側に設けられた溝部内にシール部材が配置され、シール部材を圧縮する応力により第１の金属部材および第２の金属部材とが固定されてなり、第２の金属部材の接合面のうちシール部材と接触する部分の表面の最大高さが、第２の金属部材の接合面のうちシール部材と接触せず直接第１の金属部材と向き合う部分の表面の最大高さより大きいことを特徴とする塗布ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】ホットメルト接着剤などの塗剤を数10μｍオーダーの薄膜に塗布できるようにするとともに、小さな工数でレベリングよく平滑に塗布できるようにする。
【解決手段】吐出された液状の塗剤を物理的に引き延ばし、引き延ばされた塗剤を被塗物表面に塗布し、被塗物の少なくとも塗剤が塗布された表面を加熱し塗布された塗剤を溶融してレベリングさせる。 （もっと読む）

【課題】基板表面の微細領域に安定して液体を塗布することが可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】この塗布装置では、ノズル１の内部にインク２を注入し、ノズル１に固定した歪センサ３の出力信号に基づいてノズル１の先端が基板４の表面に接触したか否かを判別する。制御部５は、Ｚステージ７を制御してノズル１を基板４の方向に移動させ、ノズル１の先端が基板４の表面に接触したことに応じてノズル１を停止させ、ノズル１の先端のインク２を基板４の表面に塗布する。したがって、ノズル１の先端径と略同じ径のインク層２ａを塗布できる。 （もっと読む）

【課題】ディスペンサ本体内への薬液充填を簡便にすると共に薬液の一部が無駄に消費されるのを抑制する。
【解決手段】本体内に充填された薬液８を適量吐出するマイクロディスペンサであって、両端部が開口し、先端部１ｂがテーパ状に細くなったニードル管１と、ニードル管１内にその後端部１ｂの開口から挿入可能に形成され、両端部が開口し内部に薬液８を吸引するキャピラリ管２と、を備え、薬液８を吸引したキャピラリ管２を、その外周面２ｄとニードル管１の内周面１ｄとの間の隙間１０が封止されるようにニードル管１内に挿入した状態で、ニードル管１及びキャピラリ管２の後端部１ｂ，２ｂに一定圧のエアを同時に供給可能に形成されたものである。 （もっと読む）

【課題】ヘッド構成体の損傷を防止できる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴を吐出する液滴吐出ヘッド９を含むヘッド構成体を有し、ヘッド構成体及び記録媒体Ｐの一方を他方に対して走査移動させて記録媒体に液滴を吐出する。ヘッド構成体を支持してヘッド構成体と一体的に移動する支持部材４と、ヘッド構成体を挟んだ走査移動方向の両側において、ヘッド構成体よりも記録媒体と対向する方向に突出し、且つ、ヘッド構成体と分離して支持部材に設けられた突出部材６０を備える。 （もっと読む）

【課題】基板上に液状体をムラ無く塗布すること。
【解決手段】易酸化性の金属を含む液状体を先端部分から吐出するノズルを有する塗布部と、当該先端部分が基板上を通過するように基板と前記ノズルとを相対移動させる相対駆動部とを備え、ノズルのうち少なくとも先端部分には、液状体との間の親和性が液状体同士の親和性よりも弱くなるように形成された親和性調整部が設けられている。 （もっと読む）

【課題】基板Ｗ表面に形成された複数のパターンＦを跨いでライン状に塗布される塗布液Ａ3を各パターンＦ間に十分に流動させて、この塗布液Ａ3で構成されるパターンＣの断線を抑制可能とする。
【解決手段】パターンＣを構成する塗布液Ａ3は、パターンＦを構成する塗布液Ａ1よりも粘性が低く、換言すれば高い流動性を有する。そのため、この塗布液Ａ3を各パターンＦの間Ｉfに十分に流動させて塗布することができる。その結果、塗布液Ａ3で構成されるパターンＣを各パターンＦの間Ｉfで基板Ｗ表面に密接させて、パターンＣの断線を抑制することが可能となっている。 （もっと読む）

【課題】第１の構成部材を第２の構成部材に対して確実に位置決めすることを可能にする、アプリケーター及びノズル構造体を提供する。
【解決手段】液体材料を吐出するノズル構造体５は液体材料を吐出するノズルオリフィス３１を含む。ノズルオリフィスは第１の構成部材２５及び／又は第２の構成部材２７、並びに、第１の構成部材の位置を第２の構成部材に対して固定する位置決め要素に関連する。位置決め要素は、第２の構成部材の取付け穴４２に延びると共に第１の構成部材の対応凹部３９に延びる芯出しねじ２１として形成される。 （もっと読む）

【課題】ドープのリップ先端部への滞留を防止した溶液製膜用コーティングダイおよび溶液製膜方法を提供する。
【解決手段】芳香族テトラカルボン酸類と芳香族ジアミン類とを反応させて得られるポリアミド酸溶液からなるドープを吐出する溶液製膜用コーティングダイにおいて、コーティングダイの引き取り側のリップ先端部の表面粗さが、十点平均粗さ（Ｒｚ）でRz＝１．０μｍ以下となることを特徴とするポリアミド酸溶液製膜用コーティングダイ。 （もっと読む）

【課題】基板幅方向に長いスリット状の吐出口を有するノズルを備えた塗布装置において、生産性を低下させることなく、前記ノズルの洗浄を効果的に行う。
【解決手段】被処理基板Ｇの幅方向に長いスリット状の吐出口１０ａを有し、前記基板に対し、前記吐出口から塗布液Ｒを吐出するノズル１０と、前記ノズルに対し前記基板を相対移動させる相対移動手段５，６とを具備する塗布装置１であって、前記吐出口が形成されるノズル先端部１０ｂにおいて塗布液が流れる流路内に設けられた光触媒層３０と、前記光触媒層に光触媒可能な光を照射する光照射手段３４，３５とを備える （もっと読む）

【課題】ノズルの高密度化及び液滴吐出ヘッドの小型化を達成することのできる液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明の液滴吐出ヘッドＩＪ１は、ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一面側に弾性膜５０を介して設けられた圧電素子３００と、圧電素子３００の端子９０ａにフリップチップ実装された駆動ＩＣ１５０と、弾性膜５０を挟んで流路形成基板１０と反対側に設けられ、圧電素子３００及び駆動ＩＣ１５０と対向する面に、圧電素子３００の動作を阻害しない大きさの空間を確保して前記空間の内部に圧電素子３００及び駆動ＩＣ１５０を密封する圧電素子保持部３１が形成された封止基板３０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータの上部電極が酸化することを防止すると共に、駆動時に生じ得るセル間ショートを事前に防止することができるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】複数のインクチャンバ６０が形成される流路プレート１０と、インクチャンバ６０のインクを外部に吐出するためにインクチャンバに夫々連結される複数のノズル３５が形成されるノズルプレート３０と、インクチャンバ６０の上部に形成されインクチャンバ６０の圧力を調節する圧電アクチュエータ４０と、圧電アクチュエータ４０の酸化を防止するために備えられるパリレン保護膜５０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の応力集中を低減して圧電素子の破壊を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室が短手方向に沿って並設された流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に前記圧力発生室１２に対応して設けられて、第１電極６０、該第１電極６０上に設けられた圧電体層７０及び該圧電体層７０上に設けられた第２電極８０を有する圧電素子３００と、を具備し、前記第１電極６０が、前記圧力発生室に対応して独立して設けられていると共に、前記第２電極８０が、前記圧力発生室１２の並設方向に亘って連続して設けられており、前記第２電極８０には、前記第１電極に相対向する領域の端部に当該第２電極８０を貫通する開口部８１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】部材としてポリイミドを使用するインクジェットヘッドにより強アルカリ性のインクを出射しても、電気的な故障によるインクの不吐出を起こさないインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】電気的な接続手段として、ポリイミドを有する配線基板又はフレキシブルケーブル１０を備え、アルカリ溶液を吐出するインクジェットヘッドにおいて、酸性物質を含む保護材料２１を有する。 （もっと読む）