【課題】液状樹脂の廃棄を少なくして、樹脂膜の形成コストを低減すること。
【解決手段】本発明の樹脂膜形成装置（２）は、ウェーハ（Ｗ）を保持する吸着面（６１）を囲むように環状凸部（６５）が設けられた成膜用テーブル（２２）と、成膜用テーブル（２２）の環状凸部（６５）に当接して、ウェーハ（Ｗ）上方に液密な空間（Ｓ）を形成する塗布部（２３）とを備え、塗布部（２３）には、液密な空間に液状樹脂を供給する供給口（７４）と、ウェーハ（Ｗ）の外周側に対向する位置において液密な空間（Ｓ）内を吸引する吸引溝（７６）とが形成され、成膜用テーブル（２２）と塗布部（２３）とを相対的にスライドさせる構成にした。 （もっと読む）

【課題】マニホールド内のエアを十分に排出可能なダイヘッド及びこれを備えたダイコーターを提供する。
【解決手段】レジスト液Ｒを第１及び第２スリット２４、２５に供給するマニホールド２３が長手方向に延びて形成され、マニホールド２３の上端にはレジスト液Ｒを導入する導入口１５が設けられ、マニホールド２３の下端と連結される第１及び第２スリット２４、２５からレジスト液Ｒが吐出されるダイヘッド３において、マニホールド２３を形成する上壁面２２ｅが、導入口１５を下端として長手方向に勾配を有し、その上端にはエアを排出するエア排出口１６ａ、１６ｂが設けられている。 （もっと読む）

【課題】液滴の吐出精度の低下を抑制することができる液体噴射ヘッドモジュールの製造方法及び液体噴射ヘッドモジュール並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクを吐出する複数のヘッド１０と、複数の液体噴射ヘッド１０を保持する保持部材５０とを具備し、保持部材５０の一方面に、複数のヘッド１０が載置される載置面５４、及び保持部材５０を支持する位置決め治具７０の位置決めピン７８が当接される治具受け面５６が設けられたヘッドモジュール１の製造方法であって、保持部材５０の一方面に、載置面５４と治具受け面５６とを分断させるとともに面一に形成し、保持部材５０を治具受け面５６で位置決めピン７８に当接させ、保持部材５０の載置面５４に複数のヘッド１０を接着剤で仮固定し、締結部材６０で本固定する。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、出口幅に渡る塗布媒体を均一に分配することを確保するカーテンコーターを提案することである。
【解決手段】
液体またはペースト状の塗布媒体を重力下においてに移動するカーテンの形で、移動する紙または板状織物上に吐出するためのカーテンコーターであって、吐出幅に沿って延びており、少なくとも１つの供給ラインを経て前記塗布媒体が供給される第１の分配チャンバー、および流出方向において、前記塗布媒体を区分された流れに分断する流出チャネルを有し、かつ出口スロットを経てカーテンとして塗布媒体を吐出する第２の分配チャンバーを有するノズル本体から構成され、前記流出方向において、前記第２の分配チャンバーは、調整点および拡張チャンバーを通過する複数の方向変更する流路を有するカーテンコーター。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドを精度よくアライメントすることのできるインクジェットヘッドの組立方法を提供する。
【解決手段】基準座標データに基づいて、インクジェットヘッドをヘッドプレートに組み付けたヘッドユニットを、姿勢変更して使用状態としたときのインクジェットヘッドの使用状態座標データを取得する使用状態データ取得工程Ｓ０７と、基準座標データと使用状態座標データとを比較し、インクジェットヘッドの位置ズレ量を取得するズレ量取得工程Ｓ１１と、基準座標データを位置ズレ量により補正した実装座標データを取得する実装データ取得工程Ｓ１１と、実装座標データに基づいて、インクジェットヘッドをヘッドプレートに組み付けるヘッド組付け工程Ｓ１３と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】洗浄の必要性を減らし、衛星形成及び霧化を減らし、また、液体吐出出口からの液体の漏れを防止することができるディスペンサーを提供する。
【解決手段】
少量の液体を基材へ塗布するディスペンサー。ディスペンサー１０は、ディスペンサー本体１２と、ディスペンサー本体内のアクチュエーター１０ｂと、ディスペンサー本体に取り外し可能に連結される吐出要素本体５２を含む吐出要素５０とを含む。弁棒６０は、吐出要素本体内で往復移動するように取り付けられている。更なる態様は、変形可能な弁座と、変形可能かつ弾性的な弁棒の先端部と、個別量の液体を基材へ塗布する方法とを含む。 （もっと読む）

【課題】塗布作業中におけるノズルとワークとの接触を検知し、これに起因して生じる塗布不良を可及的に回避する。
【解決手段】本発明に係る高粘度流体塗布装置は、高粘度流体を吐出可能なノズル１２を少なくとも具備する。ノズル１２は、筒部１６と、筒部１６の内周に配設され筒部１６の吐出側１６ａとの間に隙間１７を形成する隙間形成部１８と、絶縁体１９を介して筒部１６と隙間形成部１８とを連結する連結部２０とで構成され、筒部１６と隙間形成部１８との間の電気抵抗を検出する電気抵抗検出手段１４をさらに具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液膜の幅を安定させることができるスリットノズルおよびこれを備えた基板処理装置を提供すること。
【解決手段】スリットノズル１１は、長手方向Ｘ１に延びるスリット状の吐出口５４が形成された吐出部４５と、吐出口５４の長手方向Ｘ１の両端にそれぞれ配置された一対のガイド部４６とを含む。一対のガイド部４６は、長手方向Ｘ１に間隔を空けて対向する一対のガイド面６６をそれぞれ含む。一対のガイド部４６のそれぞれには、ガイド面６６より凹んだ凹部６８が形成されている。 （もっと読む）

【課題】液体に混入する気泡や塵埃がヘッド内に滞留し、あるいはノズルに詰まって吐出特性を劣化させることを防止する。
【解決手段】
液体噴射ヘッド１は、液体吐出用のチャンネル５が形成されるアクチュエータ基板３と、チャンネル５に液体を供給する液体供給室６が形成されるカバープレート４とが積層するヘッドチップ２と、カバープレート４に設置され液体供給室６に液体を供給する流路部材７とを備える。ここで、流路部材７は、液体を流入する流入口８と、液体を流出する流出口９と、流入口８から流出口９に液体を循環させる循環路１０とを備え、流入口８又は流出口９とチャンネル５との間のいずれの流路にもフィルターが介在しない。 （もっと読む）

【課題】塗布方向の変更を伴う高粘度流体の塗布作業を短時間かつ低コストに実施する。
【解決手段】本発明に係る高粘度流体塗布装置は、高粘度流体を供給可能な流体供給部と、流体供給部から供給された高粘度流体を吐出可能なノズル１２と、ノズル１２を保持して、ノズル１２の先端を所定位置に移動操作可能なロボットアームとを具備する。ノズル１２は、筒部１５と、筒部１５の内周に配設され筒部１５との間に筒状空間を形成する筒状空間形成部１７とで構成され、筒状空間で高粘度流体の吐出口１４を形成した。 （もっと読む）

【課題】気泡を含む液体が基板などの対象物に供給されることを抑制または防止できるスリットノズルおよびこれを備えた基板処理装置を提供すること。
【解決手段】スリットノズル１１は、長手方向Ｘ１に延びるスリット状の吐出口５４が形成された吐出部４５と、吐出口５４に供給される液体が流通する液体流路５５が形成された供給部４３と、液体流路５５を上流側と下流側とに仕切っており、上流側と下流側とを接続する複数の第１接続路６４が形成された第１拡散板４７とを含む。 （もっと読む）

【課題】 スジムラ故障や泡欠陥のないエクストルージョン型ダイヘッドを用いた塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】 塗液を外部に吐出するスリット１７とこのスリット１７と連通し塗液を供給するマニフォールド１８とを内部に有するエクストルージョン型ダイヘッド１を使用して被塗布物上に塗液を塗布する塗布装置であって、マニフォールド１８の壁面に気泡捕集部１９としてＶ字溝を設ける。 （もっと読む）

【課題】分解及び組み立てを容易に実施可能なシンプルな構成でありながら、塗布剤の吐出圧及び吐出量を自在に調整可能であり、適正な厚みを有する道路標示を形成可能な道路プリンタを提供する。
【解決手段】道路プリンタ１０は、路面Ｒに塗布される道路標識用の塗布剤Ｐを圧送するための圧送装置５０を備えており、圧送装置５０から吐出幅可変装置１００を経由して吐出された塗布剤Ｐを直接的あるいは間接的に路面Ｒに塗布する。圧送装置５０は、一軸偏心ねじポンプ機構を備えたものであり、駆動機から動力を受けて偏心回転する雄ねじ型のロータと、内周面が雌ねじ型に形成されたステータとを有する。 （もっと読む）

【課題】塗工液の吐出口に対応する上下ダイ間の隙間を調整することが可能な塗工ダイヘッドに関して、該隙間の調整量を安定化させ、被塗工物の横幅方向における塗膜厚のさらなる均一化を図る。
【解決手段】本願発明の塗工ダイヘッド２６は、下面を有する上ダイ２と、塗工液を吐出するための隙間９を形成するように該下面に対向する上面を有する下ダイ１とを備える。さらに、上ダイ２の下面から該下面とは反対側の面までのダイ部分が上リップ４として、上ダイ２から分離されている。上リップ４の下面を下ダイ１の上面に対して平行移動して隙間９の間隔を調整する調整機構の部品として、楔５、天板３および調整ねじ７が設けられている。さらにダイヘッド２６は、上リップ４を固定することが可能な固定機構の一部品として固定ねじ６を有する。 （もっと読む）

【課題】積層型圧電部材の両端面に電極膜を形成して個別外部電極と共通外部電極とすると、圧電部材の活性部が不活性部で拘束されて変位量が低減する。
【解決手段】圧電部材１２の両端面及び底面には電極層３３が形成され、両端面のうちの各圧電柱１２Ａの個別外部電極２３を形成する端面側の不活性部３１の部分には、圧電柱並び方向に沿ってスリット溝３４が形成され、電極層３３は駆動柱１２Ａに対応する領域を含む個別外部電極２３と、不活性部３２に対応する部分とに分割されている。 （もっと読む）

【課題】付随液滴がノズル孔の縁に付着して塗布対象物上の狙いの位置に塗布液が塗布できなくなるのを抑制できる薄膜製造装置、前記薄膜製造装置で製造した電気機械変換薄膜を備えた電機機械薄膜素子、液滴吐出ヘッド、及び、液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズル孔とノズル板電極とを有するノズル板が設けられた液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドと対向する塗布対象物と、塗布対象物を介して液滴吐出ヘッドと対向する対向電極と、対向電極に電圧を印加する対向電極電圧印加手段と、ノズル板電極に電圧を印加するノズル板電極電圧印加手段とを備えた薄膜製造装置において、ノズル孔を基点にして所定方向にノズル板電極が２つ以上並んでおり、各ノズル板電極からの静電気力で付随液滴を前記所定方向に移動させ、ノズル孔側から２番目以降の所定のノズル板電極に付随液滴が静電気力で引き寄せられて回収されるように、各ノズル板電極に電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】 例えばフィンガー配線のような塗布パターンを基板の主面に形成する際に、塗布パターンを厚膜（高アスペクト比）に形成することができるパターン形成装置を提供する。
【解決手段】 第１ノズル４１の第１吐出口４７から吐出され、第１ノズル４１の対向面４５と、ステージにほぼ水平に支持されて第１ノズル４１に対して移動する基板９の主面との間に界面張力により存在する、光硬化性を有するペースト７に対して、その側方から光を照射することにより、ペースト７を硬化させる。 （もっと読む）

【課題】ＦＰＣとＦＦＣとを接合接続したフレキシブル配線部材の接合部における亀裂破損を低減する。
【解決手段】フレキシブル配線部材は、ＦＰＣ１５の後端側とＦＦＣ１６の先端側で配線電極３０２と配線電極３１２とが半田にて接合されて電気的に接続され、ＦＰＣ１５には、ＦＰＣ１５とＦＦＣ１６の接合端６８の延長線７０上であって、ＦＦＣ１６の配線電極３１２の並び方向両側部に、ＦＰＣ１５を補強する補強部材７１、７１が延長線７０に沿う方向設けられている。 （もっと読む）