【課題】基板の上にラインを形成することと共にこれを固形化させる基板処理装置及び基板処理方法が提供される。
【解決手段】本発明の基板処理装置１００は、基板Ｓが載置されるステージ１１００と、インクＩを吐出してステージ１１００に載置された基板Ｓに複数のラインを形成する吐出ユニット１２００と、吐出されたインクＩを固形化させる固形化ユニット１４００と、ステージ１１００を移動させるか、又は吐出ユニット１２００と固形化ユニット１４００を移動させる移送ユニット１５００と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット方式によって形成した塗布液の薄膜の膜厚均一性を向上させる。
【解決手段】 塗布液供給機構１２の進行方向前側に溶剤供給機構１８を、進行方向後側に気体噴射機構１４を、それぞれ連結して塗布ヘッド１０が構成されている。塗布ヘッド１０を基板Ｗに対して相対移動させながら、溶剤供給機構１８から基板Ｗ上に溶剤を供給し、続いて塗布液供給機構１２から溶剤の被膜上に塗布液を供給し、最後に、気体噴射機構１４から塗布液の凹凸表面に気体を噴射して溶剤の薄膜表面を平滑化する。 （もっと読む）

【課題】従来の描画装置では、コストを低減することが困難であるという課題がある。
【解決手段】紫外光４１の照射を受けることによって硬化する機能液５３を吐出する吐出ヘッド３３からワークＷに向けて機能液５３を吐出することによって、ワークＷに機能液５３を塗布する塗布工程と、ワークＷに塗布された機能液５３に対して、紫外光４１を含む光を発する光源４３により紫外光４１を照射する照射工程と、前記照射工程の前に、ワークＷの熱特性に応じて光源４３とワークＷとの間の距離を制御する距離制御工程と、を有する、ことを特徴とする描画方法。 （もっと読む）

【課題】液体に混入する気泡や塵埃がヘッド内に滞留し、あるいはノズルに詰まって吐出特性を劣化させることを防止する。
【解決手段】
液体噴射ヘッド１は、液体吐出用のチャンネル５が形成されるアクチュエータ基板３と、チャンネル５に液体を供給する液体供給室６が形成されるカバープレート４とが積層するヘッドチップ２と、カバープレート４に設置され液体供給室６に液体を供給する流路部材７とを備える。ここで、流路部材７は、液体を流入する流入口８と、液体を流出する流出口９と、流入口８から流出口９に液体を循環させる循環路１０とを備え、流入口８又は流出口９とチャンネル５との間のいずれの流路にもフィルターが介在しない。 （もっと読む）

【課題】吐出部と対象物の間の離間距離の変動を検査する対象物上の地点が少ない場合でも、吐出タイミングの補正を良好に行うことができる技術を提供すること。
【解決手段】液滴吐出装置は、液滴を吐出する複数の吐出口が形成された吐出部に対して対象物を移動機構によって相対的に移動させ、該吐出部から吐出した前記液滴を前記対象物に着弾させる。液滴吐出装置は、吐出部に対して吐出信号を出力することにより、吐出口からの液滴の吐出を制御する吐出制御部と、対象物上の複数の地点について、対象物の相対的な移動に応じた、吐出部と前記対象物との間の離間距離の変動を検査する検査部と、対象物上の領域のうち、前記複数の地点を除く地点における前記変動を、検査部の検査結果に基づいた演算により補間する補間部と、補間部によって取得された前記変動に関する情報に基づいて、吐出口からの液滴の吐出タイミングを補正する補正部とを備える。 （もっと読む）

【課題】固定されたフラッシングポジションを設けなくてもフラッシングを行うことができ、且つ印捺品質低下の虞の少ないフラッシングを実行できること。
【解決手段】複数の色のインクを吐出する複数のノズルを備えるインク吐出部と、被捺染材をセットするセット面を有し前記インク吐出部に対して相対移動するセットトレイと、前記インク吐出部のインク吐出動作とフラッシング動作を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記セットトレイにセットされた被捺染材上であって画像データの及ぶ範囲外の部位をフラッシング領域とし、該フラッシング領域の被捺染材の色とフラッシングとして吐出され着弾して発現するインクの色とが同系色の関係を持って当該フラッシング領域にフラッシングを行うように構成されている。 （もっと読む）

【課題】可撓膜の影響を抑え、圧力緩衝部の性能を維持したまま、圧力緩衝部を小型化する。
【解決手段】複数のノズルが配置された記録ヘッドに連通する液体供給流路と、前記液体供給流路に設けられ、液体に所定の圧力を付与する液体圧力付与手段と、前記液体供給流路の途中に設けられた圧力緩衝部であって、前記液体供給流路を流れる液体を流出入させる供給口及び排出口を有する液体室と、前記液体室と可撓膜を挟んで対設された気体室と、を含んで構成される圧力緩衝部とを備え、前記可撓膜は、予め初期撓みが与えられている液体供給装置によって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】従来の描画装置では、コストを軽減することが困難である。
【解決手段】ワークに向けて液状体を吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドに対する前記ワークの相対位置を変位させる変位装置と、前記相対位置の変位方向に沿って並ぶ複数の目盛り７５が設けられたリニアスケール７１と、前記相対位置の変位にともなって目盛り７５を検出し、目盛り７５を検出するごとに検出信号を出力するエンコーダー７３と、リニアスケール７１の一端７８ａ側を支持するビス８２と、リニアスケール７１の他端７８ｂ側からリニアスケール７１に張力を付与する引張りばね８３と、リニアスケール７１から独立した状態で、ビス８２から距離Ｄを隔てた位置に設けられ、他端７８ｂ側において、複数の目盛り７５のうちの一部の目盛り７５をエンコーダー７３から隠す隠し部材９１と、を有する、ことを特徴とする描画装置。 （もっと読む）

【課題】ワイパブレードに付着したインクによる汚れを低減したインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】被記録媒体にノズル面からインクを吐出して記録を行う記録ヘッドと、前記ノズル面に対して下方に略垂直に配置されて、前記ノズル面に付着しているインクを拭き取る拭取部を上端部に有するワイパブレードを備えたインクジェット記録装置であって、前記ワイパブレードは下端部に下方へ突出するように延設される突出部を有し、前記突出部は、上下方向に対して直交する方向における一端部と他端部との間隔が、下方へ向かうほど小さくなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式によるカラーフィルタの製造過程において、ノズルの不吐出による白抜け欠陥の発生を完全になくすことができる、インクジェット塗工装置を提供すること。
【解決手段】基板を保持するステージ２の上に、複数のノズルを有するインクジェットヘッド１４を一つ以上備えたヘッドユニット３と、基板上の各開口部が正常に塗工されているかを確認し、塗工異常部を特定するカメラ５とを配置する。本塗工に付随して塗工検査を行うことで、即座に白抜け欠陥発生を検知することが可能であり、同時に不吐出ノズルの発生も検知できる。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換膜を形成するための原料を含む塗布液をノズルから吐出させて電極上に塗布するときに不要な液滴を電極に付着させることなく、かつ所望パターンの電気機械変換膜を形成することができる。
【解決手段】所定の極性に帯電されているＰＺＴ前駆体溶液２０３がノズルから吐出された後所定時間が経過した後にミスト回収用電極２０９に電圧を印加する。ミスト回収用電極２０９への電圧印加の開始を吐出から所定時間遅らせることで、主液滴３００は電圧が印加されたミスト回収用電極２０９の電界から静電気力を受ける時間を少なくするとともに、ミスト液滴３０１を第１の電極に到達する前に回収される。第１の電極の所定部分に塗布され、基板１１上の所望のパターンに塗布される。 （もっと読む）

【課題】ＵＶ硬化型インクジェットプリンターを利用して様々な形状の被印刷物を搭載する治具を極めて容易に提供できる立体形状印刷物用印刷治具を提供する。
【解決手段】印刷治具１は、ＵＶ硬化型のプリンターヘッドと向かい合う面に、堤２により仕切られた複数の窪み３と、窪み３に投入された常温より高く１００℃よりも低い温度に融点を有する飽和脂肪酸、これをエステル化した蝋或いは油脂又は、飽和炭化水素のいずれかからなる形状記憶剤４と、形状記憶剤４を被覆する樹脂シート５とを備えている。印刷治具１を加熱して、形状記憶剤４を軟化させたのち、被印刷物を押し込んで型を作成する。 （もっと読む）

【課題】生産効率の向上を図りつつ、基板の破損を抑制することが可能となる。
【解決手段】基板Ｗの各主面Ｓ1、Ｓ2へのパターン形成を並行して実行することで、生産効率の向上が図られている。しかも、ディスペンサー３、４、５、６それぞれは、基板Ｗに対して非接触で対向するノズル３１、４１、５１、６１から塗布液を吐出することで、基板Ｗにパターンを形成する。これによって、パターン形成の際に基板Ｗに加わる圧力を小さく抑えることができる。こうして、生産効率の向上を図りつつ、基板の破損を抑制することが可能となっている。 （もっと読む）

【課題】ＦＰＣとＦＦＣとを接合接続したフレキシブル配線部材の接合部における亀裂破損を低減する。
【解決手段】フレキシブル配線部材は、ＦＰＣ１５の後端側とＦＦＣ１６の先端側で配線電極３０２と配線電極３１２とが半田にて接合されて電気的に接続され、ＦＰＣ１５には、ＦＰＣ１５とＦＦＣ１６の接合端６８の延長線７０上であって、ＦＦＣ１６の配線電極３１２の並び方向両側部に、ＦＰＣ１５を補強する補強部材７１、７１が延長線７０に沿う方向設けられている。 （もっと読む）

【課題】吐出孔１を固形物で塞いでしまうことによる吐出不良の発生を抑えるとともに、個別液室３に気泡を詰まらせることによる吐出不良の発生を抑える。
【解決手段】供給液室１８における個別液室並び方向の全域に渡って延在するフィルター部材１３により、供給液室１８を、第１側壁１８ｄや第２側壁１８ｆの立ち上がり方向に２つに仕切り、この仕切りによって得られた前室１８ａと、前室１８ａよりも液体導入方向下流側に位置する後室１８ｂとのうち、後室１８ｂの個別液室並び方向における一端部に第１連通対面部１８ｃを配設するとともに、後室１８ｂの個別液室並び方向における他端部に第２連通対面部１８ｅを配設した。 （もっと読む）

【課題】
液処理モジュール２に載置されたウエハＷに対して処理液ノズル１１から処理液を供給して液処理を行うにあたって、処理液の供給量を安定させ、これによりウエハＷの間における塗布の均一性を図ること。
【解決手段】
ノズル１１がノズルバス１５に待機しているときに一定量だけサックバックバルブ５２によりサックバックを行ってノズル１１の先端部のレジスト液の液面を引き上げる。ノズル１１を液処理モジュール２の上方に移動させた後、ノズル１１を支持するアーム１３に設けられたカメラ１６により、当該ノズル１１の先端部を撮像し、画像データを取得する。この画像データに基づいて、液面レベルを検出し、その検出結果に応じて液面レベルが予め設定した基準レベルになるようにサックバックバルブ５２を制御する。このためレジスト吐出前の液面レベルが一定化し、処理液の吐出量が一定化する。 （もっと読む）

【課題】別途駆動源を設ける必要がなく、簡単に圧力室内の液体を攪拌することができる液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズルプレート１７に開設したノズル２９に連通する圧力室２３に液体を充填し、当該圧力室２３内の液体に圧力変動を付与することによりノズル２９から液滴を噴射可能な液体噴射ヘッド２であって、圧力室２３は、底面の少なくとも一部に、当該圧力室２３内の液体の圧力変動に基いて変形する変形部３１を有する。 （もっと読む）

【課題】ノズル近傍に付着した塗布不良を起こしうる異物を検知する着弾状態検査モードを有する塗布装置および着弾状態検査方法を提供する。
【解決手段】液滴を吐出する複数の吐出ノズル１１を有し、各吐出ノズル１１が吐出面１４に配置されている吐出ユニット１３と、液滴を着弾させる検査面３１と、を備え、各吐出ノズル１１から検査面３１へ液滴を吐出し、液滴の着弾状態を検査する着弾状態検査モードを有する塗布装置であって、着弾状態検査モードにおいて、吐出ユニット１３は、検査面３１へ液滴を吐出して着弾パターン２１を形成した後、着弾パターン２１の上を吐出面１４が通過するよう移動し、次に、着弾パターン２１の上を吐出面１４が再度通過するよう先の移動方向と反対の方向に移動し、吐出ユニット１３が両方向に移動した後の着弾パターン２１の各液滴の形状から着弾状態検査が行われることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被吐出物を押す圧力の調整及び吐出手段と被吐出物との距離の調整を同時に行うことにより作業の効率性を向上させることのできる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】
インクジェットプリンタ１０は、インクを吐出し、メディアの上を移動するスライダ１と、メディアを載せるプラテン２と、スライダ１の移動方向をガイドするガイド機構３と、プラテン２の上に載せられるメディアを押さえ付けるクランプ機構４と、ガイド機構３をプラテン２に対して相対的に移動させるアクチュエータと、を備え、ガイド機構３は、スライダ１に接続されており、アクチュエータによる移動により、スライダ１とメディアとの距離を調整するものであり、且つ、クランプ機構４に接続されており、アクチュエータによる移動により、クランプ機構４とメディアとの距離を調整するものである。 （もっと読む）

【課題】高い生産性を保ちながら、電鋳膜厚、特に薄肉部の膜厚の均一性に優れた振動板部材を有するとともに、ブリッジ部と被記録媒体やワイパーブレード等の部材との接触を低減可能な液体吐出ヘッド及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】 ノズル板２３と、ノズル２４に連通する液室２５を形成する流路部材２２と、液室２５の壁面の一部を形成する振動板部材２１とが積層して接合された液室ユニット２０を有する液体吐出ヘッドにおいて、
振動板部材２１は、２層以上の電鋳層で構成され、液室２５に相対する部位は前記壁面の一部を形成する薄肉部２１ａ及び厚肉部２１ｂ、２１ｃからなり、
外周には切断されたブリッジ部５１が複数形成され、
隣接するブリッジ部間の領域の少なくとも一部に、薄肉部２１ａが形成されている液体吐出ヘッド、及び該液体吐出ヘッドを備えた画像形成装置である。 （もっと読む）