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Fターム[4F041BA13]の内容

塗布装置−吐出、流下 (28,721) | 塗布装置一般、その他 (14,196) | 吐出口部の形状構造、材質に特色のあるもの (4,179) | 吐出口部の形状構造 (3,900) | 複数の吐出口を有するもの (3,009)

Fターム[4F041BA13]に分類される特許

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【課題】均一な幅広塗布を実施することが可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布装置は、被塗布面3A(3B)に対して流体Fを吐出する吐出装置1を相対移動させて流体Fを塗布するものであり、吐出装置1は、各々が流体Fを吐出するスリット状の吐出口10Aを有し、吐出口10Aが少なくとも相対移動方向Zに沿って並ぶように配置された複数の吐出ノズル10を備えている。 (もっと読む)


【課題】低い粘度の塗布液を使用しても良好に製膜可能な塗布装置及び多層膜付きフィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】ダイ先端部の空間を減圧するための吸引装置と、前記塗布液を貯留するためのポケットと、を備え、前記ポケットは、塗布点よりも下の位置に配置され、下流リップと、前記ウエブと、の最短距離をd1とし、隣接リップと、前記ウエブと、の最短距離をd2とし、前記隣接リップの前記走行方向の幅をL2とし、最上層の膜厚をh1とし、最上層を除く全ての膜の総膜厚をh2としたとき、式1〜式4の全てを満たすように前記ブロックが設置されて前記ダイが構成された塗布装置。
10μm≦(d1−d2)≦200μm 式1
d2≦3×h2 式2
50μm≦L2≦200μm 式3
dP/dX>0 式4 (もっと読む)


【課題】 基板の周辺領域にレジスト等の樹脂膜を効率良く形成することができ、半導体素子製造におけるスループット向上に寄与する。
【解決手段】 素子形成に供される基板10上の周辺部に樹脂膜を塗布する塗布装置であって、基板10が載置され、少なくとも180度回転可能な回転テーブル32と、基板10の中心を通る第1の方向(X方向)軸で2分割された第1の基板周辺領域及び第2の基板周辺領域の一方に相当する円弧に沿って樹脂を吐出するための複数のノズルを配置してなり、該ノズルが基板10の周辺領域に対向するように設置される樹脂膜形成ヘッド部50と、基板10と樹脂膜形成ヘッド部50を相対的に、第1の方向とは直交する第2の方向(Y方向)に移動させる移動機構45とを備えた。 (もっと読む)


【課題】部品点数を減少させて材料コスト及び組み立てコストを低減することができると共に、液体漏れを抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ヘッド本体30と流路部材20との間に設けられて、ヘッド本体30よりも大きな面積を有する回路基板40と、ヘッド本体30に液体噴射面の外側で周方向に亘って当接すると共に、流路部材20に回路基板40の外側で周方向に亘って当接して、流路部材20及びヘッド本体30との間に回路基板40を密封する空間を画成する蓋部材50と、を具備し、蓋部材50と前記ヘッド本体30との間を封止する内周シール部材55が、蓋部材40及びヘッド本体30の何れか一方に2色成形によって形成され、蓋部材50と流路部材20との間を封止する外周シール部材52が、蓋部材50及び流路部材20の何れか一方に2色成形によって形成されている。 (もっと読む)


【課題】スジムラの発生を抑制することが可能なノズルプリンティング装置を提供する。
【解決手段】所定の配列方向に所定の間隔をあけて配置される複数本のノズルを備えるノズルプリンティング装置であって、前記複数本のノズルは、溶媒と溶質とを含むインキを吐出する第1のノズルと、溶質を含まない液体を吐出する第2のノズルとから構成され、前記第1のノズルの本数と、第2のノズルの本数とが同じであるノズルプリンティング装置。 (もっと読む)


【課題】分散系や高粘度などの種々の組成系に対応可能なディスペンス装置に用いる多孔ノズルであって、それぞれのノズルからの吐出を均一にできるノズル構造を提供する。
【解決手段】ディスペンス装置100に使用される多孔ノズル125は、ディスペンス液供給手段110が接続される液通過部126と、液通過部126から拡径する拡径部127と、拡径部127の末端の吐出面に配置されるノズル部128とを備え、ノズル部128より上流側の流路内に、ディスペンス液35のノズル部128への分配を均一化するための多孔プレート121を備える。 (もっと読む)


【課題】弁体の作動圧のばらつきを抑制できる流路部材、これを用いて液体吐出速度や吐出された液滴の重量ばらつきが抑制された液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体流路の一部を構成する溝状流路51の開口をフィルム60で封止して形成した圧力室53と、圧力室53に連通する液体流路を開閉する弁体90と、圧力室53の負圧により圧力室53側に変位したフィルム60に押圧されるとともに弁体90を開弁状体となる方向に押圧可能な受圧部材80とを備え、フィルム60を、脂肪族炭化水素を含む接着剤70で溝状流路51の開口縁部51aに接着する。 (もっと読む)


【課題】被加工物の異なる領域にそれぞれ異なる液状樹脂を被覆することができる保護膜形成装置を提供する。
【解決手段】保護膜形成装置であって、被加工物保持手段と、被加工物に第1の液状樹脂を微細粒子として噴射する第1の液状樹脂噴射手段70aおよび第2の液状樹脂を微細粒子として噴射する第2の液状樹脂噴射手段70bと、液状樹脂噴射手段70と被加工物保持手段を相対的に加工送り方向(X軸方向)に移動せしめる加工送り手段と、X軸方向と直交する割り出し送り方向(Y軸方向)に移動せしめる割り出し送り手段と、液状樹脂噴射手段70と被加工物保持手段との相対位置関係を検出するX軸方向位置検出手段と、Y軸方向に相対移動する液状樹脂噴射手段70と被加工物保持手段との相対位置関係を検出するY軸方向位置検出手段と、X軸方向位置検出手段およびY軸方向位置検出手段からの検出信号に基いて噴射手段を制御する制御手段とを具備する。 (もっと読む)


【課題】カバー部材の可撓性を周知の限界以下に低下させ、それにより印刷方向におけるノズル密度を増大しそしてプリントヘッドの印刷速度をも速めることを可能にする液滴射出装置の提供。
【解決手段】各流体チェンバーがチェンバー壁間隔で互いに分離された相対する一対のチェンバー壁によって画成されそしてそれからの液滴射出のためのノズルと流体連絡している複数の流体チェンバーからなる列;および該複数のチェンバー壁の端へ接合しそれにより該チェンバーの1つの側面をシールするカバー部材をもち、該カバー部材の厚さ対該チェンバー壁間隔の比が1以下対1である液滴射出装置。 (もっと読む)


【課題】デバイスの品質の低下を抑制できる液滴吐出方法を提供する。
【解決手段】基板上の隔壁によって規定される凹部の開口と液滴吐出口とが対向する第1状態で、凹部に、液滴吐出口より複数の液滴を供給する第1動作と、第1動作後、開口と液滴吐出口とが対向しない第2状態に変化させる第2動作と、第2動作後、第1状態に変化させて、液滴が供給された凹部に、液滴吐出口より複数の液滴を供給する第3動作と、を含み、第3動作における液滴供給位置が、第1動作における液滴供給位置より、開口のエッジから離れるように、第3動作における複数の液滴の間隔を第1動作における複数の液滴の間隔よりも狭くするための液滴供給位置の調整を行う。 (もっと読む)


【課題】基板に塗布液を塗布して所定のパターンを形成するパターン形成技術において、高い圧力で塗布液を押し出すことができ、吐出制御を適切に行うことのできる技術を提供する。
【解決手段】吐出ノズル31の先端部が楔型となっており、その先端にさらに突出する突起部310を有する。突起部310の下面310bは基板に近接対向される基板対向面となっており、その端部から、基板Wから次第に離間する吐出口配設面310cが立ち上がっている。吐出口配設面310cのうち基板対向面310bに隣接する位置に、塗布液を吐出するための吐出口311が設けられる。吐出口311の周囲および塗布液供給経路312の周囲壁面が一体形成される。 (もっと読む)


【課題】曲面などの特殊形状の物品に対しても、精度良く印刷することができる印刷装置及び印刷システムを提供する。
【解決手段】印刷ヘッド40と、ゲート31とを備える印刷装置30において、ゲート31に細長のシャフト34を、一端を上方、他端を下方に向けて取り付け、印刷対象物(ロールベールラップサイロ5)がゲート31を通過する際に、印刷ヘッド40が印刷対象物5に接触して押し上げられ、シャフト34に沿って移動するようにする。また、この印刷装置10を、運搬装置10における印刷対象物を運搬する運搬ラインの途中に設け、印刷対象物(ロールベールラップサイロ5)が印刷装置10の印刷ヘッド40の下方を通過するようにして印刷システム1とする。 (もっと読む)


【課題】短時間で塗布液流量を調整して、塗布液の塗布量を正確に制御することが可能な塗布液塗布装置および塗布液塗布方法を提供する。
【解決手段】塗布液の塗布を行う前に、予め、塗布軌跡の幅と各ノズルから吐出される塗布液の流量との関係を示す関係式を作成して記憶する準備工程を実行する。そして、塗布を実行する毎、あるいは、一定期間毎に、テスト塗布領域に対して塗布液を連続して吐出することにより形成された塗布軌跡の幅を測定する塗布軌跡測定工程を実行する。ガラス基板への塗布液の塗布時には、各支管流量計75が計測した塗布液の流量値と、塗布軌跡測定工程で測定した塗布液の幅と、予め記憶した関係式とを利用して各流量制御バルブ74の開度を調整することにより、塗布液の塗布量を適正なものとする。 (もっと読む)


【課題】隣接するノズルを誤吐出させてしまうノズルを検出する吐出状態検査モードを有する塗布装置および吐出状態検査方法を提供する。
【解決手段】複数のノズル11を有し、一部もしくは全部の隣接するノズル11同士は、その間に駆動隔壁14を共有し、駆動隔壁14を伸縮させることによりノズル11から液滴を吐出する吐出ユニット13を備え、各ノズル11から検査面31へ液滴を吐出し、液滴の吐出状態を検査する吐出状態検査モードを有する塗布装置1であって、吐出状態検査モードでは、吐出ユニット13の各ノズル11を、液滴の吐出を行う吐出ノズルと、液滴の吐出を行わない不吐出ノズルとに分けて設定し、吐出ノズルから液滴を吐出して検査面31への着弾パターンの形成を行い、次に、着弾パターンから液滴の位置を確認し、不吐出ノズルから誤って吐出された液滴が存在するか否かを検出することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】高精度な吐出量制御が可能で、装置信頼性が高いインクジェット装置を提供すること。
【解決手段】インクを吐出するノズル、ノズルに連通する圧力室、圧力室に圧力を加える圧電素子、圧電素子に電圧を印可して駆動する駆動回路を有するインクジェット装置において、前記駆動回路は、同一の圧電素子に少なくとも二つの駆動回路が接続されており、さらにそれぞれの駆動回路の駆動電圧が異なり、駆動電圧の低い駆動回路の信号が先に印可されるよう構成する。 (もっと読む)


【課題】 往復移動するノズルに対して可撓性の塗布液供給管により塗布液貯留部から塗布液を送液した場合においても、塗布液の流量を一定に維持して塗布液を均一に塗布することが可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】 圧力変動吸収機構70は、圧力吸収部71と流量抵抗部72とを備える。圧力吸収部71は、塗布液供給管64から送液される塗布液の圧力変動に伴って弾性変形することにより塗布液の収容部の体積を変化させるものであり、肉薄の樹脂製の軟質チューブ73から構成される。また、流量抵抗部72は、塗布液供給管64や軟質チューブ73よりも内径が小さい、すなわち、より小さなオリフィスを有する肉厚の樹脂製の硬質チューブ74から構成される。 (もっと読む)


【課題】塗布対象物の表面及び裏面に相対位置精度良くパターンを形成する。
【解決手段】塗布装置1は、塗布対象物Wの表面Wa及び裏面Wbに液を塗布してパターンを形成する塗布装置であって、液をノズルから吐出する塗布ヘッド4と、塗布対象物Wを撮像可能な撮像部6と、塗布ヘッド4のノズルから吐出された液によって塗布対象物Wの表面Waに形成されたパターンを撮像部6により撮像した撮像画像に基づいて、塗布対象物Wの表面Waに形成されたパターンの位置を検出し、その検出した位置に基づいて塗布ヘッド4による塗布対象物Wの裏面Wbに対する液の塗布位置を調整する制御装置9とを備える。 (もっと読む)


【課題】高分子を含有する液体を噴射するに際し噴射される液体を微小化すること。
【解決手段】電圧を液体噴射ヘッドに印加して、高分子を含有する液体を噴射させる液体噴射ヘッドの駆動方法であって、前記電圧を第1電圧から第2電圧に上昇させることと、前記電圧を前記第1電圧から前記第2電圧に上昇させたときよりも大きな傾きで前記第2電圧から第3電圧に上昇させ、該第3電圧に保持することと、前記電圧を前記第3電圧から第4電圧に降下させ、該第4電圧に保持することと、前記電圧を前記第4電圧から第5電圧に上昇させ、該第5電圧に保持することと、前記電圧を前記第5電圧から第6電圧に降下させ、該第6電圧に保持することと、前記電圧を前記第6電圧から第7電圧に上昇させることと、を含み、前記第5電圧は前記第3電圧よりも高い液体噴射ヘッドの駆動方法。 (もっと読む)


【課題】基板に塗布液を塗布して所定のパターンを形成するパターン形成技術において、異形基板に効率よくパターン形成を行うことのできる技術を提供する。
【解決手段】マニホールド空間となる窪部552およびこれに連通する複数の溝部553を有するハウジング本体55aと、例えばシリコーンゴム製の弾性部材55bと、一部の溝部553に対応する位置に貫通孔555が設けられたカバー部材55cとを重ね合わせて吐出ノズル55が構成される。貫通孔555に臨む弾性部材55bを押圧して弾性変形させ、溝部553と弾性部材55bとで囲まれた塗布液流路の断面積を変化させることで、塗布液の吐出・停止を制御する。 (もっと読む)


【課題】高分子を含有する液体を噴射するに際し噴射される液体を微小化すること。
【解決手段】電圧を液体噴射ヘッドに印加して、高分子を含有する液体を噴射させる液体噴射ヘッドの駆動方法であって、該電圧を第1電圧から第2電圧に上昇させることと、該電圧を該第1電圧から該第2電圧に上昇させたときよりも大きな傾きで該第2電圧から第3電圧に上昇させ、該第3電圧に保持することと、該電圧を該第3電圧から第4電圧に降下させ、該第4電圧に保持することと、該電圧を該第4電圧から第5電圧に上昇させ、該第5電圧に保持することと、該電圧を該第5電圧から第6電圧に降下させ、該第6電圧に保持することと、該電圧を該第6電圧から第7電圧に上昇させることと、を含み、該電圧を該第4電圧から第5電圧に上昇させたときの傾きは、該電圧を該第2電圧から該第3電圧に上昇させたときの傾きよりも緩やかである液体噴射ヘッドの駆動方法。 (もっと読む)


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