【課題】吸引力発生源において発生する振動が液体吐出に悪影響を及ぼしにくい。
【解決手段】サブキャリッジ１００に保持されたプレコートヘッド１０とインクジェットヘッド１１との間に吸引機構１３０が設けられている。吸引機構１３０は、固定側ダクト１３１、可動側ダクト１３２及び吸引ユニット１３３（吸引力発生源）を有している。固定側ダクト１３１及び可動側ダクト１３２は互いに連結され、吸引ユニット１３３は、固定側ダクト１３１及び可動側ダクト１３２を介してミストを吸引する。固定側ダクト１３１及び吸引ユニット１３３は、メインキャリッジ１２０に保持されており、可動側ダクト１３２はサブキャリッジ１００に保持されている。移動機構は、メインキャリッジ１２０に対してサブキャリッジ１００を移動させる。 （もっと読む）

【課題】 ソルダーレジスト等の液状材料によってノズル詰まり等の不良が発生すると、装置の稼働率が低下する。
【解決手段】 基板に液状材料を吐出させる複数のノズルが設けられたノズルユニットが、基板に対向している。移動機構が、ノズルユニットに対し、基板を面内方向に移動させる。撮像装置が、基板に塗布された液状材料により形成されたパターンを検出する。制御装置が、ノズルユニットに対して基板を移動させながら、基板にノズルユニットから液状材料を吐出させ、基板に付着した液状材料によって検査パターンを形成する。撮像装置で撮像された検査パターンの画像データを取得する。この画像データを解析することによって、ノズルヘッドのノズルの良否を判定する。不良と判定されたノズルからは液状材料を吐出させない制御を行い、良と判定されたノズルから液状材料を吐出させることにより、基板に薄膜パターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】液体に含まれる粒子が圧力室内に沈降した場合であっても、この粒子によってノズルが目詰まりすることを防ぎ、また沈降した粒子を攪拌することができる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル２３に連通する圧力室２０と、該圧力室２０に供給口２２を通じて液体を供給する共通液室２９と、を有し、圧力室２０内の液体に圧力変動を付与することによりノズル２３から液滴を噴射可能な液体噴射ヘッド２であって、圧力室２０の底面には、供給口２２側からノズル２３側への流体の流れに対して抵抗となる段差部２５が設けられた。 （もっと読む）

【課題】軽量化を図りつつ、液体噴射ヘッドの払拭時に払拭部材が弛むことを抑制できるワイパーユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクを噴射する記録ヘッド２２に付着したインクを払拭する長尺状のワイピング部材３０の一端を巻装した繰り出しローラー８１、または、ワイピング部材３０の他端を巻装した巻き取りローラー８２のうち、払拭時にワイピング部材３０に対して作用する摩擦力によって張力がかかるローラーの回動を規制するラチェット１１５，１２４を備えた。 （もっと読む）

【課題】ワイピング部材の浪費を抑制しつつ、ワイピング部材において液体を吸収した部分が液体噴射ヘッドに当接することを回避することができるワイパーユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクを噴射する記録ヘッドに付着したインクを払拭する長尺状のワイピング部材３０を巻装した繰り出しローラーと、繰り出しローラーから巻き解かれたワイピング部材３０を巻き取る巻き取りローラー８２と、ワイピング部材３０において繰り出しローラーと巻き取りローラー８２との間の掛装される部分を巻き掛けた状態で、繰り出しローラーから巻き取りローラー８２へのワイピング部材３０の繰り出しに伴って連れ回るように回動する中継ローラー８９と、中継ローラー８９の回動量を検出するロータリーエンコーダー１２９とを備えた。 （もっと読む）

【課題】基板上に塗布されたインクの乾燥ムラを抑制する。
【解決手段】本発明の一形態に係るインクジェット塗布装置は、第１のヘッド群１２Ａと第２のヘッド群１２Ｂとを有するインクヘッドモジュール１２を備える。第１のヘッド群１２Ａは、基板Ｓの表面全域をＸ軸方向に沿って配列された複数列の領域Ｒ１〜Ｒ６で区画したときに、所定の第１の領域群（Ｒ１，Ｒ３，Ｒ５）にインクの液滴を塗布する。第２のヘッド群１２Ｂは、第１のヘッド群１２Ａに対してＹ軸方向に所定距離（Ｈ）オフセットした位置に配置され、上記複数列の領域のうち残余の第２の領域群（Ｒ２，Ｒ４，Ｒ６）にインクの液滴を塗布する。このとき、第１のヘッド群１２Ａからの液滴が基板Ｓ上に着弾してから、第２のヘッド群１２Ｂからの液滴が基板上に着弾するまでの時間が所定時間以内となるように、基板Ｓを支持するステージ１１の移動が制御される。 （もっと読む）

【課題】キラキラとした輝きを有する堆積物を製造する。
【解決手段】本発明は、堆積物製造方法であって、基板上に散乱粒子を供給する工程と、基板上に供給された散乱粒子の上で、金属イオンを含有する第１の液体と、金属イオンを還元させることができる還元剤を含有する第２の液体とを接触させることによって、散乱粒子の上に金属を析出させる工程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、基板に所定パターンの薄膜を精細に塗布することができる薄膜塗布装置を提供することにある。
【解決手段】
ｘｙｚ直交座標系を定義したとき、ｚ方向に向けて薄膜材料を吐出する複数のノズルがｙ方向に配列するノズル列を含む複数のノズルヘッドと、前記複数のノズルヘッドを保持するホルダと、を含み、前記ホルダは、前記複数のノズルヘッドを取り付ける際に、前記複数のノズルヘッド各々のｙ方向に対する配置位置を規定することができる位置決め機構を有する。 （もっと読む）

【課題】液滴の吐出精度の低下を抑制することができる液体噴射ヘッドモジュールの製造方法及び液体噴射ヘッドモジュール並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクを吐出する複数のヘッド１０と、複数の液体噴射ヘッド１０を保持する保持部材５０とを具備し、保持部材５０の一方面に、複数のヘッド１０が載置される載置面５４、及び保持部材５０を支持する位置決め治具７０の位置決めピン７８が当接される治具受け面５６が設けられたヘッドモジュール１の製造方法であって、保持部材５０の一方面に、載置面５４と治具受け面５６とを分断させるとともに面一に形成し、保持部材５０を治具受け面５６で位置決めピン７８に当接させ、保持部材５０の載置面５４に複数のヘッド１０を接着剤で仮固定し、締結部材６０で本固定する。 （もっと読む）

【課題】不良ノズルを確実に検出する液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基材に向けてノズルから機能液を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記基材に着弾した前記液滴の着弾径を測定する着弾径測定部と、制御部と、を備え、前記制御部では、前記ノズルから基材に向けて吐出された液滴の吐出量と前記基材に着弾した前記吐出量に対応する前記液滴の基準着弾径との関係を示す関係データを取得し、前記ノズルから前記基材に向けて前記関係データに含まれる所定の液滴量を吐出させて、前記基材に着弾した前記液滴の着弾径を測定させ、測定された検査着弾径と前記所定の液滴量に対応する前記基準着弾径とを比較し、前記ノズルの合否を判断する。 （もっと読む）

【課題】フォトレジストの消耗量が節減されるノズルユニット、基板処理装置、及び基板処理方法が提供される。
【解決手段】本発明による基板処理装置は、基板を支持するプレートと、前記プレートに支持された前記基板に薬液を塗布するノズルユニットと、前記プレートに置かれる基板と前記ノズルユニットとの間の相対位置が変更されるように前記基板又は前記ノズルユニットを移動させる駆動ユニットと、を含む。前記ノズルユニットは、横方向が第１方向に沿って形成され、前記基板に第１薬液を吐出する第１吐出部と、横方向が前記第１方向に沿って形成され、前記基板に第２薬液を吐出する第２吐出部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドを精度よくアライメントすることのできるインクジェットヘッドの組立方法を提供する。
【解決手段】基準座標データに基づいて、インクジェットヘッドをヘッドプレートに組み付けたヘッドユニットを、姿勢変更して使用状態としたときのインクジェットヘッドの使用状態座標データを取得する使用状態データ取得工程Ｓ０７と、基準座標データと使用状態座標データとを比較し、インクジェットヘッドの位置ズレ量を取得するズレ量取得工程Ｓ１１と、基準座標データを位置ズレ量により補正した実装座標データを取得する実装データ取得工程Ｓ１１と、実装座標データに基づいて、インクジェットヘッドをヘッドプレートに組み付けるヘッド組付け工程Ｓ１３と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】作業位置精度の高い基板用搬送ステージ、それを備えた描画装置、および、それを用いた描画方法を提供する。
【解決手段】基板用搬送ステージ５０は、ベース１と、主走査軸方向としてのＹ軸方向の走査を行なうＹ軸モーター５と、Ｙ軸モーター５の可動子としてのＹ軸テーブル１０に載置されＹ軸方向と交差する副走査軸方向としてのＸ軸方向の走査を行なうＸ軸モーター１５と、Ｘ軸モーター１５の可動子としてのＸ軸テーブル２０に載置されＹ軸方向やＸ軸方向と直交する直交軸回りの回転を行なうθ軸回転式モーター２５およびその可動子としての基板ステージ３０と、Ｙ軸テーブル１０と基板ステージ３０とをロックするロック手段としての摩擦ブレーキ部１８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、インクジェット塗装が施された二つの建築板が壁構造内において互いに嵌合することで接続される場合、位置ずれなどにより建築板の端部が外部に露出しても外観の悪化を招きにくく、しかも資源消費量の増大を抑制することができる建築板を提供する。
【解決手段】本発明では、基材２における厚み方向の第一面５にインクジェット塗装が施されている。前記基材２における前記第一面５と平行な方向の第一端部３と、この第一端部３とは反対側に形成されている第二端部４とが、互いに嵌合し得る形状に形成されている。前記第一端部３に、前記第一面５に臨むと共にこの第一面５と交差する面からなる第二面６が形成され、この第二面６に前記第一面５よりも解像度の低いインクジェット塗装が施されている。 （もっと読む）

【課題】補完された画素が筋として視認されること、画素の除去部位が筋として視認されることのうち少なくとも一方を防止可能な印刷システム、印刷方法およびレンズシートを提供する。
【解決手段】一方向を長手とする複数の凸レンズ１１を有するレンズシート１０に印刷する印刷システム２０であり、レンズシート１０に印刷を行う印刷手段４４と、印刷手段４４を制御する制御部５５と、を具備し、制御部５５は、複数の凸レンズ１１に対するレンズ分配画像が実際のレンズピッチと異なる所定のピッチに基づくものである場合、一方向に沿うと共に一方向と直交する方向で散在する位置においてレンズ分配画像を構成する画素を凸レンズ１１の隣接部から所定範囲内で補完するか又は除去するかの少なくとも一方を伴う補修に基づき印刷を行うよう印刷手段４４を制御する。 （もっと読む）

【課題】 供給路部材と弾性部材との接続部分からの液体漏れの発生を抑えつつ、供給路部材を弾性部材の開口部に挿入する際に要する力を低減することが可能な供給路接続部材を提供する。
【解決手段】 供給路接続部材は、液体を供給する供給路部材と、供給路部材が挿入され、供給路部材によって外周方向へ押圧される内壁を備える開口部が設けられた弾性部材と、弾性部材を収容する収容部材と、供給路部材の挿入方向に関して弾性部材を押圧する押圧部材と、を有する。ここで、弾性部材には、押圧される内壁と外周方向に関して重ならない位置に、挿入方向に関して収容部材と押圧部材とで挟持された挟持部が形成されている。更に、供給路部材が開口部に挿入された状態で、開口部に対応する弾性部材の外周部には、外周方向に関して収容部材に当接される当接部と、外周方向に関して収容部材に当接されない非当接部と、が形成されている。 （もっと読む）

【課題】従来の描画装置では、描画品位を向上させることが困難である。
【解決手段】描画シートＷに設定された許可領域７３に、吐出ヘッド３３を前記ワークの搬送経路に対して交差するＸ方向に移動させながら、吐出ヘッド３３から液状体を吐出することによって、許可領域７３に前記液状体で描画を行う描画工程と、描画シートＷの余白領域７５に、吐出ヘッド３３から前記液状体を吐出することによって、余白領域７５に前記液状体で検査パターンを形成する検査パターン形成工程と、吐出ヘッド３３よりも前記搬送経路の下流側において、余白領域７５を含む描画シートＷの一部に重なる位置に設けられた撮像装置１２で、余白領域７５の前記検査パターンを撮像する撮像工程と、前記検査パターンを撮像した結果に基づいて、吐出ヘッド３３における前記液状体の吐出にかかる性能の合否を判定する判定工程と、を含む、ことを特徴とする描画方法。 （もっと読む）

【課題】レンズシートの向きに応じて、印刷速度を速くすること、および印刷精度を良好にすることのうち、少なくとも１つを実現可能な印刷装置および印刷方法を提供する。
【解決手段】印刷ヘッド２４を備え、一方向を長手とする複数の凸レンズ１１を有するレンズシート１０に対して相対的に移動させ、印刷ヘッド２４からインクを噴射することにより印刷を行う印刷装置２０であって、印刷ヘッド２４を移動させる移動手段２８と、レンズシート１０がセットされる方向に応じて印刷ヘッド２４の移動速度を変更するよう制御する制御手段５１と、を具備し、制御手段５１は、印刷ヘッド２４がレンズシート１０の一方向に対して垂直に移動して印刷する場合には、印刷ヘッド２４が一方向に対して平行に移動して印刷する場合よりも、印刷ヘッド２４の移動速度を遅くするように制御する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドのノズルから塗布液を吐出して塗布液の塗膜を形成しつつ、塗布液の塗膜の表面をより平滑にすることができる塗布方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドに設けられる複数のノズルから塗布液の液滴を基板Ｗに吐出させ、基板Ｗの周縁部における膜厚に比べて基板Ｗの中央部における膜厚が厚い塗布液の塗膜Ｆを形成する工程と、基板Ｗを回転させて基板Ｗの中央部から周縁部に向けて塗膜Ｆ内の塗布液を移動させる工程と、を備える塗布方法である。塗膜Ｆ内の塗布液を移動させる工程では、塗膜Ｆを形成している基板Ｗ上の塗布液は基板Ｗの中央部から周縁部に向かって移動するので、基板の中央部と基板の周縁部との間で塗膜の膜厚の差が減少し、塗膜の膜厚を略均一にすることができる。同時に、塗膜Ｆ内の塗布液が動くことによって、塗膜Ｆの表面をより平滑にすることができる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、所望のストライプ状パターンを有する塗布膜を形成可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布装置は、塗布対象としての基板を保持するステージと、複数並設された吐出口と各吐出口に向かって塗布液が流通する流路とを有し、かつステージ側に吐出口を向けて配置されたノズル部とを備える。ノズル部では、各吐出口の周辺部において各流路の内壁部よりも撥液性が高くなっている。流路を伝わって吐出口から吐出された塗布液が、各吐出口の形状および大きさに応じた幅および膜厚で、基板上に塗布される。 （もっと読む）