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Fターム[4F041BA21]の内容

塗布装置−吐出、流下 (28,721) | 塗布装置一般、その他 (14,196) | 吐出口の位置合わせに特色のあるもの (1,251)

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【課題】 ソルダーレジスト等の液状材料によってノズル詰まり等の不良が発生すると、装置の稼働率が低下する。
【解決手段】 基板に液状材料を吐出させる複数のノズルが設けられたノズルユニットが、基板に対向している。移動機構が、ノズルユニットに対し、基板を面内方向に移動させる。撮像装置が、基板に塗布された液状材料により形成されたパターンを検出する。制御装置が、ノズルユニットに対して基板を移動させながら、基板にノズルユニットから液状材料を吐出させ、基板に付着した液状材料によって検査パターンを形成する。撮像装置で撮像された検査パターンの画像データを取得する。この画像データを解析することによって、ノズルヘッドのノズルの良否を判定する。不良と判定されたノズルからは液状材料を吐出させない制御を行い、良と判定されたノズルから液状材料を吐出させることにより、基板に薄膜パターンを形成する。 (もっと読む)


【課題】インクジェットヘッドを精度よくアライメントすることのできるインクジェットヘッドの組立方法を提供する。
【解決手段】基準座標データに基づいて、インクジェットヘッドをヘッドプレートに組み付けたヘッドユニットを、姿勢変更して使用状態としたときのインクジェットヘッドの使用状態座標データを取得する使用状態データ取得工程S07と、基準座標データと使用状態座標データとを比較し、インクジェットヘッドの位置ズレ量を取得するズレ量取得工程S11と、基準座標データを位置ズレ量により補正した実装座標データを取得する実装データ取得工程S11と、実装座標データに基づいて、インクジェットヘッドをヘッドプレートに組み付けるヘッド組付け工程S13と、を備えたものである。 (もっと読む)


【課題】作業位置精度の高い基板用搬送ステージ、それを備えた描画装置、および、それを用いた描画方法を提供する。
【解決手段】基板用搬送ステージ50は、ベース1と、主走査軸方向としてのY軸方向の走査を行なうY軸モーター5と、Y軸モーター5の可動子としてのY軸テーブル10に載置されY軸方向と交差する副走査軸方向としてのX軸方向の走査を行なうX軸モーター15と、X軸モーター15の可動子としてのX軸テーブル20に載置されY軸方向やX軸方向と直交する直交軸回りの回転を行なうθ軸回転式モーター25およびその可動子としての基板ステージ30と、Y軸テーブル10と基板ステージ30とをロックするロック手段としての摩擦ブレーキ部18とを備えている。 (もっと読む)


【課題】塗布対象物の複数箇所に同時に塗布液を塗布して高スループット化を達成するとともに、解像度が高くかつ自由度の大きな塗布が可能で、装置構成が簡素でコストの低廉なマルチディスペンサ装置を提供する。
【解決手段】塗布液を塗布する塗布対象物(基板K)に対して水平面内でY軸方向に相対的に移動可能とされ、Y軸走査移動装置によってY軸方向に相対移動される(白抜き矢印M)走査部材2と、走査部材2に装架され、塗布液を滴下するディスペンサノズルをそれぞれ有する複数のディスペンサ装置31〜35と、各ディスペンサノズルの塗布液を滴下する下端部を水平面内で移動させるノズル移動装置と、Y軸走査移動装置とノズル移動装置とを同期制御する制御装置と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】従来の描画装置では、コストを軽減することが困難である。
【解決手段】ワークに向けて液状体を吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドに対する前記ワークの相対位置を変位させる変位装置と、前記相対位置の変位方向に沿って並ぶ複数の目盛り75が設けられたリニアスケール71と、前記相対位置の変位にともなって目盛り75を検出し、目盛り75を検出するごとに検出信号を出力するエンコーダー73と、リニアスケール71の一端78a側を支持するビス82と、リニアスケール71の他端78b側からリニアスケール71に張力を付与する引張りばね83と、リニアスケール71から独立した状態で、ビス82から距離Dを隔てた位置に設けられ、他端78b側において、複数の目盛り75のうちの一部の目盛り75をエンコーダー73から隠す隠し部材91と、を有する、ことを特徴とする描画装置。 (もっと読む)


【課題】UV硬化型インクジェットプリンターを利用して様々な形状の被印刷物を搭載する治具を極めて容易に提供できる立体形状印刷物用印刷治具を提供する。
【解決手段】印刷治具1は、UV硬化型のプリンターヘッドと向かい合う面に、堤2により仕切られた複数の窪み3と、窪み3に投入された常温より高く100℃よりも低い温度に融点を有する飽和脂肪酸、これをエステル化した蝋或いは油脂又は、飽和炭化水素のいずれかからなる形状記憶剤4と、形状記憶剤4を被覆する樹脂シート5とを備えている。印刷治具1を加熱して、形状記憶剤4を軟化させたのち、被印刷物を押し込んで型を作成する。 (もっと読む)


【課題】 塗布液による閉図形に対して太りや断線を生ずることなく、閉図形を正確に形成することが可能な塗布方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】 ダム剤吐出ノズル14の高さ位置を通常より低い位置に配置した状態で、ダム剤吐出ノズル14からダム剤の吐出を開始するとともに、ダム剤吐出ノズル14の移動を開始する吐出開始工程と、ダム剤吐出ノズル14から吐出されたダム剤が基板100の表面に着床した後にダム剤吐出ノズル14の高さ位置を上昇させる上昇工程と、ダム剤吐出ノズル14を矩形に対応させて移動させる塗布工程と、ダム剤吐出ノズル14からのダム剤の吐出を停止するとともに、ダム剤吐出ノズル14の高さ位置をさらに上方に上昇させる液切り工程とを備える。 (もっと読む)


【課題】 基板の周辺領域にレジスト等の樹脂膜を効率良く形成することができ、半導体素子製造におけるスループット向上に寄与する。
【解決手段】 素子形成に供される基板10上の周辺部に樹脂膜を塗布する塗布装置であって、基板10が載置され、少なくとも180度回転可能な回転テーブル32と、基板10の中心を通る第1の方向(X方向)軸で2分割された第1の基板周辺領域及び第2の基板周辺領域の一方に相当する円弧に沿って樹脂を吐出するための複数のノズルを配置してなり、該ノズルが基板10の周辺領域に対向するように設置される樹脂膜形成ヘッド部50と、基板10と樹脂膜形成ヘッド部50を相対的に、第1の方向とは直交する第2の方向(Y方向)に移動させる移動機構45とを備えた。 (もっと読む)


【課題】スジムラの発生を抑制することが可能なノズルプリンティング装置を提供する。
【解決手段】所定の配列方向に所定の間隔をあけて配置される複数本のノズルを備えるノズルプリンティング装置であって、前記複数本のノズルは、溶媒と溶質とを含むインキを吐出する第1のノズルと、溶質を含まない液体を吐出する第2のノズルとから構成され、前記第1のノズルの本数と、第2のノズルの本数とが同じであるノズルプリンティング装置。 (もっと読む)


【課題】 描画対象物1枚あたりの描画時間を短縮することが望まれている。
【解決手段】 保持機構に保持された描画対象物に、液滴を吐出複数のノズルを有する第1及び第2のノズルユニットが対向する。移動機構が、描画対象物に対して、第1及び第2のノズルユニットを、相対的に、相互に交差する第1の方向及び第2の方向に移動させる。制御装置が、ノズルユニット及び前記移動機構を制御する。第1及び第2のノズルユニットの各々のノズルは、第2の方向に等間隔で配列した着弾点に液滴を着弾させるように配置されている。第1及び第2のノズルユニットは、第2の方向に間隔を隔てて配置されている。間隔調節機構が、制御装置からの制御により、第1及び第2のノズルユニットの間隔を変化させる。 (もっと読む)


【課題】従来の処理装置では、処理効率を向上させることが困難である。
【解決手段】ワークWを支持する2つのワークテーブル25と、ワークテーブル25のそれぞれを、2つのワークテーブル25間で共通する経路である共通経路を含む移動経路で案内するガイドレール23及びガイドレール24と、前記共通経路において、ワークテーブル25のそれぞれに支持されたワークWに対向した状態で、対向するワークWに対して描画処理を施す吐出ヘッド19と、前記共通経路においてワークテーブル25のそれぞれが吐出ヘッド19に対向し得る領域である処理領域73の外側に設けられ、ワークテーブル25に支持されたワークWの高さ位置を、処理領域73の外側で検出する第1検出装置14及び第2検出装置15と、吐出ヘッド19とワークWとの間の隙間量を調整する昇降モーター18と、を有する、ことを特徴とする処理装置。 (もっと読む)


【課題】基板の浮上量の変動を抑制することが可能な塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】第一気体供給経路及び第一吸引経路のうち少なくとも一方の経路の一部分には大気開放が可能な大気開放部が設けられているので、噴出される気体の流量及び吸引される気体の流量のうち少なくとも一方の変化を緩和することが可能となる。これにより、基板の浮上量の変動を抑制することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】隣接する開口部に吐出される液滴の体積の総量を、簡易な制御で均一化することが可能な有機EL表示パネルの製造方法等を提供する。
【解決手段】開口部17を形成したEL基板と、ノズル3030を所定のノズルピッチL1で複数配置したヘッド部301とを準備する第1工程と、EL基板に対しヘッド部301をX方向に走査させながら、各開口部17に対し、それらに対応するノズル3030からそれぞれ液滴を吐出させる第2工程を含み、第2工程において、各開口部17に対しヘッド部301を複数回にわたって走査させるとともに、1走査毎に、ノズルピッチL1の整数倍に相当する距離であって、Y方向に隣接する二の開口部における向かい合う開口部の端部同士の距離以上、二の開口部の一端から他端までの距離以下だけ、ヘッド部301をY方向に移動させる。 (もっと読む)


【課題】塗布ロボットを使った液剤塗布において、生産稼働率を上げるための搬送システムを提供する。
【解決手段】液剤塗布に関連する塗布関連ヘッド部7をX方向に搭載させ駆動するX駆動部9と、それに直交方向に移動させるY軸駆動部11があり、Y軸駆動部にはX軸駆動部10を搭載させ位置決めを行う。Y軸駆動部の下方には、X軸方向と平行に塗布部材12を搬送する搬送レーン1,2があり、片方の搬送レーンで液剤塗布等を行っている間に、他の搬送レーンでは塗布部材を搬送位置決めさせておき、塗布関連ヘッド部は搬送レーン間を移動し塗布する。また塗布ロボット5は、定ピッチで柔軟な生産に対応できるように連結可能としている。 (もっと読む)


【課題】例えば位牌に彫られた文字などに塗料を塗布することが、簡単かつ美麗に行えるようにする。
【解決手段】彫刻された文字に対して塗料を塗布する彫刻文字塗装装置11において、塗料を先端の吐出口24から吐出するディスペンサ21と、ディスペンサ21を、被塗装物31を支持する作業テーブル18の上方に前記吐出口24を下に向けて保持するスライダ20と、前記作業テーブル18及び/又はスライダ20を駆動して前記被塗装物31に対して前記吐出口24を相対移動する駆動部を備える。そして、これら各部21,18,20を、彫る深さを変化させることによって文字の太さを変化させた場合の深さ情報に基づいて、前記深さ情報が深いほど塗料の吐出量を増やす制御、又は前記駆動部の駆動速度を遅くする制御の少なくともいずれか一方の制御を行う制御回路26を備える。 (もっと読む)


【課題】液剤塗布における各種の塗布条件や生産数量等に対して、より標準的にシステム化対応する。
【解決手段】基本的な塗布対応構成の塗布ロボット1において、塗布ヘッド9をX方向に駆動させるX軸駆動部7、塗布ヘッドを上下させるZ軸駆動部10、塗布部材5をY方向に位置決めするY軸駆動部8と、Y軸部と一体駆動可能な様に組み付け、塗布部材を回転させるθ軸駆動部11で構成し、塗布部材に対して上記塗布ロボットの各軸を選択して塗布を行う。また、各種の塗布に対しては、塗布ロボットを単体から定ピッチで連結可能な構成とすることによりシステム化対応まで可能となり、塗布部材に対し最適な塗布ができる。また塗布に関連する各種の機能ヘッドにおいても、取付互換性を持たせて選択搭載し、各種塗布部材に対して最適な構成で液剤塗布をする。 (もっと読む)


【課題】 ダム剤とフィル剤とを効率的に塗布できるとともに、フィル剤の膜厚を均一なものとすることが可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】 塗布装置は、有機EL表示装置用ガラス基板や液晶表示装置用ガラス基板等の透光性を有する基板100に対して、ダム剤101とフィル剤102とを塗布するためのものであり、基台31上に固定された基板100を載置するためのステージ32と、ダム部を形成するためのダム剤101を吐出する吐出口を備えた複数のダム剤吐出ノズル14と、フィル部を形成するためのフィル剤102を吐出するスリットを備えたフィル剤吐出ノズル24とを備える。 (もっと読む)


【課題】接着剤塗布装置および接着剤塗布方法において、接着剤を塗布する際、接着剤が過剰に塗布された場合でも、過剰分を被塗布体から除去して被塗布体に塗布される接着剤の量を調整する。
【解決手段】被塗布体Wに接着剤6を供給するシリンジ7と、接着剤6を毛細管現象によって吸引するスリット13aが設けられたカラスグチ13と、カラスグチ13を被塗布体Wに対して相対移動させ、カラスグチ13を被塗布体Wに供給された塗布接着剤4に接触させるテーブル12および電動ガイド11と、を備える。 (もっと読む)


【課題】インクジェットヘッドを傾けることなくフィルタを製造する。
【解決手段】基材91の搬送方向および搬送方向と垂直な方向に周期的に配列されるフィルタをインクジェット印刷により製造するフィルタ製造装置1において、予め定められたフィルタピッチとヘッド解像度とを基に、印刷物の搬送方向と垂直な方向における同一個数のドット領域を有する印刷セルPcを設定する印刷セル設定部35と、基材91の搬送方向と垂直な方向におけるフィルタピッチFpxと印刷セルPcとのズレ量を算出するズレ量算出部36と、印刷セルPc内のズレ量が単位ドット領域を超えるか否かを判別するズレ量判別部37と、印刷セル内において単位ドット領域を超えるズレ量を印刷セルPcに含まれるドット領域数を調節することで補完する印刷セル補完部38とを備えたフィルタ製造装置。 (もっと読む)


【課題】撥液剤により構成された膜にアライメントマークを形成することができるパターン形成装置およびパターン形成方法を提供する。
【解決手段】基板上に所定のパターンを形成するパターン形成装置である。基板上に形成された、撥液剤により構成された膜に、アライメントマークとなるマークパターンを露光するマーク露光部と、マークパターンの露光領域に可視化インクを印刷し、アライメントマークを形成するマーク印刷部と、さらに、アライメントマークを検出し、アライメントマークの位置情報を得るマーク検出部と、アライメントマークの位置情報に基づいて膜に形成するパターンの位置を変えるか、または基板の位置を変えてパターンを形成する位置を調整する調整部と、膜にパターンを形成する画像形成部とを有する。 (もっと読む)


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