【課題】ピストンおよび付随する動的シールを用いない液体分配弁を提供する。
【解決手段】弁部材３０が開放位置と閉鎖位置との間で液体排出口１８に対して移動するように取り付けられ、作動部分４０が、液体分配部分１２と連結されており、膨張式ブラダー構造体５０を含む。膨張式ブラダー構造体は正圧空気の空気供給部７２と流体連通して連結される内側部６０ａを含む。ブラダー構造体は正圧空気によって拡張して、弁部材を開放位置か閉鎖位置のうちの少なくとも一方から開放位置か閉鎖位置のうちの他方へ移動させることができ、ホットメルト接着剤等の液体を分配する。 （もっと読む）

【課題】液膜の幅を安定させることができるスリットノズルおよびこれを備えた基板処理装置を提供すること。
【解決手段】スリットノズル１１は、長手方向Ｘ１に延びるスリット状の吐出口５４が形成された吐出部４５と、吐出口５４の長手方向Ｘ１の両端にそれぞれ配置された一対のガイド部４６とを含む。一対のガイド部４６は、長手方向Ｘ１に間隔を空けて対向する一対のガイド面６６をそれぞれ含む。一対のガイド部４６のそれぞれには、ガイド面６６より凹んだ凹部６８が形成されている。 （もっと読む）

【課題】気泡を含む液体が基板などの対象物に供給されることを抑制または防止できるスリットノズルおよびこれを備えた基板処理装置を提供すること。
【解決手段】スリットノズル１１は、長手方向Ｘ１に延びるスリット状の吐出口５４が形成された吐出部４５と、吐出口５４に供給される液体が流通する液体流路５５が形成された供給部４３と、液体流路５５を上流側と下流側とに仕切っており、上流側と下流側とを接続する複数の第１接続路６４が形成された第１拡散板４７とを含む。 （もっと読む）

【課題】 往復移動するノズルに対して可撓性の塗布液供給管により塗布液貯留部から塗布液を送液した場合においても、塗布液の流量を一定に維持して塗布液を均一に塗布することが可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】 圧力変動吸収機構７０は、圧力吸収部７１と流量抵抗部７２とを備える。圧力吸収部７１は、塗布液供給管６４から送液される塗布液の圧力変動に伴って弾性変形することにより塗布液の収容部の体積を変化させるものであり、肉薄の樹脂製の軟質チューブ７３から構成される。また、流量抵抗部７２は、塗布液供給管６４や軟質チューブ７３よりも内径が小さい、すなわち、より小さなオリフィスを有する肉厚の樹脂製の硬質チューブ７４から構成される。 （もっと読む）

【課題】短時間で塗布液流量を調整して、塗布液の塗布量を正確に制御することが可能な塗布液塗布装置および塗布液塗布方法を提供する。
【解決手段】塗布液の塗布を行う前に、予め、塗布軌跡の幅と各ノズルから吐出される塗布液の流量との関係を示す関係式を作成して記憶する準備工程を実行する。そして、塗布を実行する毎、あるいは、一定期間毎に、テスト塗布領域に対して塗布液を連続して吐出することにより形成された塗布軌跡の幅を測定する塗布軌跡測定工程を実行する。ガラス基板への塗布液の塗布時には、各支管流量計７５が計測した塗布液の流量値と、塗布軌跡測定工程で測定した塗布液の幅と、予め記憶した関係式とを利用して各流量制御バルブ７４の開度を調整することにより、塗布液の塗布量を適正なものとする。 （もっと読む）

【課題】塗工品質の向上を図りつつ、塗工スピードの高速化によって生産性の向上を図った塗工装置を提供する。
【解決手段】塗工ヘッド３からスラリ状の活物質を吐出して、基材である集電体上に間歇的に塗布する装置である。塗工ヘッド３は、ヘッド本体３ａに開口形成されたスリット状の吐出口１６と、ヘッド本体３ａのうち吐出口１６の奥部側に形成された弁室１７と、この弁室１７に回転可能に収容配置されたカムシャフト２０とを備えている。カムシャフト２０の一回転につき一回の割合で、そのカムロブ２２にて吐出口１６を直接的に閉じるようになっている。 （もっと読む）

【課題】応答性が向上した空圧式の塗布装置を提供する。
【解決手段】軸部３３に固定された第１及び第２プランジャ３１，３２、を含むピストン３０と、塗布剤を吐出するための吐出口を有した充填室１１、前記第１プランジャにより前記充填室と仕切られた制御室１２、前記第２プランジャにより互いに仕切られた第１及び第２調整室２１，２２、前記制御室と前記第１調整室とを仕切ると共に前記軸部が移動可能に貫通した仕切部２５、を含むハウジング１０，２０と、前記制御室、前記第１及び第２調整室に空気を供給可能な空気供給部と、前記第１及び第２調整室内の空気をそれぞれ調整室外に開放可能な第１及４１び第２弁４２と、前記第１及び第２弁が閉じ前記第１及び第２調整室の各内圧が所定圧を超えた状態で、前記第１弁を開き前記空気供給部により前記制御室へ空気を供給させることにより前記ピストンを始動させる制御部と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 塗布液の塗布量を正確に制御することが可能な塗布液塗布方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】 塗布液を本管を介して複数の支管のうちの一つの支管にのみ供給したときの本管に配設された基準流量計が示す流量値と、支管に配設された支管流量計が示す流量値との間の関係を示す第１関係式を求める第１関係式作成工程と、塗布液を本管を介して複数の支管のうちの一つの支管にのみ供給したときの支管に設けられた流量制御バルブの流量設定値と、支管に配設された支管流量計が示す流量値との関係を示す第２関係式を求める第２関係式作成工程と、第１、第２関係式作成工程を複数の支管のうちの他の支管について順次実行する支管変更工程と、各支管に対して作成された前記第１関係式と前記第２関係式とに基づいて各支管の流量制御バルブを制御して基板に塗布液を供給する塗布工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】大型ガラス基板へ高精細なパターンでシール材を高精度に塗布できるようにする。
【解決手段】ペースト塗布ヘッドでは、大容量の親ペースト収納筒２３と小容量の子ペースト収納筒２４とが設けられており、この親ペースト収納筒２３には、多量のペーストが収納されている。子ペースト収納筒２４では、ガラス基板へのペーストパターンの描画時、そこに収納されているペーストがノズル２２から吐出される。子ペースト収納筒２４内でのペーストの収納量が少なくなると、仕切り弁３０が開放されて親ペースト収納筒２３と子ペースト収納筒２４とがペースト終点流路２７を介して連通し、親ペースト収納筒２３内のペーストが子ペースト収納筒２４に補充される。 （もっと読む）

【課題】ノズルからの塗布液の吐出開始および終了を明確に区切りつつも、簡素な構造の塗布装置および該塗布装置を組み込んだ塗布膜形成システムを提供する。
【解決手段】閉止バルブ２０の弁体４０の移動方向と垂直なシリンダ３０の流路端面に入側開口３３を形成するとともに、その移動方向と平行なシリンダ３０の側面に出側開口３６を形成する。閉止バルブ２０の閉止時には出側開口３６が形成された流路端面に弁体４０が接触するとともに、閉止時以外ではシリンダ３０の流路端面および側面のいずれとも弁体４０が非接触である。塗布ノズルからの塗布液の吐出を停止すべく弁体４０がシリンダ３０内にて前進すると、弁体４０が流路端面に当接して入側開口３３を閉塞するに至る過程で出側開口３６に負圧が作用する。これにより、シリンダ３０の出側開口３６から塗布ノズルに至るまでの流路に存在している塗布液がシリンダ３０に向けて吸引される。 （もっと読む）

【課題】 シーリングガンの軽量化とシーリング材の吐出流量の一定化及び安定化を同時に図ると共に、大型のエアーポンプや長いホースを用いることもなく、作業性を向上させると同時に、後ダレ現象をも生じることのないシーリング材吐出装置を提供する。
【解決手段】 携帯可能なバッテリー１０により同じく携帯可能なエアーポンプ１１を作動させ、流量調整弁１３を介してシーリングガン１５に加圧エアーを供給し、カートリッジ１７内のピストン２０を所定の一定速度で押し込んでシーリング材１６をノズル１９から所定流量で吐出させる。シーリングガン１５の開閉レバー３０は、カートリッジ１７の加圧室１７Ａへ加圧エアーを供給する給気バルブ４０とこの加圧エアーの供給を停止したとき、加圧室１７Ａを大気に開放する排気バルブ６０とを有し、後ダレ現象の発生を抑える。 （もっと読む）

【課題】２種類の液体を所定の比率で精度良く混合することのできる混合吐出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】第１の流体及び第２の流体をそれぞれ収容するタンク１，２と、各流体を圧送するポンプ３，４と、各流体が合流する合流部５と、各流体を混合する無駆動型の混合装置６と、合流部５よりも上流側で、各流体の混合比を確認する混合比確認部７とを備え、合流部５に、逆止弁１２が設けられた混合吐出装置１００が、混合比確認部７が、第１の流体が通る第１経路１７と、第２の流体が通る第２経路１８と、第１経路１７及び第２経路１８を通る各流体の圧力をそれぞれ検知する圧力検知部と、該圧力検知部よりも下流側で、圧力検知部で検知された各流体の圧力の差に応じて、第１経路１７及び前記第２経路１８の経路面積を変化させて第１の流体及び第２の流体の流量を調整する流量調整部と、を含む圧力調整ユニット１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】動作の速い液体供給バルブユニット及び液体噴射装置を提供すること。
【解決手段】弁を強制的に開かせる開放モードと、弁を閉じさせる閉塞モードとを切り替えて行わせることとしたので、必要に応じて弁の開閉を短時間で行わせることができる。加えて、本発明では、可撓性部材の周辺部及び受圧部を押圧させることで開放モードを行わせることとしたので、受圧部を押圧した場合であっても、可撓性部材が液体収容室の外側へ向けて撓むのを防ぐことができる。この場合、液体収容室内に残圧が形成されるのを防ぐことができるため、動作を待機させる必要が無く、すぐに次の動作に移ることができる。これにより、動作の速い液体供給バルブユニットを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】液だれ防止装置付きのシーラガンＡにおいて、シーラを吐出筒２先端の吐出口２０ａから吐出させて塗布作業、充填作業を行うときに、吐出口２０ａからの吐出に直進性がなく、作業性を悪くしている問題を解決するため、吐出するシーラが、吐出口２０ａから、前方に向け直進して吐出されるようにする手段を創出する。
【解決手段】液だれ防止装置Ｂが装備せしめてあるシーラガンＡにおいて、吐出筒２の先端の吐出口２０ａの前面に、内腔を吐出口２０ａの口径に揃えた誘導パイプＣを、突出長さが１０ｍｍ程度となる長さに設定して吐出口２０ａを延出するように装設する。 （もっと読む）

【課題】 液体材料の吐出量の精度向上が図られた定量吐出装置を提供する。
【解決手段】
本発明に係る定量吐出装置１０においては、一対の開閉弁４０、５０が、キャビティ４１、５１の流路部４１ｂ、５１ｂおよび延長部４１ｃ、５１ｃは同一の断面積となっており、また、弁体４２、５２の支持シャフト４２ｂ、５２ｂおよび延長シャフト４２ｃ、５２ｃも同一の断面積となっている。そのため、吐出準備段階において、開閉弁４０、５０の開閉のためにキャビティ４１、５１内を弁体４２、５２が進退したときであっても、開閉弁４０、５０の内部容積は変動せず、開閉弁４０、５０の内部の液体材料は移動しない。したがって、吐出段階において、押し出しピン６２が、連結管２５の液体材料を押し出す際に、押し出しピン６２の体積移動分だけ、定量の液体材料が高い精度で吐出することができる。 （もっと読む）

【課題】塗布速度を向上させる。
【解決手段】粘性流体を塗布対象物に塗布する塗布部３４と、塗布部３４へ供給する粘性流体の供給量を制御する制御部５０と、を備える塗布装置３０であって、制御部５０は、粘性流体が導入される導入室５１と、導入室５１に導入された粘性流体を排出する排出室５２と、導入室５１と排出室５２とを連通する連通路５６ａと、導入室側から連通路５６ａを閉じる第１弁部材５５２と、排出室側から連通路５６ａを閉じる第２弁部材５５３と、第１弁部材５５２と第２弁部材５５３とが設けられる軸部材５５４と、連通路５６ａが第１弁部材５５２と第２弁部材５５３とによって交互に閉じられるように、軸部材５５４を駆動する駆動部５３，５５１と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗工開始運転時における塗工部分が波打ちやかすれなどが生じない安定した状態で形成できる塗工装置を提供する。
【解決手段】制御部３４は、塗工開始運転を行う場合、ウエブＷを走行させ、給液バルブ３２を閉状態にし、ポンプ２８の運転を開始し、圧力計３７が検出した検出圧力が、設定圧力より高くなると給液バルブ３２を開状態にする。 （もっと読む）

【課題】基板に塗布された塗布液の膜厚の均一性を向上する技術を提供する。
【解決手段】塗布液を塗布する塗布装置であって、塗布液を吐出するノズルと、基板に対して、ノズルを移動させるノズル移動機構と、塗布液を貯留するタンクと、タンクに貯留された塗布液をノズルに向けて送液する送液部と、塗布液をノズルに供給するためにタンクとノズルとの間に設けられ、ノズル移動機構によるノズルの移動に追従して変形する接続チューブと、タンクからノズルに向けて供給される塗布液の流量を測定する流量測定部と、流量測定部による測定結果に基づき、送液部を制御することによって、ノズルに向けて送液される塗布液の送液量を調節する送液制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】鋼製ロープなど外周面にスパイラル状の凹凸のある長尺材の外周方向及び長手方向に、揮発性の高い接着剤を変質なく付着させて、周方向の凹凸にムラなく、かつ長手方向の膜厚変動を抑制する接着剤塗布装置を提供する。
【解決手段】鋼製ロープ１など外周面にスパイラル状の凹凸のある長尺の被塗布材への接着剤塗布装置であって、接着剤４１を貯蔵する温度調節可能な溶液タンク１１と、所要量の接着剤を送り出す吐出機構２６と、前記被塗布材１を移動させながら挿通させ、挿通の途中において、前記吐出機構２６から送り出された接着剤を供給穴から吐出して前記被塗布材１に付着させる筒状ノズル２と、前記被塗布材１上に付着した接着剤の膜厚を調整する絞り機構３を備えている。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、所定の間隔で間欠的に液体を被塗工対象へ塗工する塗工装置であって、作業者のスキルに影響されずに、長時間に亘って高品質の塗工が可能な塗工装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の塗工装置１０は、液体が通過する管１１と、管１１を通過した液体を吐出させる吐出手段１２と、管１１を仕切ると共に、液体を通過させるための開口１４を備えた仕切体１３と、吐出手段１２側へ移動することにより開口１４を開く弁１５と、開口１４を通過する時の液体の流出速度を取得し、該取得した流出速度と一致する移動速度で弁１５を移動させる制御手段１６と、を備える。 （もっと読む）