【課題】吸引力発生源において発生する振動が液体吐出に悪影響を及ぼしにくい。
【解決手段】サブキャリッジ１００に保持されたプレコートヘッド１０とインクジェットヘッド１１との間に吸引機構１３０が設けられている。吸引機構１３０は、固定側ダクト１３１、可動側ダクト１３２及び吸引ユニット１３３（吸引力発生源）を有している。固定側ダクト１３１及び可動側ダクト１３２は互いに連結され、吸引ユニット１３３は、固定側ダクト１３１及び可動側ダクト１３２を介してミストを吸引する。固定側ダクト１３１及び吸引ユニット１３３は、メインキャリッジ１２０に保持されており、可動側ダクト１３２はサブキャリッジ１００に保持されている。移動機構は、メインキャリッジ１２０に対してサブキャリッジ１００を移動させる。 （もっと読む）

【課題】フォトレジストの消耗量が節減されるノズルユニット、基板処理装置、及び基板処理方法が提供される。
【解決手段】本発明による基板処理装置は、基板を支持するプレートと、前記プレートに支持された前記基板に薬液を塗布するノズルユニットと、前記プレートに置かれる基板と前記ノズルユニットとの間の相対位置が変更されるように前記基板又は前記ノズルユニットを移動させる駆動ユニットと、を含む。前記ノズルユニットは、横方向が第１方向に沿って形成され、前記基板に第１薬液を吐出する第１吐出部と、横方向が前記第１方向に沿って形成され、前記基板に第２薬液を吐出する第２吐出部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】処理液等の薬液の無駄な消費を無くし、且つ、タクトタイムを短縮し、生産性を向上する。
【解決手段】円柱状または円盤状に形成され、その周面に前記ノズル先端の長手方向に沿って平行に形成された複数の払拭部１１ａを有し、所定方向に臨む一の払拭部によりノズル先端３ａを狭持すると共に、前記ノズル先端の長手方向に沿って移動可能に設けられた払拭体１１と、前記払拭体を前記ノズル先端の長手方向に沿って移動させる払拭体移動手段１３，１４，１５と、前記ノズル先端の側方に移動された前記払拭体を軸周りに回転させ、前記一の払拭部に代えて他の払拭部を前記所定方向に臨む状態とする払拭体回転手段１７，１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ノズルを十分清浄に洗浄でき、かつ、そのメンテナンスが容易なノズル洗浄装置および該ノズル洗浄装置を備えた塗布装置を提供する。
【解決手段】 洗浄機構６０は、超音波振動子１５を収納するとともに、この超音波振動子１５を冷却するための冷却水１３を貯留する冷却水貯留部１１を備える。また、洗浄機構６０は、冷却水貯留部１１に貯留された冷却水１３中にその下面が浸漬された状態で配設され、その内部に溶液１４を貯留する溶液貯留部１２を備える。スリットノズル４１を溶液１４中に浸漬した状態で超音波振動子１５が超音波振動を発振した場合には、この超音波振動は、冷却水１３および溶液貯留部１２を介して溶液１４に伝達される。 （もっと読む）

【課題】電極用塗工塗膜を形成する際、塗工精度を保ちつつ、塗工部の終端部にヒゲ形状が生じないように塗工することが可能な二次電池の電極部材の塗工装置および塗工方法を提供すること。
【解決手段】塗料を吐出する塗工用ヘッド（５）と、塗工用ヘッド（５）に塗料を供給する塗料供給装置(１，２)と、塗料供給装置(１，２)から流路仕切弁（４）を介して塗工用ヘッド（５）へ塗料を送液するための第１の流路と、塗料供給装置(１，２)から流路仕切弁（４）を介して塗料供給装置(１，２)に塗料を還流させるための第２の流路と、塗工用ヘッド（５）の近傍に設けられ、塗工停止時に塗工用ヘッド（５）内の塗料を吸引する２つ以上の吸引バルブ（１０）とを備える電極部材の塗工装置。 （もっと読む）

【課題】付随液滴がノズル孔の縁に付着して塗布対象物上の狙いの位置に塗布液が塗布できなくなるのを抑制できる薄膜製造装置、前記薄膜製造装置で製造した電気機械変換薄膜を備えた電機機械薄膜素子、液滴吐出ヘッド、及び、液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズル孔とノズル板電極とを有するノズル板が設けられた液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドと対向する塗布対象物と、塗布対象物を介して液滴吐出ヘッドと対向する対向電極と、対向電極に電圧を印加する対向電極電圧印加手段と、ノズル板電極に電圧を印加するノズル板電極電圧印加手段とを備えた薄膜製造装置において、ノズル孔を基点にして所定方向にノズル板電極が２つ以上並んでおり、各ノズル板電極からの静電気力で付随液滴を前記所定方向に移動させ、ノズル孔側から２番目以降の所定のノズル板電極に付随液滴が静電気力で引き寄せられて回収されるように、各ノズル板電極に電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換膜を形成するための原料を含む塗布液をノズルから吐出させて電極上に塗布するときに不要な液滴を電極に付着させることなく、かつ所望パターンの電気機械変換膜を形成することができる。
【解決手段】所定の極性に帯電されているＰＺＴ前駆体溶液２０３がノズルから吐出された後所定時間が経過した後にミスト回収用電極２０９に電圧を印加する。ミスト回収用電極２０９への電圧印加の開始を吐出から所定時間遅らせることで、主液滴３００は電圧が印加されたミスト回収用電極２０９の電界から静電気力を受ける時間を少なくするとともに、ミスト液滴３０１を第１の電極に到達する前に回収される。第１の電極の所定部分に塗布され、基板１１上の所望のパターンに塗布される。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤ素子の発光波長がばらつく場合にあってもＬＥＤパッケージの発光特性を均一にして、生産歩留まりを向上させることができるＬＥＤパッケージ製造システムにおける樹脂塗布装置および樹脂塗布方法を提供する。
【解決手段】蛍光体を含む樹脂によってＬＥＤ素子を覆って成るＬＥＤパッケージの製造に用いられる樹脂塗布装置であって、発光特性測定用として試し塗布材４３に塗布した樹脂８に向かって励起光を照射し、試し塗布材４３で反射して樹脂８を通過した光の発光特性を発光特性測定部によって測定した測定結果と、予め規定された発光特性との偏差を求め、この偏差に基づいて実生産用としてＬＥＤ素子に塗布されるべき樹脂の適正樹脂塗布量を導出する。 （もっと読む）

【課題】ケーブル、ホースやパイプなどの長いものに連続して印字する場合、帯電タイミングを検出し、印字乱れの発生を防止する。
【解決手段】加圧インクをノズルより噴出し、粒子化するインク粒子作成手段と、粒子化されたインク粒子のうち印字されるドットに対応するインク粒子に電荷を帯電させる帯電手段と、該電荷が帯びたインク粒子を偏向電界中で偏向する偏向手段と、印字されないドットに対応するインク粒子をガターで回収する回収手段と、被印字物上にドットマトリクス状に文字を形成する文字形成手段とを備えたインクジェット記録装置であって、ドットマトリクス文字を形成する際、印字に使用しないインク粒子に位相検出用帯電信号を与え、ドットマトリクス文字を形成する過程において最適な帯電タイミングを検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の性質にバラつきが生じるのを防ぐこと。
【解決手段】易酸化性の金属及び溶媒を含む液状体を基板に吐出するノズルを有する塗布部と、前記塗布部に前記液状体を供給する供給系と、前記供給系及び前記塗布部のうち少なくとも一方から前記液状体を回収し、回収した前記液状体を前記供給系及び前記塗布部のうち少なくとも一方に供給する循環系とを備える。 （もっと読む）

【課題】スリットノズルを用いて基板上に塗布液を塗布する基板塗布方法及び装置において、待機時間におけるスリットノズル内の塗布液の乾燥及び酸化等の液劣化を抑制する。
【解決手段】スリットノズル３１から塗布液２０を塗布して塗布膜を形成する第１の工程と、次なる基板上に塗布液２０を塗布せずに待機する第２の工程と、スリットノズル３１の下方位置にその吐出口３０から間隔を経て配置されるローラ部５０に塗布液２０を吐出する第３の工程と、を含み、第２の工程において、スリットノズル３１からローラ部５０へ塗布液２０を吐出させる。こうすれば、塗布液２０が適宜に循環されるので、スリットノズル３１内の塗布液２０の乾燥及び酸化等の液劣化を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】接着剤塗布装置および接着剤塗布方法において、接着剤を塗布する際、接着剤が過剰に塗布された場合でも、過剰分を被塗布体から除去して被塗布体に塗布される接着剤の量を調整する。
【解決手段】被塗布体Ｗに接着剤６を供給するシリンジ７と、接着剤６を毛細管現象によって吸引するスリット１３ａが設けられたカラスグチ１３と、カラスグチ１３を被塗布体Ｗに対して相対移動させ、カラスグチ１３を被塗布体Ｗに供給された塗布接着剤４に接触させるテーブル１２および電動ガイド１１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】液体が液垂れすることによる不良品の発生を抑制する。
【解決手段】芯体１２への塗布が終了した後、遮断部材６２を芯体１２の塗布開始端側に向かって遮蔽位置へ移動させる。これにより、吐出部５６Ｃのノズル５６Ｅと芯体１２との間が遮蔽された状態とする。 （もっと読む）

【課題】キャップにおける開口部の周縁部に付着した液体を除去することが可能なメンテナンス装置、メンテナンス方法、及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】メンテナンス装置は、ノズルからインクを噴射する記録ヘッドに対してノズルを囲うように当接可能であって、記録ヘッド側に矩形状の開口部２５ａを有する有底箱状をなすキャップ２５と、キャップ２５における開口部２５ａの周縁部を構成する開口縁２５ｂとインクを吸収可能な吸収布４１とを接触させる駆動機構２８と、吸収布４１を開口縁２５ｂが有する直線部分と交差する方向に移動させる布巻取リール４３及び巻取モーター４４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ノズルの乾燥を防止した吐出装置を提供する。
【解決手段】 ターゲット３１に液滴９を吐出する複数のノズル１１を備えた吐出ヘッド１０を含むヘッドユニット５０と、ターゲット３１を載せたテーブル３０を移動させるテーブル移動ユニット６０と、ヘッドユニット５０およびテーブル移動ユニット６０を制御する制御ユニット９０とを有する吐出装置１である。制御ユニット９０は、隙間調整ユニット１５により隙間５を広げた後、キャッピングユニット２５によりキャップ２０を隙間５に入れて複数のノズル１１をキャッピングするキャッピング制御機能９２と、吐出位置またはその近傍でキャッピングユニット２５によりキャップ２０を隙間５から出した後、隙間調整ユニット１５により隙間５を狭めてターゲット３１に液滴９を吐出する吐出制御機能９１とを含む。 （もっと読む）

【課題】 金属イオンによる塗布対象物の品質低下を抑制して良好な塗布を行なう。
【解決手段】 ノズルプレート７ｂが金属材料で構成されたインクジェット式の塗布ヘッド７に供給する塗布液を貯留する給液タンク１２と、塗布ヘッド７と給液タンク１２とを接続し塗布ヘッド７に塗布液を供給する給液管１３、１４と、塗布ヘッド７から塗布液を排出する排液管２２、２３と、給液タンク１２に貯留された塗布液を塗布ヘッドに向けて送液する送液手段１８と、この送液手段１８を制御する制御装置とを備え、制御装置は、塗布液中に含有される金属イオンの濃度が設定濃度に到達したときに、塗布液を排出管を通して排出させるように送液手段１８を制御する。 （もっと読む）

【課題】有機材料の塗布液を塗布する際に、塗布液の液切れを良くして効率的に塗布する手段を提供する。
【解決手段】ヘッド部と、前記ヘッド部と連結したノズルと、前記ノズルの先端に設けられた接触子と、前記接触子の外側に設けられた塗布液吸い取り管と、を有することを特徴とする成膜装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】一つの装置で、粘性を有する液体を一方向に沿って移動する塗布対象面の移動方向と直交する方向に亘って均一の厚みで塗布する機能と、該塗布された液体を剥離する機能とを有し、塗布厚みを自由且つ容易に調整することができる液体塗布・剥離装置の提供。
【解決手段】粘性を有する液体を均一厚みに塗布する機能と、該塗布された液体を剥離する機能とを有する液体塗布・剥離装置2であって、ステー部材20と、液体を均一厚みに塗布するための塗布ブレード24及び塗布された液体を掻き取り剥離するための剥離ブレード25と、塗布ブレード24の先端又は剥離ブレード25の先端の塗布対象面に対する高さ位置を切り替える切り替え機構と、ステー部材20を昇降させることで、塗布ブレード24および剥離ブレード25を一体に昇降させ、突出する塗布ブレード24の先端又は剥離ブレード25の先端を、塗布対象面に接離させる昇降機構と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で保湿液をワイパー部材へ供給することが可能で、かつ、ワイパー部材への長期に亘る安定した保湿液の供給が可能な液体吐出装置を提案する。
【解決手段】液体吐出装置は、媒体に向かって液滴を吐出するノズル面３ａが形成される液体吐出ヘッド３と、ノズル面３ａに当接してノズル面３ａを拭くワイパー部材１１と、ワイパー部材１１へ供給される保湿液が貯留される保湿液タンクを備える保湿液供給部１５と、ワイパー部材１１がノズル面３ａに当接可能な当接可能位置１１Ａとワイパー部材１１がノズル面３ａに当接しないように退避する退避位置１１Ｂとの間でワイパー部材１１を移動させる移動機構と、ワイパー部材１１の移動動作を利用して作動する作動部材２２とを有している。ワイパー部材１１の移動動作によって作動した作動部材２２は、保湿液供給部１５に当接して保湿液タンク内の保湿液をワイパー部材１１に向かって吐出させる。 （もっと読む）

【課題】塗布ヘッドに非適正ノズルが発生した場合でも、その非適正ノズルを適正な状態に戻すメンテナンス作業を行う機会を減少させ、稼働率の低下を抑える。
【解決手段】複数のノズルが所定方向に配列された塗布ヘッドと塗布領域を有する基板とをノズルの配列方向と交差する方向に相対的に走査移動させ、この走査移動時に塗布領域に対向するノズルから液滴を吐出させて塗布領域に塗布液の液滴を塗布する液滴塗布装置において、ノズルからの液滴の吐出状態を検出する検出部と、塗布ヘッドと基板とをノズルの配列方向に相対的に移動させる移動駆動部と、検出部と移動駆動部とを制御する制御部２５とを有し、制御部２５は、検出部２３の検出結果に基づいて各ノズルからの液滴の吐出状態の適否を判定し、非適正ノズルがあるときには、非適正ノズルが塗布領域から外れて位置するよう移動駆動部１０を制御する。 （もっと読む）