Fターム[4F041BA60]の内容
塗布装置−吐出、流下 (28,721) | 塗布装置一般、その他 (14,196) | 吐出後における塗布剤措置に特色のあるもの (1,710) | ノズルからの塗布剤除去(ノズル洗浄) (654)
Fターム[4F041BA60]に分類される特許
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ワイパーユニット及び液体噴射装置
【課題】軽量化を図りつつ、液体噴射ヘッドの払拭時に払拭部材が弛むことを抑制できるワイパーユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクを噴射する記録ヘッド22に付着したインクを払拭する長尺状のワイピング部材30の一端を巻装した繰り出しローラー81、または、ワイピング部材30の他端を巻装した巻き取りローラー82のうち、払拭時にワイピング部材30に対して作用する摩擦力によって張力がかかるローラーの回動を規制するラチェット115,124を備えた。
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ワイパーユニット及び液体噴射装置
【課題】ワイピング部材の浪費を抑制しつつ、ワイピング部材において液体を吸収した部分が液体噴射ヘッドに当接することを回避することができるワイパーユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクを噴射する記録ヘッドに付着したインクを払拭する長尺状のワイピング部材30を巻装した繰り出しローラーと、繰り出しローラーから巻き解かれたワイピング部材30を巻き取る巻き取りローラー82と、ワイピング部材30において繰り出しローラーと巻き取りローラー82との間の掛装される部分を巻き掛けた状態で、繰り出しローラーから巻き取りローラー82へのワイピング部材30の繰り出しに伴って連れ回るように回動する中継ローラー89と、中継ローラー89の回動量を検出するロータリーエンコーダー129とを備えた。
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ノズルメンテナンス装置及びそれを用いた塗布処理装置
【課題】処理液等の薬液の無駄な消費を無くし、且つ、タクトタイムを短縮し、生産性を向上する。
【解決手段】円柱状または円盤状に形成され、その周面に前記ノズル先端の長手方向に沿って平行に形成された複数の払拭部11aを有し、所定方向に臨む一の払拭部によりノズル先端3aを狭持すると共に、前記ノズル先端の長手方向に沿って移動可能に設けられた払拭体11と、前記払拭体を前記ノズル先端の長手方向に沿って移動させる払拭体移動手段13,14,15と、前記ノズル先端の側方に移動された前記払拭体を軸周りに回転させ、前記一の払拭部に代えて他の払拭部を前記所定方向に臨む状態とする払拭体回転手段17,18とを備える。
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液体噴射装置
【課題】ミストの発生を低減させることが可能な液体噴射装置を提供すること。
【解決手段】搬送媒体に対して液体を噴射するノズルが形成されたノズル形成面を有する液体噴射ヘッドと、回転可能に設けられ、回転方向に角部と側面とが交互に配置されるように多角柱状に形成され、回転することにより少なくとも一つの前記角部において前記ノズル形成面を払拭する払拭部とを備える。
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液体噴射装置
【課題】ノズル形成面に対して所期の払拭力で払拭動作を行うことが可能な液体噴射装置を提供すること。
【解決手段】搬送媒体に対して液体を噴射するノズルが形成されたノズル形成面を有する液体噴射ヘッドと、回転可能に設けられ、回転しつつ前記ノズル形成面に当接されることで前記ノズル形成面を払拭する払拭部と、前記払拭部が前記ノズル形成面に当接された状態において前記払拭部が前記ノズル形成面から離れる方向に変形するのを抑制する変形抑制部とを備える。
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塗布処理装置
【課題】処理動作のタクトタイムを短縮することができ、且つ、ノズルのメンテナンス処理に起因する被処理基板の汚染を防止する。
【解決手段】被処理基板Gの幅方向に延びる吐出口を有し、前記処理ステージ上の前記基板の上方を基板搬送方向に沿って移動されると共に、前記吐出口から前記基板上に処理液を吐出するノズル31と、前記ノズルを昇降移動可能であって、前記ノズルを基板搬送方向上流側または下流側に向けて移動可能なノズル移動手段32と、基板搬送路4の下方に設けられ、前記ノズルの吐出口の状態を整えるノズルメンテナンス手段35と、前記基板搬送路において前記処理ステージの上流側または下流側に所定長さの空き区間dを出没自在に形成可能な空き区間形成手段21,22,23A、23B、30とを備える。
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塗布装置のメンテナンス方法及び塗布装置
【課題】塗布装置のメンテナンス時間の短縮化を図る。
【解決手段】主剤51eと硬化剤52eを混合して形成した塗布樹脂を塗布するスリットコータ装置40のメンテナンスにおいて、スリットコータ装置40の未使用時(樹脂塗布休止状態時)に、主剤51eと硬化剤52eのうちの主剤51eをスリットコータヘッド42内に充填してヘッド内を1つの樹脂である主剤51eに置換し、その後、液槽54に収容された主剤51eにスリットコータヘッド42の先端部を浸す。
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インクジェット記録装置
【課題】ワイパブレードに付着したインクによる汚れを低減したインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】被記録媒体にノズル面からインクを吐出して記録を行う記録ヘッドと、前記ノズル面に対して下方に略垂直に配置されて、前記ノズル面に付着しているインクを拭き取る拭取部を上端部に有するワイパブレードを備えたインクジェット記録装置であって、前記ワイパブレードは下端部に下方へ突出するように延設される突出部を有し、前記突出部は、上下方向に対して直交する方向における一端部と他端部との間隔が、下方へ向かうほど小さくなることを特徴とする。
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インクジェット捺染装置
【課題】固定されたフラッシングポジションを設けなくてもフラッシングを行うことができ、且つ印捺品質低下の虞の少ないフラッシングを実行できること。
【解決手段】複数の色のインクを吐出する複数のノズルを備えるインク吐出部と、被捺染材をセットするセット面を有し前記インク吐出部に対して相対移動するセットトレイと、前記インク吐出部のインク吐出動作とフラッシング動作を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記セットトレイにセットされた被捺染材上であって画像データの及ぶ範囲外の部位をフラッシング領域とし、該フラッシング領域の被捺染材の色とフラッシングとして吐出され着弾して発現するインクの色とが同系色の関係を持って当該フラッシング領域にフラッシングを行うように構成されている。
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ノズル洗浄装置および該ノズル洗浄装置を備えた塗布装置
【課題】 ノズルを十分清浄に洗浄でき、かつ、そのメンテナンスが容易なノズル洗浄装置および該ノズル洗浄装置を備えた塗布装置を提供する。
【解決手段】 洗浄機構60は、超音波振動子15を収納するとともに、この超音波振動子15を冷却するための冷却水13を貯留する冷却水貯留部11を備える。また、洗浄機構60は、冷却水貯留部11に貯留された冷却水13中にその下面が浸漬された状態で配設され、その内部に溶液14を貯留する溶液貯留部12を備える。スリットノズル41を溶液14中に浸漬した状態で超音波振動子15が超音波振動を発振した場合には、この超音波振動は、冷却水13および溶液貯留部12を介して溶液14に伝達される。
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ダイコート塗工装置及び塗工方法
【課題】連続走行するウェブに薄膜を形成する際、スジやムラ等の塗工欠陥の抑制を図り、安定して高性能、高機能な薄膜を得ることを可能にするダイコート塗工装置及び塗工方法を提供する。
【解決手段】連続走行するウェブに塗液を塗布する塗工装置であって、前記ウェブを走行させるバックロールと、バックロールに近接して設けられ、前記ウェブに塗布する塗液を押し出すスリットを有するダイヘッドと、ダイヘッドにおける前記スリットの上流側に設けられた減圧チャンバーと、前記減圧チャンバの上流側に設けられ、前記バックロールの外周面と同一の形状を有するバックブロックと、前記バックブロックのゆるやかな傾斜の掛かった形状を有する面に沿って前記ウェブの走行方向と逆方向にエアを噴射する第一のエアブロー機構を備えたことを特徴とするダイコート塗工装置。
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清掃具及び清掃装置
【課題】スリットコータのスリット部を清掃する能力を一層向上することができる清掃具及び清掃装置を提供すること。
【解決手段】被塗布面Ka上に塗工液を塗布するスリットコータ1のスリット部24を清掃する清掃具7であって、スリット部24に挿入され、スリット部24を構成する一対の壁部241,241に付着した塗工液を清掃する清掃部材73と、一対の壁部241,241の少なくとも一方に向けて清掃部材73を付勢する付勢部74と、を備える。
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液処理装置、液処理方法及び記憶媒体
【課題】
液処理モジュール2に載置されたウエハWに対して処理液ノズル11から処理液を供給して液処理を行うにあたって、処理液の供給量を安定させ、これによりウエハWの間における塗布の均一性を図ること。
【解決手段】
ノズル11がノズルバス15に待機しているときに一定量だけサックバックバルブ52によりサックバックを行ってノズル11の先端部のレジスト液の液面を引き上げる。ノズル11を液処理モジュール2の上方に移動させた後、ノズル11を支持するアーム13に設けられたカメラ16により、当該ノズル11の先端部を撮像し、画像データを取得する。この画像データに基づいて、液面レベルを検出し、その検出結果に応じて液面レベルが予め設定した基準レベルになるようにサックバックバルブ52を制御する。このためレジスト吐出前の液面レベルが一定化し、処理液の吐出量が一定化する。
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口金洗浄方法及び塗布装置
【課題】幅方向に長く先端で開口しているスリット7が内部に形成されている口金3において、従来では振動波(振動波に基づくキャビテーション)の伝播が充分にされず残っていた固着物を、浮かび上がらせることが可能となり、短時間で所望の洗浄結果を得る。
【解決手段】洗浄槽11内の振動波を与えた洗浄液Lに口金先端9を浸漬させ、スリット7を通じて当該洗浄液Lを口金内部へ流入させる。この状態から、スリット7を通じて口金内部に気体を、スリット7の幅方向全長にわたって、流入させる。この後、口金先端9を洗浄槽11内の振動波を与えた洗浄液Lに浸漬させ、スリット7を通じて当該洗浄液Lを口金内部へ流入させる。
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液滴吐出装置
【課題】描画作業が長時間となってもノズル詰り等の発生を防止し、作業効率を維持しつつ、描画動作を実行させる。
【解決手段】部材に対して紫外線の照射により硬化する機能液を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記部材に付着した前記機能液に対して前記紫外線を照射する紫外線照射部と、前記紫外線の照射光量に応じて設定されるフラッシング条件でフラッシング動作を行わせる制御部と、を備えた。
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ヘッドクリーニング装置及び画像形成装置
【課題】インクの付着を防止したヘッドクリーニング装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】インクの液滴を水平方向に吐出する記録ヘッドの鉛直なノズル面に沿って上から下に移動することによってノズル面のインクを払拭する払拭部材と、記録ヘッドの下端にノズル面と面位置で設けられ、ノズル面の払拭終了後の払拭部材に当接し、少なくとも払拭部材より剛性が高い弾性体からなるガイド部材と、を備えた。
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ディスペンサ装置、パターン欠陥修正装置、ディスペンサの詰まり解消方法
【課題】ディスペンサに詰まりが生じた場合にディスペンサを交換することなく詰まりを解消する。
【解決手段】光透過性の吐出部10Aを有し吐出部10A先端の吐出口10A1から塗布材を吐出するディスペンサ10と、吐出部10Aに照射可能なレーザ光を出射するレーザ光源11と、レーザ光源11から出射したレーザ光を吐出部10Aに照射させる光学系12を備える。吐出部10Aの特定位置にレーザ光を照射させ、特定位置の吐出部10A内に存在する詰まり原因を流動化させることでディスペンサ10の詰まりを解消する。
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塗布装置及び塗布方法
【課題】塗布膜の性質にバラつきが生じるのを防ぐこと。
【解決手段】易酸化性の金属及び溶媒を含む液状体を基板に吐出するノズルを有する塗布部と、前記塗布部に前記液状体を供給する供給系と、前記供給系及び前記塗布部のうち少なくとも一方から前記液状体を回収し、回収した前記液状体を前記供給系及び前記塗布部のうち少なくとも一方に供給する循環系とを備える。
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液滴吐出装置
【課題】吐出ヘッドに対するメンテナンス頻度を適正に行い、吐出特性を安定化させる。
【解決手段】機能液を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドの周囲の湿度を測定する湿度測定部と、前記吐出ヘッドを保守するメンテナンス部と、測定された前記湿度に基づいて、前記吐出ヘッドに対する前記メンテナンス部の駆動頻度を制御する制御部と、を備えた。
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粘性材塗布装置
【課題】ノズルの吐出端部からの粘性材の吐出による塗布作業において、ノズルによる粘性材の吐出を停止した場合、ノズルの吐出端部に残留している粘性材の残滓を、より残量なく除去できるようにする。
【解決手段】粘性材塗布装置において、支持体8,9にそれぞれ両端支持された一対の可撓性長尺体10,11を設け、一方の長尺体10を屈曲させる。平面視で、一方の長尺体10の屈曲部と他方の長尺体11とを互いに交差させると共に上下に重ね合わせることにより、両長尺体10,11によって環状部21を形成可能とする。環状部21内に、その上方から軸心23縦向きにした粘性材2吐出用のノズル4の吐出端部3側を挿入A、抜出B可能とする。水平方向での両長尺体10,11の互いの離反Cにより、環状部21が、ノズル4の吐出端部3側の外周面に対し弾性的に圧接すると共にこのノズル4の軸方向で相対的に摺動可能となるようにする。
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