Fターム[4F041CA00]の内容
塗布装置−吐出、流下 (28,721) | 帯状塗布装置 (2,225)
Fターム[4F041CA00]の下位に属するFターム
塗布形式 (1,034)
上方以外からの塗布 (296)
塗布剤の貯蔵供給予備処理に特色のあるもの (373)
吐出後における塗布剤措置に特色のあるもの (520)
Fターム[4F041CA00]に分類される特許
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スリットノズル及びスリットノズル清掃装置及びスリットノズル清掃方法
【課題】スリットノズルのスリット内部を効率的に清掃すること。
【解決手段】このスリットノズル清掃装置70は、スリットノズル32の吐出通路32bをキャビティ32cから吐出口32aまで横断してその先端部72aが吐出口32aの外に出ている糸状の掻き出し部材72と、スリットノズル32の外で、糸状掻き出し部材72の先端部72aを着脱可能に保持し、吐出通路32b内の固化物の掻き出しを行うように、糸状掻き出し部材72を吐出通路32b内でスリットノズル32の長手方向(Y方向)に摺動させながら牽引して走査する牽引走査ユニット56と、キャビティ32cよりも高いスリットノズル32の外の位置で糸状掻き出し部材72に結合され、牽引走査ユニット56の牽引力に抗して糸状掻き出し部材72に張力をかけながらその移動を許容する引っ張り部74とを有する。
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塗布装置及び塗布方法
【課題】塗布装置の稼働率を向上させることにより、塗布基板の低コスト化を図ることができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】基板を載置するステージと、前記ステージに載置された基板に塗布液を塗布する塗布ユニットと、基板に付着した異物の存在を検知する検知ユニットと、前記検知ユニットからの異物情報に応じて前記塗布ユニットを制御する制御装置とを備え、前記制御装置は、前記検知ユニットからの異物情報から基板上における異物位置情報を得、その異物位置情報に基づいて基板に付着した異物を回避するように前記塗布ユニットを駆動制御するように構成する。
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