【課題】薄膜形成材料の滞留による膜厚ばらつきを簡単に低減することができ、気流発生装置を不要とした簡単な構造の薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】被成膜体７を保持した状態で回転するホルダ２と、被成膜体７の被成膜面７ａに液状の薄膜形成材料９を供給する材料供給部８と、ホルダ２に立ち上がり状に設けられて被成膜体７の周囲に配置され、ホルダ２の回転と一体回転して被成膜体７の周囲に負圧を生じさせる複数の羽根体３とを備える。 （もっと読む）

【課題】無駄になる液剤の量を少なく抑えつつ、液剤流路内に混入した空気を確実に外気に放出させることができる液剤吐出装置及び液剤吐出装置における空気抜き方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液剤流路２７から分岐して延びて接続部材２５のシリンジ２６とケーシング２１の間の外表面に開口した空気抜き管路２８と、空気抜き管路２８を閉塞し、液剤流路２７内に混入した空気を外部に放出する空気抜きが行われる際に空気抜き管路２８から取り外されて空気抜き管路２８を外気に開放するめくら栓２９を備える。 （もっと読む）

【課題】無駄になる液剤の量を少なく抑えつつ、液剤流路内に混入した空気を確実に外気に放出させることができる液剤吐出装置及び液剤吐出装置における空気抜き方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液剤流路２７から分岐して延びて接続部材２５のシリンジ２６とケーシング２１の間の外表面に開口した空気抜き管路２８と、空気抜き管路２８を閉塞し、液剤流路２７内に混入した空気を外部に放出する空気抜きが行われる際に空気抜き管路２８から取り外されて空気抜き管路２８を外気に開放するめくら栓２９を備える。 （もっと読む）

【課題】高粘度の塗布液を、無駄なく均一に基板上に塗布する。
【解決手段】レジスト塗布装置１の塗布ノズル３３は、その内部にレジスト液Ｒを貯留する貯留室６２が形成された本体部６０と、本体部６０の下面に形成され、レジスト液Ｒの表面張力によりその先端にレジスト液の液溜りを形成するスリット状の吐出口６１と、貯留室６２と吐出口６１とに連通するレジスト液流路６３と、を備え、レジスト塗布装置１は、塗布ノズル３３とウェハとを相対的に上下方向及び水平方向移動させる移動機構と、前記貯留室内部の圧力を調整する圧力調整機構７１と、を有している。圧力調整機構７１は、塗布ノズル３３とウェハとを相対的に移動させてウェハにレジスト液Ｒを塗布する間、吐出口６１からのレジスト液Ｒの吐出量が一定となるように、貯留室６２内部の圧力を調整し、且つ負圧に維持する。 （もっと読む）

【課題】 供給路部材と弾性部材との接続部分からの液体漏れの発生を抑えつつ、供給路部材を弾性部材の開口部に挿入する際に要する力を低減することが可能な供給路接続部材を提供する。
【解決手段】 供給路接続部材は、液体を供給する供給路部材と、供給路部材が挿入され、供給路部材によって外周方向へ押圧される内壁を備える開口部が設けられた弾性部材と、弾性部材を収容する収容部材と、供給路部材の挿入方向に関して弾性部材を押圧する押圧部材と、を有する。ここで、弾性部材には、押圧される内壁と外周方向に関して重ならない位置に、挿入方向に関して収容部材と押圧部材とで挟持された挟持部が形成されている。更に、供給路部材が開口部に挿入された状態で、開口部に対応する弾性部材の外周部には、外周方向に関して収容部材に当接される当接部と、外周方向に関して収容部材に当接されない非当接部と、が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット方式によって形成した塗布液の薄膜の膜厚均一性を向上させる。
【解決手段】 塗布液供給機構１２の進行方向前側に溶剤供給機構１８を、進行方向後側に気体噴射機構１４を、それぞれ連結して塗布ヘッド１０が構成されている。塗布ヘッド１０を基板Ｗに対して相対移動させながら、溶剤供給機構１８から基板Ｗ上に溶剤を供給し、続いて塗布液供給機構１２から溶剤の被膜上に塗布液を供給し、最後に、気体噴射機構１４から塗布液の凹凸表面に気体を噴射して溶剤の薄膜表面を平滑化する。 （もっと読む）

【課題】可撓膜の影響を抑え、圧力緩衝部の性能を維持したまま、圧力緩衝部を小型化する。
【解決手段】複数のノズルが配置された記録ヘッドに連通する液体供給流路と、前記液体供給流路に設けられ、液体に所定の圧力を付与する液体圧力付与手段と、前記液体供給流路の途中に設けられた圧力緩衝部であって、前記液体供給流路を流れる液体を流出入させる供給口及び排出口を有する液体室と、前記液体室と可撓膜を挟んで対設された気体室と、を含んで構成される圧力緩衝部とを備え、前記可撓膜は、予め初期撓みが与えられている液体供給装置によって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】分解及び組み立てを容易に実施可能なシンプルな構成でありながら、塗布剤の吐出圧及び吐出量を自在に調整可能であり、適正な厚みを有する道路標示を形成可能な道路プリンタを提供する。
【解決手段】道路プリンタ１０は、路面Ｒに塗布される道路標識用の塗布剤Ｐを圧送するための圧送装置５０を備えており、圧送装置５０から吐出幅可変装置１００を経由して吐出された塗布剤Ｐを直接的あるいは間接的に路面Ｒに塗布する。圧送装置５０は、一軸偏心ねじポンプ機構を備えたものであり、駆動機から動力を受けて偏心回転する雄ねじ型のロータと、内周面が雌ねじ型に形成されたステータとを有する。 （もっと読む）

【課題】走行するウェブに塗布液を塗布する際に厚塗り部を吸引ノズルで従来よりも効率的に吸引することができるので、吸引圧力を比較的小さくすることができ、走行するウェブがバタつく等の不具合がない。
【解決手段】走行する帯状のウェブ１８に塗布液を塗布する際に、塗布幅方向両端部に形成され、目標塗布膜厚ｄよりも厚い厚塗り部４３を吸引する吸引ノズル１５を備えた塗布装置１０において、吸引ノズル１５の塗布幅方向における吸引面幅Ｄｏ及び吸引口幅Ｄｉは、厚塗り部４３の塗布幅方向の幅をＷ及び高さをＨ、ウェブ１８と吸引面５４との間のクリアランスＬとしたときに、下記の式１及び式２を満足する。
Ｗ≦Ｄｏ…（式１）、Ｗ＊Ｈ／Ｌ≦Ｄｉ＜Ｄｏ−１ｍｍ…（式２） （もっと読む）

【課題】塗料貯留タンクの内壁面への乾燥皮膜の形成を防いで異物の発生を防止すると共に、塗料の濃度変動を抑えることにより、揮発性の有機溶剤を含む塗料を、長期間に渡り安定して貯留する塗料貯留システムおよび貯留方法を提供することを課題とする。
【解決手段】揮発性の有機溶剤を含む塗料を貯留する気密性の構造を有する塗料貯留タンクと、前記有機溶剤と同じあるいは同等の成分を含有した有機溶剤を貯蔵した気密性の構造を有する有機溶剤貯槽と、前記有機溶剤貯槽内の有機溶剤にバブリングさせたガスを、前記塗料貯留タンクの頂部へ供給するガス供給配管と、を備えることを特徴とする塗料貯留システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】ドクターブレードとグラビアロールの接触が適正な状態であることを確認して塗布を開始するグラビア塗布装置と塗布方法を提供する。
【解決手段】フィルム基材１０５の表面に塗膜を形成するグラビア塗布装置であって、塗布されるインキ１１７を溜めるインキパン１１６と、インキパン中のインキを掻き上げ、表面に設けられた凹部に充填するグラビアロール８と、掻き上げられたグラビアロール表面のインキを掻き落とすドクターブレード１０１と、グラビアロールとグラビアブレード間の電気抵抗値を測定する電気抵抗測定器１０３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】容器本体から塗料が零れにくく、かつ、必要な場合に簡単に刷毛などに塗料を付着させることができ作業性が良好となる塗料用の容器を提供する。
【解決手段】塗料Ｃを収容する容器本体２の側壁２２上部に両端部４，５が回転可能に取り付けられ容器本体２を吊り下げる取っ手３と、容器本体２の上下方向途中位置Ｐ１で塗料Ｃを上から覆うと共に塗料Ｃの通過を制限する小穴１１が複数形成されかつ容器本体２の傾きに追従して傾く中蓋６と、中蓋６と容器本体２との間に設けられているバネ７とを備えている。バネ７は、中蓋６に容器本体２の底部側へ押す力を与えると、弾性変形して中蓋６を底部側へ移動させ、かつ、前記押す力を解除すると、弾性復元力によって中蓋６を途中位置Ｐ１に復帰させる。 （もっと読む）

【課題】処理液中の異物を除去する清浄性能と、処理液中に混入している気泡を除去する脱気性能を同時に向上させることができる液処理装置及び液処理方法を提供すること。
【解決手段】レジスト容器１３に第１管路２６を介して接続する一時貯留容器４０と、一時貯留容器に第２管路２７を介して接続される供給ノズルと、一時貯留容器内を負圧にして、処理液内に混入した気泡を排出するための脱気機構３２と、一時貯留容器内に形成され、第１管路を介して供給される処理液を貯留する流入槽４１と、流入槽からオーバーフローした処理液を貯留すると共に、第２管路２７が接続する流出槽４３と、流出槽と第１管路を接続する第３管路２８と、第１管路と第３管路の接続部に介設される切換弁３１と、流出槽から第３管路及び第１管路を介して流入槽への処理液の供給を行う供給・循環用ポンプＰ２と、第３管路に介設され、異物・気泡を除去するフィルタ５０と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】塗工域の塗工始端部又は塗工終端部に生じる盛り上がり部の盛り上がり高さ寸法を小さくする。
【解決手段】基材走行路Ｒの途中に設けられた間欠塗工装置２で、基材走行路Ｒを走行する基材Ｗの表面に基材走行方向に沿って塗工域Ｃと非塗工域Ｄを交互に形成するときに、塗工域Ｃの塗工始端部Ｃａ又は塗工終端部Ｃｂに形成される盛り上がり部Ｑが生じる場合に、盛り上がり部Ｑが通過する基材走行路Ｒの所定箇所Ｒａに向かってガスをＧを噴出させるガス噴出用スリット１３を備えたガス噴出装置７と、ガス噴出用スリット１３から噴出させるガスＧをガス噴出装置７へ設定時間だけ供給するガス供給装置８を備えたこと。 （もっと読む）

【課題】 ノズルから吐出された液滴に変質等が生じないように吐出空間の雰囲気を置換することが可能なデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】 デバイスの製造方法は、基板をチャンバ内に搬入して載置台に載置する工程と、待機位置において封止部材により液滴吐出ノズルを隔離した状態で、チャンバの内部を減圧する減圧工程と、ガス供給機構からチャンバ内にパージガスを導入してチャンバ内部の雰囲気を置換するとともに大気圧状態に戻す雰囲気置換工程と、封止部材による液滴吐出ノズルの隔離を解除し、液滴吐出ノズルを吐出位置に移動させて被処理体へ向けて前記液滴を吐出する吐出工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】種々の流体材料特性に適合する高い性能を備えた改良型射出弁を提供する。
【解決手段】改良型空気圧射出弁（10）は、空気圧ピストン（80）が納められている第１及び第２のチャンバを備えたハウジングを有する。第１及び第２の電磁弁（82，84）が空気圧力をこれらチャンバにそれぞれ供給したりこれらを排気したりするよう構成されている。コントローラ（104 ）がチャンバの加圧及び空気抜きを調整するよう動作可能である。コントローラは両チャンバを加圧するオーバーラップ時間を制御するよう第１及び第２の電磁弁のための制御信号のタイミングを制御する。オーバーラップ時間の制御によってコントローラは射出弁の駆動ピンの速度及び射出弁が材料液滴を射出するために閉じる速度を制御する。これにより射出されるべき材料の粘度に最も適した弁速度を選択することができる。 （もっと読む）

【課題】縦型の中空管においても高所作業の手間や危険性を伴うことなく作業することができ、また管内の洗浄或いは接着剤塗布において、比較的安定した均一な洗浄又は塗布を行うことができ、さらに接着工程の前に内面の下地処理を比較的均一に或いは安定して行うことのできる管内の内面処理器を提供する。
【解決手段】管体内に導入し得る長尺の誘導線材の端部又は中間部に取り付けられ、管体内部の断面形状を含む大きさの板形状で側方周囲に張り出した張り出し板２を具備する。前記張り出し板２は、少なくともそれ自体の周縁部が弾性材で構成され、この周縁部に沿って複数のスリット２Ｃが形成される。管体内に挿入された張り出し板２の周縁部が管体内面に押されて弾性変形し、張り出し板全体が管体内で集束した集束状態のまま管体内を移動することで、周縁部が弾性反力によって管内面を擦動して管内面処理を行う。 （もっと読む）

【課題】塗布膜に乾燥ムラが形成されることを抑えることができる減圧乾燥装置を提供する。
【解決手段】基板を格納するチャンバ２を備え、チャンバ２内部を大気圧より低い圧力に減圧することによって、チャンバ２内部に格納された基板上の塗布膜を乾燥させる減圧乾燥装置であって、チャンバ２は、チャンバ本体３とチャンバ蓋部４を有し、チャンバ本体３とチャンバ蓋部４とが当接することによってチャンバ２内部を密閉し、チャンバ蓋部４は天板４１を有し、天板４１のチャンバ２内部と反対側から天板４１を覆う蓋形状保持部６が設けられ、蓋形状保持部６は、天板４１との間に閉じた空間Ｒを形成し、この空間Ｒの圧力が大気圧以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】所期の特性を有する塗布膜を形成することができる加熱装置、塗布装置及び加熱方法を提供すること。
【解決手段】塗布膜を有する基板が配置される基板位置を前記塗布膜の膜厚方向に挟む第一加熱部及び第二加熱部と、前記基板位置と前記第一加熱部との第一距離、及び、前記基板位置と前記第二加熱部との第二距離、のうち少なくとも一方を調整する距離調整部とを備える。 （もっと読む）

【課題】粘度変化が生じる液体材料を高精度に塗布すること。
【解決手段】液体材料を吐出するノズル６と、液体材料をノズル６から吐出するためのポンプと、液体材料が通過する経路における液体材料の粘度を算出するための熱式流量センサ９と、算出した粘度に基づいて液体材料をノズル６から吐出させるための吐出圧力を設定し、設定された吐出圧力に基づいてポンプを制御するメインコントローラ８と、を備えた塗布装置であって、液体材料の粘度変化に合わせ、吐出圧力を調整することにより、高精度な塗布が実現可能となる。 （もっと読む）