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Fターム[4F042BA07]の内容

塗布装置−一般、その他 (33,298) | 制御 (5,159) | 制御変量 (5,140) | 圧力、押圧力 (556) | 液体圧 (138)

Fターム[4F042BA07]に分類される特許

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【課題】本発明は、大気圧より低い圧力雰囲気において基板上に薄膜を塗布する際に、インクジェットヘッドの不具合の原因となるインク充填不良を解消することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、マニホールドに充填したインクをノズルから吐出するインクジェットヘッドと、ノズルから滴り落ちたインクを受ける材料吸引ブロックと、インクジェットヘッドにインクを供給する材料タンクと、マニホールドから溢れたインクを再利用のために材料タンクに送り返す戻りタンクと、吸引ポンプで負圧状態にし材料吸引ブロック又は戻りタンクの廃インクを吸引するドレンタンクと、インクジェットヘッド、材料吸引ブロック、材料タンク、戻りタンク及びドレンタンクを内部に収容し、真空排気ポンプにより内部を減圧できる真空容器と、大気圧力中に設置され材料タンクにインクを補充する外部タンクとからなるインク充填装置の構成とした。 (もっと読む)


【課題】吐出開始時におけるノズルからの高粘度液体の吐出量を抑え、高品質な塗布作業を行う。
【解決手段】 ホットメルト接着剤Bを、ポンプユニット3からヒーティングホース4を通して圧送し、塗布ガン2の吐出ノズル8から吐出する。ポンプユニット3の還流路14に、ホットメルト接着剤Bの圧送圧力を調整するためのエア作動式の圧力調整バルブ15を設ける。圧力調整バルブ15とエア源6との間にエア供給路24,25を並列に設け、作動エア圧力を高圧側に調整するための第1のエアレギュレータ26、低圧側に調整するための第2のエアレギュレータ29、第1,第2の切替弁28,31及びそれらを制御するシーケンサ7を設ける。シーケンサ7は、塗布ガン2におけるホットメルト接着剤Bの非吐出時に、作動エア圧力を低圧側とし、ホットメルト接着剤Bの吐出開始時に、作動エア圧力を高圧側に切替える。 (もっと読む)


【課題】レジストパターンを形成する製造装置において、レジスト膜中のパーティクル発生の防止と、均一なレジスト膜を形成することが可能なレジスト塗布装置を提供する。
【解決手段】レジストを塗布する装置において、複数の塗布ノズル51,52に対し、それぞれレジストを圧送する吐出ポンプ21,22と、これらの吐出ポンプ21,22の内圧を測定するための圧力計31,32とを備え、その圧力波形を演算部9で取得してパーティクル数を演算により予測する。もしくは遮光センサー6の電圧波形を演算部9で取得してパーティクル数を演算により予測して、モニタリングシステム10により予め設定した基準を満たしたノズルのみ使用する。 (もっと読む)


【課題】凝集や沈降が懸念される固液分散インクをはじめとする各種物性を有するインクにおいても、高精度かつ高安定に吐出可能なインクジェット装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド内圧力を圧力センサにより検出もしくは、吐出情報やインク流量などの条件から算定し、供給インクタンクや回収インクタンクの圧力設定値を可変制御するインク供給回収条件制御手段を設けることで、インクジェットヘッド駆動条件やインク循環流速などに伴うインクジェットヘッド内の圧力変動の影響を抑止し、各種物性を有するインクについても高精度かつ高安定に吐出可能なインクジェット装置を提供することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】ポンプの吐出圧力を必要以上に高くすることなく、定圧弁の二次側圧力若しくは二次側流量を一定に保って、定圧若しくは定流量の処理液の供給を実現できるようにすること。
【解決手段】処理液を貯留する処理液タンク3と、処理液を供給する処理液供給ノズル36とを接続する配管2に、処理液タンク3から処理液を連続的に吐出するベローズポンプ4と、このベローズポンプ4の二次側に位置し、ベローズポンプ4による液流の脈動を抑制する定圧弁5と、を介設する処理液供給システムにおいて、配管2におけるベローズポンプ4の二次側に、ベローズポンプ4による液流の脈動の圧力低下を補完する気体を供給する気体供給源7を接続すると共に、この気体供給源7から配管2内に供給された気体を排出する気体抜き部8aを有するフィルタ8を介設する。 (もっと読む)


【課題】より広範囲の補償をより高い精度で実現できる液体噴射装置(特にはフィルタ製造装置)を提供すること。
【解決手段】一方が選択される一対のパルス波形は、所定の設計重量+第1単位差分重量の液体滴を吐出可能なパルス波形と、所定の設計重量−第2単位差分重量の液体滴を吐出可能なパルス波形である。別の一対のパルス波形は、所定の設計重量+第1単位差分重量×2の液体滴を吐出可能なパルス波形と、所定の設計重量−第2単位差分重量×2の液体滴を吐出可能なパルス波形である。更に別の一対のパルス波形は、所定の設計重量+第1単位差分重量×4の液体滴を吐出可能なパルス波形と、所定の設計重量−第2単位差分重量×4の液体滴を吐出可能なパルス波形である。各ノズル開口毎に測定して得られるノズル毎重量偏差と、吐出データに基づいて得られる同時使用のノズル開口の数と、に基づいて、各ノズル開口毎に選択階調データが設定される。 (もっと読む)


【課題】メインタンクの交換時に、機能液滴吐出ヘッドによる描画処理を停止する必要のない機能液供給装置を提供する。
【解決手段】複数のサブタンク121と、複数のサブタンク121に機能液をそれぞれ補給する単一のタンクユニット122と、上流側をタンクユニット122に接続し、下流側を各サブタンクに接続した上流側機能液流路126と、タンクユニット122から加圧送液された機能液を、開閉動作により各サブタンク121に補給する複数の第3開閉弁139と、を備え、タンクユニット122は、一対のメインタンク181と、一対のメインタンク181に接続した窒素ガス供給設備85と、一対のメインタンク181からの機能液の加圧送液を交互に切替え可能な切替え機構183と、を有している。 (もっと読む)


【課題】メインタンクは交換時に、機能液滴吐出ヘッドによる描画処理を停止する必要のない機能液供給装置。
【解決手段】複数の機能液滴吐出ヘッド17に、機能液をそれぞれ供給する複数のサブタンク121と、複数のサブタンク121に機能液をそれぞれ補給するメインタンク181と、上流側をメインタンク181に接続し、下流側を各サブタンク121に接続した上流側機能液流路126と、上流側機能液流路126に介設したバッファタンク123と、メインタンク181に交換時に、バッファタンク123内の機能液を各サブタンク121に加圧送液可能な窒素ガス供給設備85と、上流側機能液流路126に介設され、機能液を開閉動作により各サブタンク121に補給する複数の第4開閉弁139と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】複数の気泡除去ユニットの交換を容易にできると共に、漏れた機能液を適切に処理すること。
【解決手段】気泡除去装置135は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液流路に介設され、機能液流路を流れる機能液内のマイクロバブルを除去する気泡除去装置135であって、ケーシングとケーシング内の気体透過膜との間隙に減圧室304を構成すると共に、気体透過膜の内側に機能液が流れる内部流路303を構成し、気体透過膜を介して機能液から減圧室304に溶存気体を透過させてマイクロバブルを除去する複数の気泡除去ユニット300と、減圧室304を開放した複数の気泡除去ユニット300を収容すると共に、真空吸引源89に連なる単一の減圧容器320と、を備えたものである。 (もっと読む)


【課題】キャリッジ上にインクカートリッジなどの流体貯留部を配置した、いわゆるオンキャリッジタイプの流体噴射装置において、流体貯留部から流体噴射ヘッドに流体を良好に供給する。
【解決手段】インクカートリッジ7が気密状態の収容空間73を有するように構成するとともに、インクを貯留したインクパック71が収容空間73に収容されている。そして、キャリッジ6の移動に応じてポンプ8を作動させ、収容空間73に対して空気を送り込んで収容空間73内の圧力を高める。したがって、インクパック71内のインクを確実に記録ヘッド5側に送り出すことができ、インクパック71内へのインクの残留を効果的に防止することができ、インクを無駄なく消費することができる。 (もっと読む)


【課題】スロットの幅を自動制御可能な塗布工具を提供する。
【解決手段】複数のヘッド部材を備え、溝状のスロットが画成された塗布ヘッドと、前記ヘッド部材のうち内側面とは反対側の外側面または前記内側面に連なる先端面に設けられた凹溝に収容され、この凹溝の側壁面を押圧して前記スロットの幅を調整する調整ユニット30と、この調整ユニット30による前記凹溝の側壁面への押圧力を制御する制御手段40と、を有し、調整ユニット30は、内部に流体が封入された流体圧室34と、この流体圧室34の流体圧によって前記凹溝の側壁面を押圧する押圧部32Aと、流体圧室34の流体圧を変化させる操作部35と、を備えており、制御手段40は、流体圧室34の流体圧を検知する圧力検知部41と、この圧力検知部41で検知された流体圧と予め設定された設定圧力範囲とを比較して操作部35へ指令を与える指令部42と、を備えていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】処理液供給系から送出される処理液の圧力に生じるリップルの影響を低減し、塗布むらの発生を抑制して均一な処理液膜を形成する。
【解決手段】基板G上を平行移動しながらスリット状の吐出口から処理液を吐出し、基板G表面に処理液Rを塗布するノズル102と、処理液Rをノズル102へ送出するポンプ手段2と、ポンプ手段2により送出される処理液Rの圧力を検出する圧力検出手段5と、圧力検出手段5が検出した圧力の変化から所定の振幅値以上のリップル周波数の逆位相波を生成し、該逆位相波を所定のタイミングで出力する演算手段7と、演算手段7が出力した前記逆位相波に基づく圧力をポンプ手段2により送出された処理液Rに印加する加圧手段9とを備える。 (もっと読む)


【課題】クリーニング動作を頻繁に実行しなくても簡単な構成で液体供給経路内に混入した気体を排出して、この気体混入に起因する不具合の発生を未然に防止することが可能な液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体貯留部材としてのインクパック内のインクを記録ヘッド6側に圧送するための加圧機構10(10a〜10f)と、インク供給経路の途中に配設され当該インク供給経路を開閉するための開閉弁と、を備え、加圧機構は、プリンタ1の非稼働時も含めて常時加圧を行うことにより、インクパックから供給チューブ8を経て開閉弁に至るまでのインク供給経路の内圧を、当該インク供給経路の外部の圧力よりも高い状態に維持する。 (もっと読む)


【課題】液滴吐出装置が複数号機存在する場合や液滴吐出ヘッドを交換する場合に発生する駆動信号選択データの変更作業に要する時間を短縮する。
【解決手段】複数のノズル及び各ノズルに対応して設けられた駆動素子を有する液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置であって、前記駆動素子を駆動するための複数種類の駆動信号を生成する駆動信号生成手段と、前記駆動素子への前記駆動信号の供給の可否を規定する吐出データに基づいて、前記複数種類の駆動信号のうちの一を選択して前記駆動素子に供給するための駆動信号選択手段と、各前記駆動素子と前記駆動信号選択手段によって選択される前記駆動信号の種類との対応関係を示す駆動信号選択データを受信する受信手段とを備える。 (もっと読む)


ホットメルト接着剤を供給するためのモジュラー式システム(100)が、内部に複数の計量ステーションを有しモジュラー式タンク組立体(102)に着脱自在に取付けられるモジュラー式計量組立体(104)を具備している。或いは、モジュラー式計量組立体の外部に1または複数の計量ステーションを配設したり、或いは、当初のモジュラー計量組立体に1または複数の付加的モジュラー式計量組立体を着脱自在に連結するようにしてもよい。また、複数の計量装置へ供給されるホットメルト接着剤が異なる作動圧力を有するように、計量装置へ供給されるホットメルト接着剤の圧力を個別に制御する閉ループ式流体圧力制御システムが開示される。
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【課題】塗布液供給装置において、シールの安定性向上、吸引時間の短縮等を図る。
【解決手段】シリンジポンプ2のシリンダヘッド9の内面9aのうち凹部底部9eの同一円周上に供給口18a,18bと吐出口19を設ける。切換ロッド24の先端に設けた弁板26に供給口18a,18b及び吐出口19と対応する貫通孔27a,27bを設ける。切換ロッド24はロータリアクチュエータ23によって回転駆動され、コイルばね48によって弁板26がシリンダヘッド9の凹部底部9eに押圧される向きに弾性的に付勢される。 (もっと読む)


【課題】圧力調整動作の安定性を向上するとともに小型化や組み立て性の面で有利な流体供給装置を提供する。
【解決手段】導入口17から導入されるインクを貯留して導出口18に導出する圧力室15内を所定圧力に減圧する減圧弁20を有する流体供給装置であって、上記減圧弁20は、上記圧力室15へのインクの導入を遮断する閉弁位置と圧力室15にインクを導入する開弁位置の間を移動する弁体23と、上記圧力室15内の圧力が上記所定圧力に減圧されると弁体23を閉弁位置から開弁位置に変位させる変位手段と、上記弁体23が閉弁位置に位置するときに弁体23と導入口17の外周部に密接して導入口17を封止するOリング24とを有し、上記導入口17に連通する収容流路27内に設けられた板ばね22によって弁体23が支持されることにより、上記弁体23が圧力室15内の圧力が上記所定圧力に減圧されるまで閉弁位置に保持されるようにした。 (もっと読む)


【課題】スリットノズルから吐出される処理液の状態を正確に測定する。
【解決手段】スリットノズル41の二次側に設けられたエア抜き用の配管42を設ける。配管42とスリットノズル41の一次側に設けられた配管63とを直接連通させず独立させるとともに、配管42を直接スリットノズル41内の流路410と連通させる。配管42に圧力センサ43を設置し、測定値を制御部8に伝達する。ポンプ61からスリットノズル41にレジスト液を供給し、そのときの配管42内の圧力を圧力センサ43によって測定する。 (もっと読む)


【課題】使い勝手の向上による高性能化を容易に図ることのできるアキュムレータおよび塗装装置を提供する。
【解決手段】塗装装置は、塗料タンクと、塗料を移送するためのポンプと、塗料を循環させるための液体供給路および液体戻し路と、液体供給路を流動する塗料の脈動を吸収するためのアキュムレータ20と、アキュムレータ20にガスを供給するためのガス供給路とを設ける。アキュムレータ20は、カバー体22にガス吸気弁33とガス排気弁34とを設けるとともに、液体の圧力が周期的な変動範囲を超えて変化した場合、この液体の圧力の変化をダイアフラム23により検知して、液体の圧力の変化によるダイアフラム23の変位に連動させてガス吸気弁33あるいはガス排気弁34を開閉させることでガス室25の圧力を液体の圧力に合わせて自動調節するように形成する。ガス排気弁34の下流側に、ガス排気孔93が設けられている。 (もっと読む)


【課題】塗布液の滞留起因による塗布欠点がなく、さらに塗布領域全面に渡って塗布方向に横ダンとして視覚的に検知される、周期的な微小膜厚ムラを解消することが可能な脈動吸収装置と、この脈動吸収装置を用いた塗布方法および塗布装置、並びにこれらを用いた液晶ディスプレイ用部材の製造方法を提供する。
【解決手段】液体が流入・流出する1次室を有する1次室側本体と気体が充填された2次室を有する2次室側本体が平面状の膜状体を介して締結され、該膜状体の変形によって1次室を通過する液体の脈動を吸収する脈動吸収器と、圧力差発生装置とを備えた脈動吸収装置であって、該1次室側本体の1次室から液体を流出する流出口が1次室へ液体を流入する流入口よりも上方に配され、さらに圧力差発生装置が一次室の流出口と接続されていることを特徴とする脈動吸収装置。 (もっと読む)


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