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Fターム[4F042BA07]の内容

塗布装置−一般、その他 (33,298) | 制御 (5,159) | 制御変量 (5,140) | 圧力、押圧力 (556) | 液体圧 (138)

Fターム[4F042BA07]に分類される特許

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【課題】スピナー設備においてノズルを通してケミカル溶液が噴射されるときにノズルの目詰まりを検出してケミカル溶液の噴射不良を低減する噴射不良制御装置を提供する。
【解決手段】フォトスピナー設備の噴射不良制御装置において、ケミカル溶液を噴射するノズルと、前記ノズルの噴射圧力を感知する少なくとも1つ以上の圧力センサーと、前記圧力センサーで感知された圧力値を受けて予め設定された圧力値と比較して予め設定された圧力値を超過するときにインターロック信号を発生するコントローラーと、を備える。 (もっと読む)


【課題】処理液供給手段が被処理体に均一に処理液を供給し得るように、供給量調節手段及び処理液吸引手段を自動で調整する液処理装置の自動設定装置を提供すること。
【解決手段】レジストノズル110が供給するレジスト液をメスシリンダ210に貯留し、メスシリンダの側方から発光ダイオード211によって光を照射し、メスシリンダ内に透過された光をCCDセンサ213で検知して供給量を検出し、レジストノズル110の供給部113のレジスト液の状態をCCDカメラ300により検出し、電子天秤及びCCDカメラ300の検出信号と、CPU100に予め記憶された少なくともレジスト液の特性及び配管条件を含む情報とに基いて、レジストノズルがウエハWに均一にレジスト液を供給し得るように、開閉バルブAV及びサックバックバルブSVを調整する。 (もっと読む)


【課題】ニードル弁体の進退による液体の定量吐出に当って、ニードル弁体の移動に起因する液室内の圧力変動を相殺して、高精度で安定した液体吐出および吐出停止を行うこと。
【解決手段】吐出口を閉止開放するニードル弁体の進退移動に同期して、その弁体の移動によって生じる液室内の圧力変動を相殺するような方向に、液室の体積を変化させる圧力補償手段とを備える。 (もっと読む)


【課題】生産性を低下させることなく塗料の供給と塗料の回収を同時に行うことができる塗料供給装置及び方法を提供する。
【解決手段】分配器6内の塗料圧力を検出する分配器圧力検出手段13と、ピグ移動手段14によりピグ10をカラーチェンジバルブ3側から分配器6側へ移動させる際に、分配器圧力検出手段13により検出された分配器内の塗料圧力が一定になるように、ピグ移動手段と圧縮流体供給手段15を制御する制御手段17を有する。 (もっと読む)


【課題】 機能液タンクからインクジェットヘッドに至る機能液流路に液漏れが生じているか否かを検出可能な機能液供給装置のメンテナンス方法等を提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明は、加圧ポンプ112により機能液タンク81を加圧して、機能液タンク81から機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッド41に機能液を加圧供給する機能液供給装置23のメンテナンス方法において、機能液タンク112から機能液滴吐出ヘッド41に至る機能液流路に機能液の液漏れが生じているか否かを検出する液漏れ検出工程と、液漏れが検出された場合に、液漏れを報知する液漏れ報知工程と、を備えたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】ポンプはさまざまな圧力で液体塗布器に液体を供給する。
【解決手段】ホットメルト接着剤のように制御されたパターンで液体を吐出する装置は、ポンプと、そのポンプに結合された塗布器と、塗布器とポンプの間の液体流路に配置された圧力変換器と、圧力変換器に結合されたコントローラーとを有している。ポンプはさまざまな圧力で液体塗布器に液体を供給する。圧力変換器は、液体の圧力を検知し、感応した圧力を表す信号を生成する。コントローラーは、信号を受信し、受信した信号に基づいて塗布器から吐出しているプロセスエアー圧力を変更する。 (もっと読む)


液体噴射装置10は、電磁式開閉吐出弁24から液体燃料が供給される液体供給通路10−2、チャンバー10−3、スリットを備えた波体導入通路部10−4、及び圧電/電歪素子を含むアクチュエータ11を備えている。アクチュエータ11は、液体導入通路部10−4のスリットの通路面積を周期的に変更する。これにより、スリットを通流する液体に圧力変動及び/又は流速変動が付与される。
加圧ポンプにより加圧された液体は、電磁式開閉吐出弁、燃料供給通路、液体導入通路、及びチャンバーの順に通流し、チャンバーの液体噴射孔10−3aから噴射される。噴射される液体は、前記圧力変動及び/又は流速変動が付与されているから、液体噴射空間で微粒子化する。
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【課題】 ノズルより処理液を吐出する圧力(特に吐出開始時の圧力)の再現性を改善して、処理品質を向上させること。
【解決手段】 このレジスト液供給機構132は、レジスト液Rを貯留するボトル146より吸入管148を介して少なくとも塗布処理1回分のレジスト液Rをポンプ150に予め充填しておき、塗布処理時にポンプ150よりレジスト液を吐出管136を介してレジストノズル134に所定の圧力で圧送し、レジストノズル136から基板G上にレジスト液Rを所定の流量で吐出するようになっている。コントローラ160は、プログラムされたシーケンスおよび各種設定値にしたがってレジスト液供給機構132の各開閉弁152,158,162、ポンプ150やノズル移動機構134を制御する。 (もっと読む)


【課題】処理液を送液する際の応答性を確保しつつ、処理液の脈動を抑制する。
【解決手段】基板処理装置のレジスト用ポンプからスリットノズルに向かう送液配管63に、脈動防止機構64を設ける。脈動防止機構64は、送液配管63の一部として機能する本体部640と、外力によって変形する膜部材641と、気体圧力を調整するレギュレータ642とを備える。本体部640内に膜部材641を取り付け、その内部に空気を封入する。また、諸条件(例えば、塗布条件や周辺環境条件)に応じて、レギュレータ642によって内部に封入された空気の圧力を調整する。 (もっと読む)


【課題】液滴吐出ヘッドに供給されるインク中に含まれる気泡を減少させることができるバルブユニット及びそれを用いた液滴吐出装置、その液滴吐出装置を用いた電気光学装置の製造装置、並びに液滴吐出方法を提供する。
【解決手段】インクを取り入れるインク取入口3aと、インクを排出して液滴吐出ヘッドに供給するためのインク排出口3bと、インク取入口3aを備える1次液室5と、インク排出口3bを備える2次液室6と、1次液室5と2次液室6とを連通する流路7と、を含んで構成される圧力室(5,6,7)と、1次液室5に設けられ1次液室5内から気泡を外へ放出する気泡排出口3cと、2次液室6に設けられ2次液室6内から気泡を外へ放出する気泡排出口3dと、を有し、インク取入口3a及びインク排出口3dはそれぞれ、1次液室5及び2次液室6の気泡排出口3c,3dよりも下方に配置されている。 (もっと読む)


【課題】液滴吐出ヘッドに供給されるインク中に含まれる気泡を減少させ、液滴吐出を安定化させることができるバルブユニット及びそれを用いた液滴吐出装置、その液滴吐出装置を用いた電気光学装置の製造装置、並びに液滴吐出方法を提供する。
【解決手段】インクを取り入れるインク取入口3aと、インクを排出して液滴吐出ヘッドに供給するためのインク排出口3bと、インク取入口3aを備える1次液室5と、インク排出口3bを備える2次液室6と、1次液室5と2次液室6とを連通する流路7と、を含んで構成される圧力室(5,6,7)と、1次液室5に設けられ1次液室5内から気泡を外へ放出する気泡排出口3cと、2次液室6に設けられ2次液室6内から気泡を外へ放出する気泡排出口3dと、を有し、1次液室5側のケーシング4には、超音波発振子20が付設されいる。 (もっと読む)


【課題】 高粘度液供給ラインにおいて高圧側ラインでたとえば5MPa〜15MPaの圧力変動があっても低圧側ラインは一定圧たとえば1MPaに調整でき、しかも従来のような減圧弁とシャットオフバルブの2種類の弁やアキュムレータが不要で、装置全体の構造を簡略化でき、経済的な高粘度液供給システムを提供する。
【解決手段】 高粘度液収容タンク6内の高粘度液をプランジャポンプ1により吸引して高圧下で供給ラインSに供給するとともに、同供給ラインSを介してディスペンサー2から高粘度液を定量ずつワークに供給する高粘度液供給システムにおいて、供給ラインSのディスペンサー2の上流側(ディスペンサーの吐出停止時に許容上限圧値を超えない範囲の位置)にまたはディスペンサー2の吸込口2aに直接に、一次側から流入する高圧の高粘度液を減圧し二次圧を一定に制御する高粘度液用圧力調整弁3を介設している。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成で、しかも低コストな装置により、ノズル12からの流体の噴射状態を検出してその良否を判定する。
【解決手段】回転体10の外周部に円周方向等間隔で複数のノズル12が、また、各ノズル12の下方に容器を支持するネックグリッパ14が配置され、ノズル12とネックグリッパ14とが一体的に回転移動しつつノズル12から過酸化水素ガスを噴射して容器を殺菌する。ノズル12の移動経路内の容器が存在しない位置に、検出装置20が設けられている。検出装置20は、ノズル12の移動経路の下方に配置された検出プレート34と、この検出プレート34に作用する荷重を検出するロードセル22とを備えている。検出プレート34にノズル12から過酸化水素ガスが噴射されると、ロードセル22がその重量を検出して制御装置44に送り、比較判定部48で、記憶部46に記憶されている基準値と検出値とを比較する。 (もっと読む)


【課題】 供給流路を効率的に洗浄することが可能な供給システム、および効率的な供給流路の洗浄方法、並びに効率的な供給流路内の液体の置換方法を提供すること。
【解決手段】 気密容器71に洗浄液を収容し、気密容器71内にコンプレッサ72から圧縮空気を送って、内部空間77内を加圧する。加圧された内部空間77の空気および洗浄液86は、共通管78、接続部79を介して、結合部38、供給管18aなどの供給流路に供給される。送気バルブ84、送液バルブ85の開閉制御と吸引ポンプ23の駆動とを連動して行うことにより、供給流路内に充填されているインクないし洗浄液の排出と、供給流路内への洗浄液の充填が効率よく行われる。 (もっと読む)


紙や厚紙を加工するときに使用される加工ステーションの加工剤の機械による循環から不純物を分離するための方法及び装置であって、加工剤は機械貯蔵器(1)から加工ステーション(2)へ導かれ、加工されるウェブの表面上へ加工剤が散布され、加工ステーション(2)へ導かれた余分の加工剤は、機械貯蔵器(1)へ戻される。加工剤の供給圧の少なくとも一部分が、加工ステーション(2)と圧力ふるい分け器(6)の間の高さの差によって発生することで、加工ステーション(2)からくる加工剤の流れが、加工ステーション(2)の高さより下に配置される少なくとも1つの圧力ふるい分け器(6)へ少なくとも部分的に導かれる。
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【課題】
本発明は、基板処理が均一に行われる基板処理装置を提供する。
【解決手段】
本発明は、基板処理装置と基板処理方法に関する。本発明による基板処理装置は基板(100)の板面に処理液を供給する処理液供給部と、前記基板を移送する移送装置(30)と、前記基板を前記基板の移送方向と交差する方向で交互的に傾けて移送するように前記移送装置を制御する制御部を含むことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】処理溶液の圧力を測定するための圧力センサを含むスピンコーティングシステム、特にその装置を提供する。
【解決手段】基板上に処理溶液をスピンコーティング処理するのに有効な方法及び装置を開示する。この方法及び装置は、処理溶液の圧力、即ち、分配器から処理溶液の開始または終了に関係した圧力を検出するための圧力センサ218を含む。好ましい方法及び装置は、分配ライン215におけるフォトレジスト、現像液、水、溶媒、または洗浄剤の圧力を測定する。また、この方法及び装置は、割り込み動作を含むパラレル制御方法を含む処理制御システムを包含する。
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【課題】 本発明は、機能液を安定して吐出させることができると共に、機能液流路を延長させることのない吐出ヘッド装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明の吐出ヘッド装置13は、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッド61と、機能液タンク101からの機能液を導入する1次室161、連通流路163を介して1次室161に連なり、流出ポート201から機能液滴吐出ヘッド61に機能液を供給する2次室162、および大気圧を調整基準圧力として連通流路163を開閉する圧力調整部を有する圧力調整弁141と、接続流路が形成され、機能液滴吐出ヘッド61および流出ポート201を接続する接続管ブロック301と、を備えたことを特徴とする。 (もっと読む)


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