【課題】不良ノズルを確実に検出する液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基材に向けてノズルから機能液を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記基材に着弾した前記液滴の着弾径を測定する着弾径測定部と、制御部と、を備え、前記制御部では、前記ノズルから基材に向けて吐出された液滴の吐出量と前記基材に着弾した前記吐出量に対応する前記液滴の基準着弾径との関係を示す関係データを取得し、前記ノズルから前記基材に向けて前記関係データに含まれる所定の液滴量を吐出させて、前記基材に着弾した前記液滴の着弾径を測定させ、測定された検査着弾径と前記所定の液滴量に対応する前記基準着弾径とを比較し、前記ノズルの合否を判断する。 （もっと読む）

【課題】基板上に塗布されたインクの乾燥ムラを抑制する。
【解決手段】本発明の一形態に係るインクジェット塗布装置は、第１のヘッド群１２Ａと第２のヘッド群１２Ｂとを有するインクヘッドモジュール１２を備える。第１のヘッド群１２Ａは、基板Ｓの表面全域をＸ軸方向に沿って配列された複数列の領域Ｒ１〜Ｒ６で区画したときに、所定の第１の領域群（Ｒ１，Ｒ３，Ｒ５）にインクの液滴を塗布する。第２のヘッド群１２Ｂは、第１のヘッド群１２Ａに対してＹ軸方向に所定距離（Ｈ）オフセットした位置に配置され、上記複数列の領域のうち残余の第２の領域群（Ｒ２，Ｒ４，Ｒ６）にインクの液滴を塗布する。このとき、第１のヘッド群１２Ａからの液滴が基板Ｓ上に着弾してから、第２のヘッド群１２Ｂからの液滴が基板上に着弾するまでの時間が所定時間以内となるように、基板Ｓを支持するステージ１１の移動が制御される。 （もっと読む）

【課題】良好に塗工材料を塗工することが可能な塗工装置及び電極の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
ポンプから吐出される塗工材料を塗工部へ流通させる配管部材を備える塗工装置において、前記配管部材内に、開口部を有するメッシュ部材を、該メッシュ部材の下端側が上流側に、上端側が下流側に位置するように傾斜させて該配管部材内の全流路を覆うように配置すると共に、前記配管部材の上部には、前記メッシュ部材と対応する位置に気泡溜まり部を形成したことを特徴する。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット方式によって形成した塗布液の薄膜の膜厚均一性を向上させる。
【解決手段】 塗布液供給機構１２の進行方向前側に溶剤供給機構１８を、進行方向後側に気体噴射機構１４を、それぞれ連結して塗布ヘッド１０が構成されている。塗布ヘッド１０を基板Ｗに対して相対移動させながら、溶剤供給機構１８から基板Ｗ上に溶剤を供給し、続いて塗布液供給機構１２から溶剤の被膜上に塗布液を供給し、最後に、気体噴射機構１４から塗布液の凹凸表面に気体を噴射して溶剤の薄膜表面を平滑化する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドのノズルから塗布液を吐出して塗布液の塗膜を形成しつつ、塗布液の塗膜の表面をより平滑にすることができる塗布方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドに設けられる複数のノズルから塗布液の液滴を基板Ｗに吐出させ、基板Ｗの周縁部における膜厚に比べて基板Ｗの中央部における膜厚が厚い塗布液の塗膜Ｆを形成する工程と、基板Ｗを回転させて基板Ｗの中央部から周縁部に向けて塗膜Ｆ内の塗布液を移動させる工程と、を備える塗布方法である。塗膜Ｆ内の塗布液を移動させる工程では、塗膜Ｆを形成している基板Ｗ上の塗布液は基板Ｗの中央部から周縁部に向かって移動するので、基板の中央部と基板の周縁部との間で塗膜の膜厚の差が減少し、塗膜の膜厚を略均一にすることができる。同時に、塗膜Ｆ内の塗布液が動くことによって、塗膜Ｆの表面をより平滑にすることができる。 （もっと読む）

【課題】塗液の脈動による塗膜の膜厚ばらつきを低減させる。
【解決手段】塗液を供給する塗液供給ポンプ２と、基材に塗工するコーティングヘッド７と、塗液供給ポンプ２からコーティングヘッド７までを接続するメイン配管３と、メイン配管３に設けられた間欠塗工に使用できる塗液流路切替えバルブ４とを有した塗工装置１００において、塗液供給ポンプ２から塗液流路切替えバルブ４までの間に、一時的に塗液を蓄えることのできるアキュムレータ５を設け、さらにこのアキュムレータ５のガス空間領域の上端の位置が、コーティングヘッド７の吐出口の位置よりも高い位置となるように、アキュムレータ５を配置することで、配管圧力の経時変化にも耐え、塗液供給ポンプ２から発生する吐出脈動による膜厚ばらつきを低減させる。 （もっと読む）

【課題】塗布作業中におけるノズルとワークとの接触を検知し、これに起因して生じる塗布不良を可及的に回避する。
【解決手段】本発明に係る高粘度流体塗布装置は、高粘度流体を吐出可能なノズル１２を少なくとも具備する。ノズル１２は、筒部１６と、筒部１６の内周に配設され筒部１６の吐出側１６ａとの間に隙間１７を形成する隙間形成部１８と、絶縁体１９を介して筒部１６と隙間形成部１８とを連結する連結部２０とで構成され、筒部１６と隙間形成部１８との間の電気抵抗を検出する電気抵抗検出手段１４をさらに具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】吐出部と対象物の間の離間距離の変動を検査する対象物上の地点が少ない場合でも、吐出タイミングの補正を良好に行うことができる技術を提供すること。
【解決手段】液滴吐出装置は、液滴を吐出する複数の吐出口が形成された吐出部に対して対象物を移動機構によって相対的に移動させ、該吐出部から吐出した前記液滴を前記対象物に着弾させる。液滴吐出装置は、吐出部に対して吐出信号を出力することにより、吐出口からの液滴の吐出を制御する吐出制御部と、対象物上の複数の地点について、対象物の相対的な移動に応じた、吐出部と前記対象物との間の離間距離の変動を検査する検査部と、対象物上の領域のうち、前記複数の地点を除く地点における前記変動を、検査部の検査結果に基づいた演算により補間する補間部と、補間部によって取得された前記変動に関する情報に基づいて、吐出口からの液滴の吐出タイミングを補正する補正部とを備える。 （もっと読む）

【課題】塗布対称物の塗布面に塗布される材料の厚みが不均一になることを抑制できる塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布装置１０は、アプリケータ５０と、材料供給部８０と、第１〜３の移動機構とを備える。前記アプリケータは、メニスカス柱形成部Ｓと、余剰材料回収用の凹部５２とを備える。前記材料供給部は、前記アプリケータに前記材料を供給する。前記第１の移動機構４０は、前記塗布面に対する前記アプリケータの位置を前記塗布面に沿って相対的に移動する。前記第２の移動機構は、前記メニスカス柱形成部と前記塗布面との間に形成されるメニスカス柱を、前記塗布面と前記凹部との間に移動するように前記塗布面に対する前記アプリケータの位置を相対的に移動する。前記第３の移動機構は、前記塗布面に対する前記アプリケータの位置を離れる方向と近づく方向とに相対的に移動する。 （もっと読む）

【課題】短時間で塗布液流量を調整して、塗布液の塗布量を正確に制御することが可能な塗布液塗布装置および塗布液塗布方法を提供する。
【解決手段】塗布液の塗布を行う前に、予め、塗布軌跡の幅と各ノズルから吐出される塗布液の流量との関係を示す関係式を作成して記憶する準備工程を実行する。そして、塗布を実行する毎、あるいは、一定期間毎に、テスト塗布領域に対して塗布液を連続して吐出することにより形成された塗布軌跡の幅を測定する塗布軌跡測定工程を実行する。ガラス基板への塗布液の塗布時には、各支管流量計７５が計測した塗布液の流量値と、塗布軌跡測定工程で測定した塗布液の幅と、予め記憶した関係式とを利用して各流量制御バルブ７４の開度を調整することにより、塗布液の塗布量を適正なものとする。 （もっと読む）

【課題】ケーブル、ホースやパイプなどの長いものに連続して印字する場合、帯電タイミングを検出し、印字乱れの発生を防止する。
【解決手段】加圧インクをノズルより噴出し、粒子化するインク粒子作成手段と、粒子化されたインク粒子のうち印字されるドットに対応するインク粒子に電荷を帯電させる帯電手段と、該電荷が帯びたインク粒子を偏向電界中で偏向する偏向手段と、印字されないドットに対応するインク粒子をガターで回収する回収手段と、被印字物上にドットマトリクス状に文字を形成する文字形成手段とを備えたインクジェット記録装置であって、ドットマトリクス文字を形成する際、印字に使用しないインク粒子に位相検出用帯電信号を与え、ドットマトリクス文字を形成する過程において最適な帯電タイミングを検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】風ムラ状のスジやひも状のスジ、面荒れを防止することができる塗布膜付きフィルムの製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】連続走行する帯状支持体１１の表面に塗布液を塗布する、塗布位置と待機位置との間で進退移動させる進退移動機構を有する塗布ヘッド１４と、前記帯状支持体の塗布面裏側を支持するバックアップローラ１３と、からなる塗布装置と、塗布装置直後に設けられるケーシングからなる乾燥装置１６と、からなり、乾燥装置１６には、塗布ヘッド１４から乾燥装置１６までの間のウェブ１１の端面側とウェブ１１の塗布面裏側を覆うケーシングと一体の遮風部分２８と、塗布ヘッド１４から乾燥装置１６までの間のウェブ１１の塗布面側を少なくとも覆う可動式のカバー２４と、塗布ヘッド１４には、塗布ヘッド１４から乾燥装置１６までの間のウェブ１１の端面側を覆う塗布ヘッドに固定された遮風板２６と、を設ける。 （もっと読む）

【課題】塗布動作を行う際に塗布液がミスト状に飛散する場合がある。ミスト状に飛散した塗布液が装置内部のうち基板以外の部分に付着すると、装置を汚してしまうという問題があるので、装置内の環境を清浄化する。
【解決手段】基板収容装置ＡＣＭは、基板Ｓを保持する基板保持部１０と、前記基板保持部１０に保持された状態の前記基板Ｓを囲うカップ部２０と、前記基板Ｓと前記カップ部２０との間に異物を回収する回収液を供給する回収液供給部３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】被処理基板上にレジストを精度良く形成することができるレジスト塗布装置を得る。
【解決手段】チャック１は、ウェハ２を保持して回転する。ノズル３は、ウェハ２上にレジスト液を供給する。チャック１をコーターカップ４が覆っている。チャック１の上方においてコーターカップ４に吸気孔５が設けられている。コーターカップ４に排気孔６が設けられている。吸気孔５に筒状治具１３が取り付けられている。筒状治具１３の空洞内に風速計１４が配置されている。筒状治具１３の中心軸は、チャック１の回転中心と一致する。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の性質にバラつきが生じるのを防ぐこと。
【解決手段】易酸化性の金属及び溶媒を含む液状体を基板に吐出するノズルを有する塗布部と、前記塗布部に前記液状体を供給する供給系と、前記供給系及び前記塗布部のうち少なくとも一方から前記液状体を回収し、回収した前記液状体を前記供給系及び前記塗布部のうち少なくとも一方に供給する循環系とを備える。 （もっと読む）

【課題】塗布対象物に所望の塗布量で液滴を塗布し、塗布製品の品質を向上させる。
【解決手段】液滴塗布装置１は、塗布対象物Ｗを支持するステージ２と、複数のノズルが並ぶノズル列を有するインクジェット式の塗布ヘッド４と、その塗布ヘッド４とステージ２とを塗布対象物Ｗの塗布面Ｗａに沿ってノズル列に交差する第１の方向に相対移動させる移動装置３と、塗布面Ｗａ上における液滴の塗布位置を示す情報を含む塗布パターンを設定するパターン設定部８ｂと、その塗布パターンに基づいて移動装置３及び塗布ヘッド４を制御し、ステージ２上の塗布対象物Ｗの塗布面Ｗａに液滴を塗布する制御部８ａとを備える。制御部８ａは、前述の塗布パターンが複数のノズルの中で近接して位置するノズルから液滴を同時に吐出させる塗布パターンであったとき、当該近接して位置するノズル同士において液滴の吐出タイミングをずらすようにノズルからの液滴の吐出を制御する。 （もっと読む）

【課題】粉体の特性に限定されず被散布体に応じた多種類の粉体を均一かつ精密に散布することができる粉体散布装置を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明の粉体散布装置１０は、粉体貯留槽２０の下部に配設した散布ローラ２２を回転させ、当該散布ローラ２２のローラ面に付着した粉体１２を、前記散布ローラ２２の下方を通過する前記被散布体１１に散布する粉体散布装置１０であって、前記散布ローラ２２の表面に形成され、ローラ軸方向と周方向に沿って複数配列されてローラ全面に分散収容して粉体貯溜槽から粉体を排出する凹部２３と、前記散布ローラ２２の両側から前記ローラ面に接触する一対のブラシローラ３０と、前記ブラシローラ３０のブラシと接触し、前記被散布体１１との間に散布閉鎖空間３６を形成する一対の空間仕切りローラ４０と、を備えたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】画質の向上を図る。
【解決手段】光の照射によって硬化する液体を吐出するノズル列を有し、移動方向に移動するキャリッジと、ノズル列と対応してキャリッジに設けられ、光を照射する照射部と、キャリッジを移動方向に移動させつつ、ノズル列から液体を吐出させるとともに、照射部から光を照射させる吐出照射動作と、媒体を搬送方向に搬送させる搬送動作とを交互に実行するコントローラーと、を備え、ノズル列は、搬送方向の端部と、端部よりも搬送方向の内側の中央部であって、当該中央部のノズルで形成されたドットに照射される光量ばらつきが、端部のノズルで形成されたドットに照射される光量ばらつきよりも小さい中央部とを有し、コントローラーは、上端印刷又は下端印刷を行う際に、第一の吐出照射動作における中央部のノズルを、第一の吐出照射動作よりも後の第二の吐出照射動作における端部のノズルよりも優先して用いる。 （もっと読む）

【課題】スジ不良および充填ムラを低減することができるコントラスト向上シートの製造方法およびコントラスト向上シートの製造装置を提供する。
【解決手段】表面２ｂに複数の溝が並設されたシート状の光透過部２を移動させながら、光透過部２の表面２ｂにインキ組成物３を連続的に供給して、インキ組成物３の供給位置よりも下流側に配置された掻取ブレードの上流側かつ掻取ブレードの直近にインキ組成物３からなるインキ溜まり３ａを形成しつつ、光透過部２の表面２ｂ上のインキ組成物３を掻取ブレードにより掻き取ることにより溝にインキ組成物２を充填する充填工程を備え、前記充填工程において、吸引管６１を、吸引管６１の長手方向Ｃが光透過部２の幅方向Ｄとなるように配置した状態で、吸引管６１の外周面に吸引管６１の長手方向Ｃに沿って設けられた複数の吸引口を介して、インキ溜まり３ａの一部を吸引することによりインキ組成物３を回収する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、カスレやオーバーコートなどの塗装欠陥が抑制された金属帯の塗布方法、および、該方法に使用される連続塗布装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ノズル開口部を有するプレコートノズルを用いて、走行する金属帯に塗料を噴射して予備塗装を行い、予備塗装された金属帯にロールにより塗料を塗布して本塗装を行う金属帯の塗装方法において、ノズル開口部の両端近傍に配置し、金属帯の耳伸び形状に基づいてエッジマスクをスライド移動させて、ノズル開口部とエッジマスクとで決定される塗料の噴射口の位置および金属帯の幅方向における開口幅を調整し、塗装欠陥の抑制された金属帯を得る。 （もっと読む）