【課題】液体供給路の途中に設けられた圧力室内における気泡の成長を抑制することのできるバルブユニットおよび液体噴射装置を提供する。
【解決手段】バルブユニット１９は、液体供給路の途中に設けられて上流側からインクを流入させるための流入口３９ａ及び下流側へインクを流出させるための流出口３９ｂを有する圧力室３９と、圧力室３９の壁面の一部を構成し、その圧力室３９内の圧力変動に基づいて変位する隔壁フィルム３７と、隔壁フィルム３７により圧力室３９との隔壁を構成するように圧力室３９の外側に設けられ、その内部が油類等の非極性の液体で満たされた液体充填室４２とを備える。 （もっと読む）

再循環スピンコーターシステムは、スピンコーティングボウルを備え、このスピンコーティングボウルは、再循環排液口、およびこのスピンコーティングボウルの内側壁の上端に付随する湿潤流体チャンバを備える。この湿潤流体チャンバは、側壁湿潤流体を、このスピンコーティングボウルの内側壁に分配するように構成されている。映像システムは、品質管理および加工片の位置決めのために、スピンコーティングボウル内の加工片の画像を捕捉するように構成されている。光源の環状アレイが、スピンコーティングボウルの面を囲み、そして光学制御のためにスピンコーティングボウルの内部を照射するように構成されている。映像システムは、品質管理と加工片位置決めとの両方のために利用され得る。コーティングノズルは、加工片と垂直に整列した第一のコーティング位置と、再循環排液口と垂直に整列した第二のパージ位置との間で移動するように構成されている。
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【課題】複数の吐出孔からの塗液の吐出、それによる塗布にムラが生じないようにした口金、ならびにその口金を用いた塗液の塗布装置および塗布方法、とくにプラズマディスプレイパネルの隔壁のように、一定の凹凸状のパターンが形成された基材の複数の凹部に、塗布口金から高粘度の蛍光体ペーストを塗布するに際し、適正量の蛍光体ペーストを所望の均一な形態で塗布できるようにした塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】塗液を溜める塗液溜め部と、前記塗液溜め部の内側から外側に開口する複数の吐出孔と、前記塗液溜め部に塗液を供給するための複数の塗液供給口を有し、各塗液供給口には、その上流の塗液供給源からの塗液の流れを分岐させて塗液を各塗液供給口に供給するためのトーナメント形流路に接続されていることを特徴とする口金とする。 （もっと読む）

【課題】製造工程を簡略化できると共に、複数の圧力室内における流動圧調整機能のばらつきを抑制することができるバルブユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】バルブユニット１９は、２つの液体供給路の途中に設けられてインクを流入させる流入口３９ａ及びインクを流出させる流出口３９ｂを有する隣り合う２つの圧力室３９と、各圧力室３９の壁面の一部を構成し、該圧力室３９内の圧力変動に基づいて変位する隔壁フィルム３７と、各圧力室３９内にそれぞれ設けられ、閉弁状態となることにより流入口３９ａを閉鎖するとともに、開弁状態となることにより流入口３９ａを開放する弁部材４４と、各圧力室３９内にそれぞれ設けられ、各弁部材４４を常には閉弁状態に付勢する弁付勢ばね４６と、各隔壁フィルム３７により各圧力室３９との隔壁を構成するように２つの圧力室３９の外側に設けられ、その内部が負圧に保持された共通負圧室４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】液体供給路の途中に設けられた圧力室内における気泡の滞留を抑制することのできるバルブユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】バルブユニット１９は、液体供給路の途中に設けられて上流側からインクを流入させるための流入口３９ａ及び下流側へインクを流出させるための流出口３９ｂを有する圧力室３９と、圧力室３９の壁面の一部を構成し、その圧力室３９内の圧力変動に基づいて変位する隔壁フィルム３７と、圧力室３９内に設けられ、閉弁状態となることにより流入口３９ａを閉鎖するとともに、開弁状態となることにより流入口３９ａを開放する弁部材４４と、圧力室３９内に設けられ、弁部材４４を常には閉弁状態となる方向に付勢する弁付勢ばね４６と、隔壁フィルム３７により圧力室３９との隔壁を構成するように圧力室３９の外側に設けられ、その内部が負圧に保持された負圧室４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】１００℃以下で溶融し、且つ長時間外気に触れても硬化しないホットメルト系塗料を扱うとともに、その再循環使用を実現することのできる、新規なホットメルト系塗料に対応したロールコーターの開発を技術課題とした。
【解決手段】塗料Ｐとして低融点のホットメルト塗料が用いられるものであり、少なくとも塗料タンク７２並びに案内樋７６及び回収樋７７を加温可能な構成とすることにより、塗料Ｐの溶融状態を維持してその再循環使用が可能となるようにしたことを特徴として成るものであり、ホットメルト系の塗料Ｐを無駄なく使用することができるため、塗工コストを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】廃棄する薬液をなくすことができ、清浄な薬液を塗布することができる薬液供給装置を提供する。
【解決手段】この薬液供給装置は被処理物Ｗにノズル１１から薬液を塗布するために使用される。ノズル１１は移動ヘッド１２に設けられており、塗布位置と待機位置との間を往復動する。薬液供給ユニット１４の薬液タンク１８とこの中の薬液を吐出するポンプ１６とを有し、吐出された薬液はフィルタ２２により濾過されて供給チューブ２１によりノズル１１に向けて供給される。移動ヘッド１２にはノズル１１から薬液を塗布する塗布状態と塗布を停止する停止状態とに作動する塗布バルブ２３が設けられており、塗布バルブ２３の弁室は循環チューブ２７によりバッファタンク１９に接続されている。循環チューブ２７にはこの流路を開閉する循環バルブ２８が設けられている。 （もっと読む）

【課題】非稼動状態において塗料を循環させることができ、しかもエネルギーロスを少なくする省エネルギー化による高性能化を確実に図ることのできる液圧レギュレータおよび塗装装置を提供する。
【解決手段】塗装装置１は、塗料を循環させるための液体供給路２および液体戻し路３と、液体供給路２に接続され圧縮空気により操作される複数の液圧レギュレータ４と、液圧レギュレータ４に接続されるとともに液体戻し路３に接続された塗装ガン５と、液圧レギュレータ４に圧縮空気を供給するための空気供給路１１とを設ける。液圧レギュレータ４は、シリンダ室６１に圧縮空気が供給されていない待機状態においては、弁棒２８がピストン用付勢ばね７４の付勢力によってダイアフラム２３とは独立して移動して弁を４９を開状態に保持するように形成する。 （もっと読む）

【課題】流体を精密に分配するように停止／吸引弁を調整する制御システムを提供する。
【解決手段】第１及び第２の流れ制限装置２０，２１は停止／吸引弁１０の停止部分及び吸引部分とそれぞれ流体的に連通した第１及び第２の空気出口を有する。第１及び第２の圧力センサ２４，２５は第１の空気出口内の圧力及び第２の空気出口内の圧力を感知する。コンピュータプロセッサ３０は第１及び第２の圧力センサに応答して第１及び第２の空気出口の圧力をそれぞれ制御する。停止／吸引弁の停止部分及び吸収部分の各々を所定の開放位置に維持するように、所定の時間に亘り前記第１及び第２の空気出口の圧力が維持され、且つ所定の時間に亘り停止／吸引弁の停止部分及び吸収部分の各々を所定の閉鎖位置に維持するように、第１及び第２の空気出口の圧力が制御される。 （もっと読む）

【課題】いわゆるチョーククリーニングに用いられる弁装置として使用しても、必要な閉弁応答性が得られやすいうえ、弁装置内における流出口の配置位置の制約を緩和できる液体噴射装置及び液体収容容器を提供する。
【解決手段】差圧弁４１は、基材４４と、基材４４に凹設された凹部４３の開口４３ａを封止するフィルム部材４５とを備える。凹部４３の底面略中央には流入路４７の径より大径な内径を有する円環状の突起４６が形成されている。弁室５０は、突起４６の外側部分からなる第１流路５１と、突起４６の内側部分からなる第２流路５２とからなる。開口４６ａの開口径Ａは、フィルム部材４５のうち撓み変形可能な部分であるダイヤフラム４５ａの直径Ｂの１／２以上、かつ流入路４７の径Ｃの５倍以上に設定されている。このため、第２流路５２に連通する側を流入口４７ａ、第１流路５１に連通する側を流出口４９ａとしても、弁の開閉が可能となっている。 （もっと読む）

【課題】スロットダイ内部に微小エアが混入しても、これを少ない塗布液の消費量で確実かつ速やかにスロットダイ外部に排出する手段を実現することによって、生産性が高くて、かつ高品質な塗布膜形成が可能な塗布装置および塗布方法、並びにこれらを用いたディスプレイ用部材の製造装置および製造方法を提供する。
【解決手段】マニホールドと吐出口を連通するスリット、および液体排出口を有する塗布器と、塗布液を排出するために液体排出口に接続されて排出される塗布液の流通／遮断を行うための開閉手段を途中に有する液体排出経路と、塗布器に液体供給経路を介して塗布液を供給する液体供給手段と、被塗布部材を保持する保持手段と、塗布器および保持手段の少なくとも一方を相対的に移動させる移動手段を備え、塗布器に気体を供給する気体供給経路が、少なくとも塗布器、液体供給経路、または液体排出経路のいずれかに接続されている。 （もっと読む）

【課題】弁装置内における流出口の配置位置の制約を緩和することができる弁装置及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】差圧弁４１は、基材４４と、基材４４に凹設された凹部４３の開口４３ａを封止するフィルム部材４５とを備える。凹部４３の底面略中央には流入路４７の径より大径な内径を有する円環状の突起４６が形成されている。弁室５０は、突起４６の内部以外の部分からなる第１流路５１と、突起４６の内部からなる第２流路５２とからなる。突起４６の開口４６ａの開口径Ａは、フィルム部材４５のうち撓み変形可能な部分であるダイヤフラム４５ａの直径Ｂの１／２以上に設定されている。このため、第２流路５２に連通する側を流入口４７ａ、第１流路５１に連通する側を流出口４９ａとしても開弁が可能となっている。 （もっと読む）

【課題】棄て打ち量の低減が図れる材料供給装置およびその装置の材料供給方法を実現する。
【解決手段】シリンジ２０には、複数の材料を吐出する複数の吐出口２４と、この吐出口２４のそれぞれに通ずる経路を開閉する弁機構３０とが設けられ、弁機構３０は、吐出口２４に通ずる経路を開閉する弁体３１と所定の締切圧で押圧するバネ部材３２とからなり、弁体３１、バネ部材３２は、吐出口２４の内周に配設されるとともに、シリンジ２０内の棄て打ちを行うときに、一つの弁機構３０を開弁させるように制御される。これにより、棄て打ち量の低減が図れる。 （もっと読む）

【課題】顔料の沈殿防止のために塗料を循環させておく塗料供給装置において、塗装機へ塗料を供給している間に顔料の沈殿を生じさせることなく、塗料の循環流量を少なくする。
【解決手段】塗装機Ｂへ塗料を供給しないときは、ポンプ１５の圧送量（即ち、塗料の循環流量）を、顔料の沈殿に必要な最少量に設定する。塗装機Ｂに塗料を供給する際には、制御手段２０の制御動作により、ポンプ１５の圧送量を増大させ、塗料の供給に要する時間の短縮化を図る。これにより、復路１２において塗料の流量が低下したり塗料の流れが停止したりしても、その継続時間が短くなるので、顔料が沈殿する虞はない。 （もっと読む）

【課題】レジスト瓶の交換にあたって無駄を省き、作業効率を向上するためのフォトレジスト供給装置を提供する。
【解決手段】半導体ウエハ８へのレジストの供給を行っていくうちに、レジスト瓶２ａ内のレジスト２０ａを消耗して、空になった場合、配管Ａ１３ａに設置された状態センサー１２が検出し、これを配管Ａ１３ａに介装されたコック１４へ通知する。コック１４はこの通知を受けると閉塞して配管Ａ１３ａ内へ気泡が混入することを防止する。このため、レジスト瓶２ａの交換作業において、バッファタンク４でレジストごと気泡を除去する作業を行う必要がない。また、この交換作業の間、レジスト充填容器２ｂには十分な量のレジストが充填充填されており、第二の加圧制御部３ｂによってポンプ６にレジスト２０ｂを送り続けることができるために、この交換作業の間でも、レジストの供給が滞ることはない。 （もっと読む）

本発明は３次元プリンターの粉体処理用の方法と装置に向けられている。本発明は多数のソースから粉体ディスペンス用装置へ最小のユーザー介入で粉体を輸送する手段を含んでおり、かくして該３次元プリンター及び周囲範囲への野放し状の粉体での汚染を減じる、一方粉体を再使用するリサイクリングを改善する手段を提供する。
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【課題】処理液を液圧一定に供給して処理精度の向上を図り、単一の処理液貯留容器の交換を行うことができ、処理液貯留容器が空になっても処理を止めることなく継続して処理液による連続処理を行えるようにする。
【解決手段】処理液貯留容器１とリザーバタンク５と接続する第１の処理液供給管路に、液圧センサ１０と第１の開閉弁Ｖ１を介設し、処理液貯留容器と加圧手段であるＮ２ガス供給源３とを接続する主加圧管路２に、電空レギュレータ２０を介設し、リザーバタンクとＮ２ガス供給源とを接続する補助加圧管路９に、加圧用開閉弁Ｖ３を介設する。液圧センサによって検知された液圧の信号を受け、その検知信号に基づいて電空レギュレータの加圧側圧力を調整し液圧が一定になるように制御すると共に、調整する圧力値と液圧センサで検知される圧力値との差圧から処理液無しを判定し、加圧用開閉弁と第１の開閉弁Ｖ１とを切り換え制御する制御部３０を設ける。 （もっと読む）

【課題】シリンジ内の接着剤残量に拘わらず安定した塗布量を確保すると共に、使用しない吐出口から接着剤が漏洩したり、吐出口先端を汚すことがないようにする。
【解決手段】接着剤供給部（シリンジ２０）から供給される接着剤１０を、ノズルにより対象物上に吐出して塗布するための接着剤塗布装置において、接着剤を吐出するための複数のノズルと、該ノズルの一つを接着剤供給部（２０）と接続するためのノズル交換機構（ロータリーノズル５０）と、該ノズル交換機構（５０）の接着剤流路５０Ｂ内で、不使用ノズルからの接着剤の漏出を防止する手段（棒状シャッター８０、スプリング８２、リニアアクチュエータ８４）とを備える。 （もっと読む）

【課題】液体に注入液の注入を精密に且つ連続的に行うことできる液注入ノズル及びこのノズルを使用して後段で混合撹拌を必要としない液注入混合装置を提供する。
【解決手段】注入液が注入される液体を送液する配管２に両端が接続されて注入液を液体に注入する液注入ノズル１において、液注入ノズル内に注入液が自吸により導入される注入液導入流路５と液体が流入し流出する複数の液体流路３とを備え、注入液導入流路５の流出側の注入液注入孔５ｂを囲んで液体流路３の流出側の液体流出孔３ｂが混合室４に開口し、混合室４が液体流出孔３ｂから流出する液体に注入液注入孔５ｂから流出した注入液が注入される注入室４ａと、この注入室４ａに連続して設けられるとともに、注入室４ａより大径の、液体と注入液を撹拌する撹拌室４ｂを備えている液注入ノズル。 （もっと読む）

【課題】洗浄液と気体を同時に噴射しても十分な洗浄を可能にするとともに、洗浄液の吐出口と気体の噴出口を適切な位置に配置して洗浄能力を高め、これらの効果によって、低コストで高品質の液晶ディスプレイ用部材を製造できる液晶ディスプレイ用部材の製造方法を提供する。
【解決手段】長手方向に延在または配列し、塗液を吐出する吐出口を具備した塗布器の少なくとも吐出口面およびそれに隣接する面（以下、これを総称して洗浄面という。）を洗浄する塗布器の洗浄方法であって、複数の洗浄液流出口を有する洗浄機と、複数の気体噴出口を有する気体噴出器を前記塗布器の長手方向に並べて配置するとともに、洗浄機と気体噴出器を長手方向に走査させつつ、洗浄機から隣接面に向けて洗浄液を供給し、続いて前記気体噴出器から隣接面に向けて気体を噴出させて、洗浄面の洗浄を行うことを特徴とする塗布器の洗浄方法。 （もっと読む）