【課題】吐出停止時および吐出再開時の応答性を向上する。
【解決手段】塗布装置は、基板に向けて流動性材料を吐出する３本のノズル１７、３本のノズル１７に流動性材料をそれぞれ送出する３つの吐出機構１８を備える。吐出機構１８は、ノズル１７に接続される可動配管１８１、可動配管１８１の上流側に接続される固定配管１８２、可動配管１８１と固定配管１８２との間に設けられた開閉可能なエアバルブ１８３、固定配管１８２の上流側に接続されて固定配管１８２に流動性材料を送出するポンプ機構１８５、および、ポンプ機構１８５を制御する圧力制御部である電空レギュレータ１８６を備える。塗布装置１では、設置できる範囲内でノズル１７から最も近い位置にエアバルブ１８３を設けることにより、ノズル１７とエアバルブ１８３との間の配管長さを最も短くすることができる。これにより、吐出停止時および吐出再開時の応答性を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】塗工液を長期間安定して吐出可能な塗工装置を提供する。
【解決手段】ＰＤＰの結晶ＭｇＯ層の形成工程において、スプレー法にて、ＭｇＯ粉体を溶剤に分散させた塗工液を塗布する塗工装置として、塗工液経路に接続する連結管５３１、吐出管５１３Ａおよび洗浄管５２２が接続してそれぞれの接続状態を切り替える第１三方弁６００と、連結管５３１、返送管５１４および洗浄管５２２が接続してそれぞれの接続状態を切り替える第２三方弁７００と、を設ける。第１三方弁６００に洗浄液を流通させ吐出管５１３Ａからスプレーガンで吐出させ、第２三方弁７００に洗浄液を流通させ連結管５３１から第１三方弁を流通させ吐出管５１３Ａからスプレーガンで吐出させる。ＭｇＯ粉体の固着や閉塞が生じず長期間安定して塗布できる。 （もっと読む）

【課題】 気体と薬液が接触しない液送方式を容易に実現する薬液供給瓶及び半導体製造装置を提供する。
【解決手段】 容器１０内には伸縮性袋１２が設けられている。伸縮性袋１２は、容器１０に設けられたガス導入口１３から与えられるガス圧力に応じて大きさが可変となっている。薬液導出口１４は、伸縮性袋１２の膨張途中で塞がらないような位置に設けられている。伸縮性袋１２は、薬液１１の薬液導出口１４への経路を確保しながら膨張する。薬液１１は、伸縮性袋１２の膨張により容器１０内の容積が小さくなる分、薬液導出口１４から外部に押し出されるようになる。密栓部材１５は、容器１０が図示しない所定の半導体製造装置にセットされ、その半導体製造装置における塗布部の配管端部に結合されるときに外される。 （もっと読む）

【課題】薬液の種類の変更などに伴い作動圧力の圧力設定値が相違する場合にも、常に適正に圧力フィードバック制御を行い、ひいては薬液の吐出流量を高精度に制御する。
【解決手段】ポンプ１１は、可撓性膜よりなるダイアフラム１２で仕切られたポンプ室１３と作動室１４とを有しており、作動室１４内の圧力変化に伴い薬液の吸引及び吐出を実施する。電空レギュレータ３２は作動室１４に作動エアを供給する。また、本システムには、作動エア圧力を検出する圧力検出手段として圧力検出レンジの異なる複数の圧力センサ５１，６３が設けられている。コントローラ４０は、都度設定される作動エアの圧力設定値に応じて複数の圧力センサ５１，６３の検出結果のうちいずれかを選択的に用い、圧力フィードバック制御を実施する。 （もっと読む）

【課題】工程単価の増加を防ぎ、且つ塗布不良発生を減らすことが可能な半導体装置製造装置を提供する。
【解決手段】塗布薬液を吐出する薬液ノズル１０と、塗布薬液を貯蔵し、薬液ノズル１０に塗布薬液を供給する薬液貯蔵部２０と、薬液貯蔵部２０で塗布薬液を貯蔵している時間及び最後に塗布薬液を吐出してからの時間を測定する時間測定装置３２と、時間測定装置３２から測定結果からダミーディスペンスの間隔と吐出量を制御する制御コンピュータ３０と、制御コンピュータ３０からダミーディスペンスの間隔と吐出量を受信し、塗布薬液の吐出を制御する薬液吐出制御バルブ２３を備える。 （もっと読む）

塗料循環装置用背圧調整器において、調整器上流の塗料圧力を調整できるように、固定された構造体と流路の幅を変化させるために可動である面との間に少なくともその一部が配置される塗料用流路と、調整器の操作を制御する加圧流体の供給源に連通する開口を有する室と、を具備する塗料循環装置用背圧調整器。
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【課題】 流路内の塗工液の圧力を適切に制御することができる塗工装置、およびこれを用いて高品質な電極を歩留まりよく形成することができる電極の製造方法を提供する。
【解決手段】 塗工部２２０内の流路２２１に塗工液Ｍを供給し、吐出孔２２２から吐出して集電体１１０に電極層１２０を形成する。流路２２１と吐出孔２２２との境界に保持溝２４１および遮断部材２４２を設ける。電極層１２０を形成する工程では、保持溝２４１内で遮断部材２４２の閉鎖面２４２Ａを吐出孔２２２の上壁面２２２Ａに接触させて流路２２１と吐出孔２２２との間を遮断する。露出領域１３０を形成する工程では、遮断部材２４２の閉鎖面２４２Ａを上壁面２２２Ａから離して流路２２１と吐出孔２２２とを連通させる。遮断機構２４０に協調して圧力調整弁２５２を開閉すると共に移動機構２６０により塗工部２２０と集電体１１０との間の間隙Ｇの大きさを変化させる。 （もっと読む）

【課題】無駄なレジスト液の消費を極力抑えて、かつスループットを低下させずに、インラインでレジスト液の粘度調整を行うことができる塗布処理装置を提供すること。
【解決手段】レジスト塗布装置（ＣＴ）２３ａは、高濃度塗布液と溶剤とを混合して所定濃度に希釈された希釈塗布液とする混合部７０と、希釈塗布液を吐出して基板に塗布膜を形成する塗布液吐出機構１４と、希釈塗布液を取り込んでモニター塗布を行うモニター塗布機構７９と、モニター塗布した塗布膜の膜厚を測定する膜厚測定装置８５と、モニター塗布機構７９によってモニターされたパラメータに基づいて高濃度塗布液と溶剤との混合割合が所定の範囲か否かを判断し、当該混合割合が所定の範囲でないと判断した場合には、高濃度塗布液と溶剤との混合比率を調整する制御機構９０，９２とを具備する。 （もっと読む）

【課題】非動作状態が長時間継続する前に塗布液を回収できない場合が生じたとしても、その後に再開される塗布動作を良好に行うことが可能な液体塗布装置およびインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】液体塗布機構は、円筒状の塗布ローラ１００１、この塗布ローラに対向して配置された円筒状のカウンターローラ（媒体支持部材）１００２，及び塗布ローラを駆動するローラ駆動機構１００３などによって構成され、液体供給機構は、前記塗布ローラの周面との間で塗布液を保持する液体保持部材２００１、及びこの液体保持部材に液体を供給する液体流路３０００等を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】 ノズルを用いて被処理版上に処理液を供給する処理液吐出機能の安定性・再現性を保証しつつ吐出開始時の立ち上がり性能を改善すること。
【解決手段】 このレジストポンプ１５０は、ダイヤフラムポンプ１６４をシリンジ部１６６で駆動する。シリンダ１７８の容積はプランジャ１８４の位置にほぼ正確に比例するため、応答速度および安定性の高いポンプ性能を実現することができる。さらに、作動油Ｓを貯留する作動油タンク１９４を備え、この作動油タンク１９４より配管２００を介して作動油封入部（シリンダ１７２，作動油室１７８）に作動油Ｓを随時補給できる構成としており、これによって作動油の漏れやエアの混入があってもポンプを分解する程のメンテナンス修理が不要となっている。 （もっと読む）

【課題】手動により個々のダイヤフラムポンプを駆動させることができる土壌消毒機を提供する。
【解決手段】第一ダイヤフラムポンプ４の第一ダイヤフラム４３と、第一ダイヤフラム４３を往復駆動するためのモーター２０６との間に配置する第一連結ロッド４４、第一レバー４５、第一カムフォロワー４６、第一カム４７等により構成される動力伝達経路に、第一ハンドル４０２を設け、第二ダイヤフラムポンプ５の第二ダイヤフラム５３と、第二ダイヤフラム５３を往復駆動するためのモーター２０６との間に配置する第二連結ロッド５４、第二レバー５５、第二カムフォロワー５６、第二カム５７等により構成される動力伝達経路に、第二ハンドル５０２を設けた。 （もっと読む）

【課題】インキを溜め受けるタンクの液面測定を行なうなどの煩雑なシステムを必要としないとともに、そのタンクからの固形物のインキ塗工手段側への送り込みが発生しないようにし、簡易な装置構成で良好なインキ供給を行なう。
【解決手段】インキ供給源５のインキ３を、多数のインキジェットヘッド７が接続されたヘッダー８からなるインキ塗工手段９に供給する装置であり、インキ供給源５からインキ塗工手段９に亘る管路１１に、インキ供給源５からインキ塗工手段９へインキ３を一方向にして流すダイヤフラムポンプ１３を備えてなるインキ送出手段１２を介装し、かつ、インキ送出手段１２に、インク塗工手段９でのインキ圧力を検出する圧力センサ１７からの情報に基づいて、インキジェットヘッド７のヘッド吐出口におけるインキ３のメニスカス面を形成するインキ圧力条件を維持するようにインキ送出手段１２を動作させる駆動手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】 液状体が筒状体の外側へ回り込むことを防止して、吐出量の管理を高い精度で行い、充填時間を短縮することが可能な液状体吐出用バルブの提供。
【解決手段】 シャットバルブ２０を構成するプランジャ２２の縮径部２２Ｂの外径は、筒状体２１の縮径部２１Ｃの内径よりも僅かに小さく、縮径部２１Ｃの内周面により画成される貫通孔内空間２１ｂ内を摺動可能である。プランジャ２２の縮径部２２Ｂが液状体排出位置にあるときには、プランジャ２２は液状体流入貫通孔２１ｄに対向し、液状体流入貫通孔２１ｄが閉鎖される。また、プランジャ２２の先端部は筒状体２１の一端部開口端２１Ａから突出する。プランジャ２２の下端面２２Ｃは半球状をなす曲面によって構成され、鉛直下方へ開口する凹部形状をなし、プランジャ２２の下端面２２Ｃとプランジャ２２の縮径部２２Ｂの側面２２Ｄとは鋭角をなす。 （もっと読む）

【課題】気泡を混入することなく塗料を圧送して供給する方法及び装置を提供する。
【解決手段】ピグ挿入管１９から塗料供給配管７内に挿入されたピグ１ｄを、押進するに先立って、塗料の先頭部側の気泡を、ピグ挿入管から外部へ排出した後、塗料によりピグ１ｄを押進する。そして塗料供給装置は、塗料供給配管７内へピグ１ｄを挿入するためのピグ挿入管１９を、斜めに接続して備え、ピグ１ｄを挿通可能な挿通孔２１とピグ挿入管１９を連通遮断自在な開閉弁２３とをピグ挿入管１９に備えた構成であり、ピグ挿入管１９の内径は塗料供給管７の内径にほぼ等しい径で、塗料供給管７とピグ挿入管１９とのなす角度θは約２６°〜６０°の範囲である。 （もっと読む）

【課題】枚葉のガラス板に、ダイヘッドで均一に塗布液を薄膜で精密塗布する単板塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】
枚葉のガラス板にチキソ性塗布液をダイヘットで塗布する塗布液タンクと給液バルブと塗布液供給用ポンプと塗布バルブとダイヘッドが順に送液パイプで連設し、具備されている単板塗布装置であって、
前記塗布バルブとダイヘッド間に塗布液の圧力を検出する圧力センサーが備えられていることを特徴とする単板塗布装置およびこの装置でガラス板にチキソ性塗布液を塗布する塗布方法である。 （もっと読む）

【課題】駆動力伝達時に生じる摺動摩擦抵抗によって不必要に駆動負荷が増大することを極力低減して耐久寿命を向上することができる駆動力伝達装置、加圧ポンプ装置、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】所定の軸線ａ上に駆動力に基づき回転可能に配置された第３歯車６３（駆動要素）と、該第３歯車６３と同一の軸線ａ上に回転可能に配置された従動部品６４（従動要素）と、第３歯車６３及び従動部品６４のうち一方の要素と一体的に回転しながら、他方の要素に設けられた軸線ａを中心とする円筒状又は円柱状の摺動部６６の周面に対して軸線ａと直交する方向から所定の弾性力を付与する板ばね６５（弾性要素）とを備える。 （もっと読む）

【課題】大容量の容器を対象としてシール性能や操作性に優れた液状物質供給装置を提供することを目的とする。
【解決手段】上端部に開口部３０ａを有し容器ホルダ１５に保持された容器３０の内部に貯留された液状物質を供給する液状物質供給装置において、容器３０を密閉する蓋１８に設けられた被係合部２６に係合する係合部を有するリンクロッド２５をレバー２７の回動によって上下動させる蓋開閉機構１７を設け、レバー２７を下方に回動させて被係合部２６を引き下げて、密閉凸部１８ｄとＯリング３３によって容器３０の内部を密閉し、レバー２７を上方へ回動させて被係合部２６をリンクロッド２５によって押し上げて蓋１８を開放するように構成する。これにより、大容量の容器３０を対象としてシール性能や操作性に優れた液状物質供給装置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】大容量の容器を対象として操作性に優れた液状物質供給装置を提供することを目的とする。
【解決手段】縦長形状の容器３０に貯留された液状物質を供給する液状物質供給装置において、ホルダ本体部１６の上面側に開口した挿入口から挿入された容器３０を保持する容器ホルダ１５の下部をヒンジ部１９によってベースブラケット１４に軸支して、容器ホルダ１５が直立姿勢または傾斜姿勢のいずれの姿勢も可能となるように支持し、直立姿勢の容器ホルダ１５をホルダ固定機構２０によって固定する構成とする。これにより、容器交換作業時には容器ホルダ１５を傾斜させた状態で容器３０をホルダ本体部１６に着脱することができ、高さ寸法が大きい大容量の容器を対象とする場合においても、良好な操作性を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】バルブユニットと管路を容易に接離することができるとともに、バルブユニットからシリンジへのペースト供給を安定させることができる粘性流体塗布装置を提供する。
【解決手段】バルブユニット５０と管路７１ｂを連結部９０により接続し、この連結部９０が、流路６５と連通して外周に外ねじ部９２が形成された内管９１と、管路７１ｂに連通して内周に外ねじ部９２に螺合する内ねじ部９６が形成された外管９５とから成り、この外管９５の内部に弾性筒３０を内挿し、外ねじ部９２と内ねじ部９６を螺着することにより、内管９１の端面ｂにより弾性筒３０の一端面ａを押圧して、弾性筒３０の他端面ｃを外管９５の受け部ｄに押接するようにした。 （もっと読む）

【課題】薬液の吸引又は吐出の流量を高精度に制御し、しかも発熱による弊害等を排除することができる薬液供給システムを提供する。
【解決手段】薬液供給ポンプ１０のポンプハウジング１１内には容積可変部材としてのベローズ式仕切部材１２が収容されており、このベローズ式仕切部材１２によってポンプ室１３と圧力作用室１４とが区画形成されている。圧力作用室１４には電空レギュレータ２８が接続されている。ベローズ式仕切部材１２にはロッド３３が連結され、そのロッド３３の移動量が位置検出器３６により検出される。コントローラ４０は、薬液の吸引又は吐出時においてベローズの目標作動量を設定するとともに、該目標作動量と位置検出器３６による検出結果から求めた実際の作動量との偏差に基づいて電空レギュレータ２８を制御する。 （もっと読む）