【課題】弁体の直進性を維持しつつ、連通流路の流路面積を十分に確保することができると共に、軸部が流路壁に引っかかるのを抑えることができる。
【解決手段】１次室１６７および２次室１６９と、１次室１６７と２次室１６９とを連通する連通流路１７３と、連通流路１７３を１次室１６７側から開閉する弁体２１１と、弁体２１１を開閉動作させるダイヤフラム１７１と、弁体２１１を閉弁方向に付勢する弁体付勢ばね２１７と、を備え、弁体２１１は、弁座Ｓに対し直接開閉動作するＯリング２１４と、Ｏリング２１４を保持する保持部２１２と、保持部２１２から延びてダイヤフラム１７１に当接する軸部２１３と、を有し、連通流路１７３は、軸部２１３が挿通する第１連通流路２２１と、弁座Ｓと第１連通流路２２１との間に穿孔した第２連通流路２２２と、を有している。 （もっと読む）

【課題】弁体を適正に開閉動作させることができる圧力調整弁等を提供する。
【解決手段】隔壁７６を隔ててバルブハウジング６４内に形成され、流入ポート７１に連通する１次室６７および流出ポート７４に連通する２次室６８と、１次室６７と２次室６８とを連通する連通流路６９と１次室側開口縁部を弁座として、連通流路６９を１次室６７側から開閉する弁体７０と、弁体７０を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、隔壁７６に対向する１次室６７の１の壁面を受けとして、受圧膜体７３と拮抗しつつ弁体７０を閉弁方向に付勢する弁体ばねと、を備え、弁体７０は、１次室６７に配設され弁座に対し直接開閉動作する弁体本体８１と、これを保持する保持部と、を有し、受圧膜体７３は、膜体本体７３ａの中心部に同心上に接着された受圧板７３ｂから延び連通流路６９を挿通して保持部に当接する作動軸部７３ｃを有している。 （もっと読む）

【課題】被塗布基材の一定長さ（例えば製品１枚分の長さ）あたりの液体の間欠塗布回数を増加させた場合に発生し易い液体塗布不良を確実に検知することができる液体塗布装置を提供すること。
【解決手段】搬送中の被塗布基材２の一定の送り長さ間隔で周期信号を発生する信号発生手段３と、圧縮流体の流路を開閉する電磁弁４と、電磁弁４からの圧縮流体により弁体を移動させて被塗布基材２に塗布される液体を放出又は不放出状態に切り換える液体塗布部５と、圧縮流体が電磁弁４から液体塗布部５へ向かう途中の流路の内圧を測定し、予め定めた閾値以上の圧力が検知された場合にオン信号を出力する圧力センサ６と、該信号を受信し分析するシーケンサ７とを備える液体間欠塗布装置１であり、周期信号間の圧力センサからのオン信号の送信時間の和に基づいて電磁弁４の動作チェックが行われる。 （もっと読む）

【課題】 無駄なレジスト液の消費を極力抑えて、かつスループットを低下させずに、インラインでレジスト液の粘度調整を行うことができる塗布処理装置を提供すること。
【解決手段】 高濃度塗布液と溶剤とを混合して所定濃度に希釈された希釈塗布液とする混合部７０と、希釈塗布液を吐出して基板に塗布膜を形成する塗布液吐出機構１４と、混合部７０から塗布液吐出機構１４へ向けて希釈塗布液を送給する送給配管６９、送給配管６９からの希釈塗布液を一時的に貯留するバッファタンク７１、及びバッファタンク７１から塗布液吐出機構１４へ希釈塗布液を供給する供給ポンプ７４を有する希釈塗布液供給機構と、バッファタンク７１から希釈塗布液を取り込み、混合部７０に戻して循環させる希釈塗布液循環部と、希釈塗布液の送給先を塗布液吐出機構１４側と塗布液循環部側とで切り替える切替機構とを具備する。 （もっと読む）

【課題】弁体を円滑に開閉動作可能な圧力調整弁等を提供する。
【解決手段】隔壁７６を隔ててバルブハウジング６４内に形成され、流入ポートに連通する１次室６７および流出ポートに連通する２次室６８と、隔壁７６に貫通形成され、１次室６７と２次室６８とを連通する連通流路６９と、連通流路６９の１次室側開口部７８ａの縁を弁座として、連通流路６９を１次室６７側から開閉する弁体７０と、２次室６８の１の面を構成すると共に弁体７０を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、を備え、弁体７０は、弁座に対し直接開閉動作する弁体本体８１と、それを保持する保持部および保持部から連通流路６９を挿通して延び受圧膜体７３に当接する作動軸部８２ｂから成る弁ホルダー８２と、を有し、少なくとも連通流路６９を形成した隔壁７６の流路形成部が、合成樹脂で形成されている。 （もっと読む）

【課題】弁体を円滑に開閉動作させることができる圧力調整弁等を提供する。
【解決手段】隔壁７６を隔ててバルブハウジング６４内に形成され、流入ポート７１に連通する１次室６７および流出ポート７４に連通する２次室６８と、１次室６７と２次室６８とを連通する連通流路６９と、１次室側開口部７８ａの縁を弁座として、連通流路６９を１次室６７側から開閉する弁体７０と、弁体７０を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、隔壁７６に対向する１次室６７の１の壁面を受けとして、受圧膜体７３と拮抗しつつ弁体７０を閉弁方向に付勢する弁体ばねと、を備え、１次室６７は、弁体７０の開閉動作をガイドする弁ガイド壁６７ａを有し、弁体７０は、弁座に対し直接開閉動作する弁体本体８１と、弁体本体８１を保持すると共に、弁ガイド壁６７ａに対し開閉動作方向にスライド自在に係合する保持部８３と、を有している。 （もっと読む）

【課題】圧力調整弁の自己封止開閉動作を安定して行うことができる弁体付勢ばねを有する圧力調整弁および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】隔壁７７を隔ててバルブハウジング７１内に形成され、機能液供給手段に連通する１次室７５および機能液滴吐出ヘッドに連通する２次室７６と、隔壁７７に貫通形成され、１次室７５と２次室７６とを連通する連通流路７８と、連通流路７８を形成した隔壁７７の１次室７５側開口縁部を弁座として、連通流路７８を１次室７５側から開閉する弁体８４と、２次室７６の１の面を構成すると共に弁体８４を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、隔壁７７に対向する１次室７５の１の壁面を受けとして、受圧膜体７３と拮抗しつつ弁体８４を閉弁方向に付勢する弁体ばね（弁体付勢ばね８５）と、を備え、弁体ばねが、円錐コイルばねで構成されている。 （もっと読む）

【課題】複数の機能液滴吐出ヘッドに対し、単一の圧力調整弁から同一の圧力条件で機能液を供給することができる機能液供給システムおよびこれを備えた液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】バルブハウジング内の１次室と２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を、２次室の１の面を構成する受圧膜体により大気圧基準で開閉し、機能液供給装置４１から供給された機能液を、圧力調整して供給する単一の圧力調整弁２７と、２次室に連通し、圧力調整弁２７から機能液の供給を受けると共に同一の水平面内に配設した複数の機能液滴吐出ヘッド１４と、２次室と複数の機能液滴吐出ヘッド１４とを接続する流路ユニット５５と、を備え、流路ユニット５５は、２次室から各機能液滴吐出ヘッド１４に至る複数の流路が、同一の流量に対し同一の圧力損失となるように構成されているものである。 （もっと読む）

【課題】弁体を適正に開閉動作させることができる圧力調整弁等を提供する。
【解決手段】隔壁７６を隔ててバルブハウジング６４内に形成され、流入ポート７１に連通する１次室６７および流出ポートに連通する２次室６８と、１次室と２次室とを連通する連通流路６９と、１次室側開口部７８ａの縁を弁座として、連通流路６９を１次室６７側から開閉する弁体７０と、弁体７０を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、受圧膜体７３と拮抗しつつ弁体７０を閉弁方向に付勢する弁体ばねと、を備え、弁体７０は、１次室６７に配設され弁座に対し直接開閉動作する弁体本体８１と、弁体本体８１を保持する保持部８２ａと、保持部８２ａから連通流路６９を挿通して延びる作動軸部８２ｂと、作動軸部８２ｂの先端に設けられ、受圧膜体７３に当接し、且つ平行に対面する当接板部８３と、を有している。 （もっと読む）

【課題】弁体を円滑に開閉動作させることができる圧力調整弁およびこれを備えた液滴吐出装置を提供することである。
【解決手段】機能液供給装置４１から１次室７５に供給された機能液を、弁体８４の開閉動作により圧力調整して２次室７６に供給し、２次室７６からインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１４に供給する圧力調整弁２７であって、弁体８４は、１次室７５に配設され弁座８３に対し直接開閉動作する弁体本体９４と、弁体本体９４を保持する保持部９７、および保持部９７から連通流路７８を同軸上に挿通して延び受圧膜体７３に当接する作動軸部９９から成る弁ホルダー９５と、を有し、作動軸部９９は、受圧膜体７３に向って先細りのテーパー形状に形成され、連通流路７８は、作動軸部９９に対し相補的形状に形成されているものである。 （もっと読む）

【課題】圧力調整弁を簡単且つ精度良く組み立てることができる圧力調整弁の組立方法およびこれに用いるバネセット治具を提供する。
【解決手段】圧力調整弁の液室に、コイルバネを起立状態で載置するバネ載置工程と、コイルバネが起立状態を維持するように、バネセット治具７０をリング状端面にセットする治具セット工程と、バネセット治具７０の上から受圧膜体１１および押えリング１３を重ねるようにセットする膜体・リングセット工程と、受圧膜体１１がコイルバネに当接するように、少なくとも２本の取付けネジ３７を仮締めして、押えリング１３および受圧膜体１１をリング状端面に仮固定するネジ仮締め工程と、リング状端面からバネセット治具７０を離脱させるセット治具取外し工程と、全ての取付けネジ３７を本締めして、押えリング１３および受圧膜体１１をリング状端面に固定するネジ本締め工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で圧力調整弁内のエアーを排出することができる圧力調整弁の初期充填方法等を提供する。
【解決手段】バルブハウジング６４内の１次室６７と２次室６８とを連通する連通流路に設けた弁体７０を、２次室６８の１の面を構成するダイヤフラムにより大気圧基準で開閉し、機能液供給手段から導入した機能液を、圧力調整して２次室６８から流出ポート８１を介して機能液滴吐出ヘッド２５に供給する圧力調整弁２７の初期充填方法であって、機能液滴吐出ヘッド２５に密接して１次室６７および２次室６８に機能液を吸引・充填する吸引充填手段を用い、圧力調整弁２７を、流出ポート８１が２次室６８の下部に位置する使用姿勢に維持して吸引を行う第１吸引工程Ｓ１と、第１吸引工程Ｓ１の後に流出ポート８１が２次室６８の上部に位置するエアー抜き姿勢に姿勢変更して吸引を行う第２吸引工程Ｓ２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】装置構造が簡単で且つ調整に多くの時間を必要としないようにする。
【解決手段】ケーシング１６、弁装置１７及び体積調整装置２８を備えてダイＤへ塗工液供給を断続的に行なうものである。弁装置１７は、ケーシング１６の分岐空間１６ａとダイ側空間１６ｂの境界に設けられた弁座１９と、ダイ側空間内に位置して弁座１９から離座する開弁端位置Ａから分岐空間へ向かう移動の途中で弁座１９に液漏れなく内嵌して閉弁状態のまま移動して至る閉弁端位置Ｂまでの間を進退自在に設けられた弁体２０と、弁体２０を開弁端位置Ａから閉弁端位置Ｂまでの間で開弁端位置Ａへ向かって前進又は閉弁端位置Ｂへ向かって後退させる弁体用操作装置２１とを備え、弁体２０が閉弁状態のまま閉弁端位置Ａから押出用前進できると共に閉弁端位置Ｂまで吸引用後退できるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】ポンプ部から駆動部への液体の浸入、パーティクルの容器内への落下、吐出精度の低下を防止でき、洗浄作業も容易に行うことができる液体吐出装置の提供。
【解決手段】液体吐出装置１はポンプ部３と駆動部２とを備える。駆動部２は、吐出口開閉バルブを駆動する吐出口開閉ロッドと、吐出部材を駆動する吐出用ロッドと、供給部開閉バルブを駆動する供給部開閉ロッドとを備える。各ロッドは、駆動部２に配置される第１ロッド５０，６０，７０と、ポンプ３に配置される第２ロッド１５０，１６０，１７０とを備える。第１ロッドおよび第２ロッド間はダイアフラム４０が配置され、ダイアフラム４０を挟んで配置された各第１ロッドおよび第２ロッドの少なくとも一方の端部には磁石が取り付けられ、各第１ロッドおよび第２ロッドは前記磁石の磁力によってダイアフラム４０を挟んで接合されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で圧力調整弁内のエアーを排出することができる圧力調整弁のエアー抜きシステム等を提供する。
【解決手段】バルブハウジング６４内の１次室６７と２次室６８とを連通する連通流路に設けた弁体を、２次室６８の１の面を構成するダイヤフラムにより大気圧基準で開閉し、機能液供給手段から１次室６７に導入した機能液を、圧力調整して２次室６８を介して機能液滴吐出ヘッド２５に重力供給すると共に、２次室６８のエアーを排出するエアー抜きポート８３を有する圧力調整弁２７と、エアー抜きポート８３に連通し、２次室６８のエアーを吸引により排出するエアー抜き手段と、機能液滴吐出ヘッド２５に密接して機能液供給手段から機能液を吸引して、１次室６７および２次室６８に機能液を初期充填する吸引充填手段と、を備え、エアー抜き手段は、弾性変形可能な袋状部材９３を有している。 （もっと読む）

【課題】液体が放出状態又は不放出状態に切り換わったことを簡便に確認でき、液体の間欠塗布を安定して精度良く行うことのできる液体塗布装置を提供すること。
【解決手段】液体塗布装置１は、圧縮エアの流路を開閉する電磁弁４と、電磁弁４からの圧縮エアにより弁体を移動させて搬送中の被塗布基材２に塗布される液体を放出状態又は不放出状態に切り換える液体塗布部５と、圧縮流体が電磁弁４から液体塗布部５へ向かう途中の流路の内圧を測定する圧力センサ６と、圧力センサ６からのオン信号を受信し該オン信号を分析するシーケンサ７と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で且つ容易にフィルターエレメントを着脱することができる。
【解決手段】雄形の流入コネクター７１が接合される雌形の流入口９２と、流入口９２の下流端に連なり流入経路９５に対し拡開した段部となる周縁当接部９４ａと、を有する圧力調整弁６７の流入ポート９１に、フィルターエレメント１３１を設置するフィルターエレメント１３１の設置構造であって、一対の固定用Ｏリング１３２,１３３によりフィルターエレメント１３１を挟持した状態で周縁当接部９４ａに着座させ、流入口９２に接合した流入ポート９１の先端面７１ａにより、一対の固定用Ｏリング１３２,１３３を介してフィルターエレメント１３１を押圧固定した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液体に対する濾過面積を大きくすることができると共に、簡単な構成で且つ容易に着脱することができるフィルターエレメントを提供することを課題としている。
【解決手段】通液した機能液の異物除去に用いるフィルターエレメント１３１であって、流入経路９５の周縁当接部９４ａに着座するフランジ部１３４と、フランジ部１３４に連なり、流入経路９５に臨むエレメント本体１３５と、を備え、エレメント本体１３５が、機能液の流れ方向に突出する形状を有している。 （もっと読む）

【課題】各容器内の液量が変化しても、常に一定の比率で２液を供給できるようにしながら、作業現場への装置の運搬性の良い２液硬化型樹脂供給装置を提供する。
【解決手段】２液硬化型樹脂の互いに異なる２種類の原料液を夫々各別に気密状態で収容自在な耐圧性の第１、第２容器１，２を設け、未硬化の２液硬化型樹脂を吐出自在なノズル装置３を設け、第１容器１の収容液排出部とノズル装置３とを接続する第１ホース４と、第２容器２の収容液排出部とノズル装置３とを接続する第２ホース５とを設け、第１容器１内の第１原料液と第２容器２内の第２原料液とを混合する混合部６を、ノズル装置３に設けて、第１容器１と第２容器２とに加圧ガスを供給自在なコンプレッサー７を設け、第１ホース４と第２ホース５とに夫々流量調整弁８を設けてある。 （もっと読む）

【課題】印刷物の大型化に伴い、複数のインクジェットヘッドを用いて印刷物を製造する場合、インクジェットヘッドのノズルからインクを吐出する際のインクの吐出量を一定にするためのインクジェットヘッドの洗浄方法とその方法を用いる洗浄手段を有するインクジェット印刷装置とを提供すること。
【解決手段】インク供給タンクと、前記インク供給タンクに接続されたマニホールド部より複数のインクジェットヘッドにインクを供給し、インクジェット印刷法にて記録画像を形成するインクジェット印刷装置において、ノズル洗浄でインクをインクジェットヘッドから押し出す際に、上記マニホールド部と各インクジェットヘッドとの間に開閉制御可能な弁を使用し、弁開閉のタイミングとスピードを制御する。 （もっと読む）