【課題】高粘度の塗布液を、無駄なく均一に基板上に塗布する。
【解決手段】レジスト塗布装置１の塗布ノズル３３は、その内部にレジスト液Ｒを貯留する貯留室６２が形成された本体部６０と、本体部６０の下面に形成され、レジスト液Ｒの表面張力によりその先端にレジスト液の液溜りを形成するスリット状の吐出口６１と、貯留室６２と吐出口６１とに連通するレジスト液流路６３と、を備え、レジスト塗布装置１は、塗布ノズル３３とウェハとを相対的に上下方向及び水平方向移動させる移動機構と、前記貯留室内部の圧力を調整する圧力調整機構７１と、を有している。圧力調整機構７１は、塗布ノズル３３とウェハとを相対的に移動させてウェハにレジスト液Ｒを塗布する間、吐出口６１からのレジスト液Ｒの吐出量が一定となるように、貯留室６２内部の圧力を調整し、且つ負圧に維持する。 （もっと読む）

【課題】可撓膜の影響を抑え、圧力緩衝部の性能を維持したまま、圧力緩衝部を小型化する。
【解決手段】複数のノズルが配置された記録ヘッドに連通する液体供給流路と、前記液体供給流路に設けられ、液体に所定の圧力を付与する液体圧力付与手段と、前記液体供給流路の途中に設けられた圧力緩衝部であって、前記液体供給流路を流れる液体を流出入させる供給口及び排出口を有する液体室と、前記液体室と可撓膜を挟んで対設された気体室と、を含んで構成される圧力緩衝部とを備え、前記可撓膜は、予め初期撓みが与えられている液体供給装置によって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】材料の供給状態を正確に調整して高精度に膜圧形状を制御することが可能な塗布装置及び塗布方法の提供。
【解決手段】実施形態の塗布装置は、塗布対象物に材料を吐出して塗布するノズルと、前記ノズルに供給される材料を貯留する貯留部と、前記貯留部と前記ノズルとを連通する流路と、前記流路の開閉状態を切り替える吐出用ダイヤフラムバルブと、前記流路に接続され前記流路における材料の流量を調整するとともに、そのサックバック量が調節可能なサックバック部と、を有する吐出弁と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗液の脈動による塗膜の膜厚ばらつきを低減させる。
【解決手段】塗液を供給する塗液供給ポンプ２と、基材に塗工するコーティングヘッド７と、塗液供給ポンプ２からコーティングヘッド７までを接続するメイン配管３と、メイン配管３に設けられた間欠塗工に使用できる塗液流路切替えバルブ４とを有した塗工装置１００において、塗液供給ポンプ２から塗液流路切替えバルブ４までの間に、一時的に塗液を蓄えることのできるアキュムレータ５を設け、さらにこのアキュムレータ５のガス空間領域の上端の位置が、コーティングヘッド７の吐出口の位置よりも高い位置となるように、アキュムレータ５を配置することで、配管圧力の経時変化にも耐え、塗液供給ポンプ２から発生する吐出脈動による膜厚ばらつきを低減させる。 （もっと読む）

【課題】塗料貯留タンクの内壁面への乾燥皮膜の形成を防いで異物の発生を防止すると共に、塗料の濃度変動を抑えることにより、揮発性の有機溶剤を含む塗料を、長期間に渡り安定して貯留する塗料貯留システムおよび貯留方法を提供することを課題とする。
【解決手段】揮発性の有機溶剤を含む塗料を貯留する気密性の構造を有する塗料貯留タンクと、前記有機溶剤と同じあるいは同等の成分を含有した有機溶剤を貯蔵した気密性の構造を有する有機溶剤貯槽と、前記有機溶剤貯槽内の有機溶剤にバブリングさせたガスを、前記塗料貯留タンクの頂部へ供給するガス供給配管と、を備えることを特徴とする塗料貯留システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】線塗布及び点塗布のどちらの塗布でも精度良く塗布を行う。
【解決手段】ペースト吐出装置４は、上端が開口する断面円形の液室１２ａ及びこの液室１２ａ内のペーストを吐出するノズルＮを有する本体１２と、液室１２ａに供給するペーストを貯留するシリンジ１１と、そのシリンジ１１内に加圧気体を供給する気体供給部１１ａとを備える。本体１２は、回転駆動によってペーストをノズルＮへと送るスクリュー１３を液室１２ａ内に着脱可能に構成されると共に、そのスクリュー１３を離脱させた状態において液室１２ａの開口を塞ぐ蓋部材を着脱可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】基材の幅方向において均一な塗工厚さで塗工液を塗工できる塗工装置を提供する。
【解決手段】前後ヘッド部１６，１８とバー支持部１４の間に幅方向に沿ってそれぞれ形成され、かつ、前後液溜部３２，４２から上部まで延びたスリット状の前後一対の前後流出路３４，４４を有し、前後流出路３４，４４が、下流出路３６，４６と上流出路３８，４８とから形成され、下流出路３６，４６の間隙が、上流出路３８，４８よりも狭い。 （もっと読む）

【課題】粘度変化が生じる液体材料を高精度に塗布すること。
【解決手段】液体材料を吐出するノズル６と、液体材料をノズル６から吐出するためのポンプと、液体材料が通過する経路における液体材料の粘度を算出するための熱式流量センサ９と、算出した粘度に基づいて液体材料をノズル６から吐出させるための吐出圧力を設定し、設定された吐出圧力に基づいてポンプを制御するメインコントローラ８と、を備えた塗布装置であって、液体材料の粘度変化に合わせ、吐出圧力を調整することにより、高精度な塗布が実現可能となる。 （もっと読む）

【課題】ホースやチューブ等の液送管手段と収容容器や加圧タンク等との接続部における空気の侵入を阻止した塗布装置を提供する。
【解決手段】開閉可能な蓋体２２ｂを備えた加圧タンク２２ａと、加圧タンク内に圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段と、該加圧タンク内に設置されたプラスチック容器１０と、該プラスチック容器の広口開口部１４に先端開口部が連通する液送管手段２０と、該液送管手段の後端開口部に接続された塗布ノズル手段と、を含み、プラスチック容器は、柔軟性を有するプラスチック容器本体１２と、広口開口部に取付けられた長尺状流路部材１８と、を有する塗布装置であって、プラスチック容器本体の広口開口部に該長尺状流路部材の上端取付け部２４を嵌着し、密封連通手段７０を介して、液送管手段を該上端取付け部の液吐出口に密封状態で連通した。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式を用いて高粘度の機能性液を高周波で連続吐出させる際のロバスト性が維持された好ましい液体吐出が実現される、機能性液体吐出装置及び機能性液体吐出方法並びにインプリントシステムを提供する。
【解決手段】５mPa・s以上２０mPa・s以下の粘度の光硬化性樹脂液体を基板上に吐出させるノズル(23)を具備し、圧力室(32)内部の液体を加圧する圧電素子(38)が設けられたヘッド(24)と、基板を搬送させる搬送部と、を備え、圧力室を静定状態から膨張させる引き波形及び膨張させた圧力室を収縮させる押し波形を有し、光硬化性樹脂液体の粘度ηとヘッドの共振周期Ｔ_ｃとの関係が、（２／Ｔ_ｃ）≦γ_１≦（η／１０）、γ_２≦γ_１を満たす引き波形の傾きγ_１、押し波形の傾きγ_２を有する駆動電圧を生成し、該駆動電圧を用いてヘッドから基板上に光硬化性樹脂液体を吐出させる。 （もっと読む）

【課題】液体吐出部と液体貯留部間を循環して供給される液体に混入した気泡を排出し、かつフィルタの目詰まりや液圧異常などの検出を簡易な構成で実現可能な液体吐出装置を提供する。
【解決手段】圧力検出部６は、インクの流路に接続された圧力室６ｃにインクを供給する圧力室インク供給部６ｄが当該圧力室６ｃからインクを送出する圧力室インク送出部６ｅより重力方向下方に配置されている。 （もっと読む）

【課題】枚葉処理される基板間の処理時間間隔を短縮し、生産効率を向上することのできる基板処理装置及び処理液供給方法を提供する。
【解決手段】制御手段１０はノズル１１の吐出口１１ａからプライミングローラ３５に所定量の処理液Ｒを吐出させ、プライミング処理部３６により前記プライミングローラ３５を回転させて吐出口１１ａに付着しているレジスト液を整える一方、ポンプ２２に、吸入管２１を介して処理液供給源２０から処理液を吸入させる。 （もっと読む）

【課題】一定の張りで受圧膜体を取り付けることができる膜体伸張治具およびこれを用いた圧力調整弁の組立方法を提供することである。
【解決手段】バルブケーシング１１に位置決め状態で装着される治具ベース７４と、治具ベース７４に対し、径方向にスライド自在に装着され、押えリングからはみ出した受圧膜体１６の周縁部の不要部分を、少なくとも３箇所で把持する３つ以上の把持ブロック７５と、治具ベース７４に設けられ、３つ以上の把持ブロック７３を同時に外方に移動させるブロック移動機構７６と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】受圧膜体を簡単に且つ精度良く位置決めすることができる位置決め冶具およびこれを用いた圧力調整弁の組立方法を提供することである。
【解決手段】圧力調整弁の組立てに用いられ、受圧膜体１６の膜体固定部への固定に先立って、受圧膜体１６を連通流路と同軸上に位置決めする位置決め治具５２であって、１次室側から連通流路に挿入されると共に、受圧膜体１６の突部３７が嵌合する嵌合穴を有する位置決め突起５７と、位置決め突起５７が取り付けられると共に、バルブケーシング１１の１次室側に位置決めされる取付プレート５５と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ノズルからの塗布液の吐出開始および終了を明確に区切りつつも、簡素な構造の塗布装置および該塗布装置を組み込んだ塗布膜形成システムを提供する。
【解決手段】閉止バルブ２０の弁体４０の移動方向と垂直なシリンダ３０の流路端面に入側開口３３を形成するとともに、その移動方向と平行なシリンダ３０の側面に出側開口３６を形成する。閉止バルブ２０の閉止時には出側開口３６が形成された流路端面に弁体４０が接触するとともに、閉止時以外ではシリンダ３０の流路端面および側面のいずれとも弁体４０が非接触である。塗布ノズルからの塗布液の吐出を停止すべく弁体４０がシリンダ３０内にて前進すると、弁体４０が流路端面に当接して入側開口３３を閉塞するに至る過程で出側開口３６に負圧が作用する。これにより、シリンダ３０の出側開口３６から塗布ノズルに至るまでの流路に存在している塗布液がシリンダ３０に向けて吸引される。 （もっと読む）

【課題】水頭圧を安定させ、吐出されるインク量の変化を抑制し、優れた印刷品質を得ることが可能な液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド９と、前記液滴吐出ヘッドに供給する前記機能液を貯留する貯留部２０と、前記液滴吐出ヘッドと前記貯留部とを同時に走査方向に移動させる移動手段１５と、前記移動手段の動作を制御する制御装置を備え、前記制御装置は、前記液滴吐出ヘッドと前記貯留部とを移動させる前に、前記液滴吐出ヘッドと前記貯留部の移動に伴って前記貯留部内の前記機能液に付与される圧力変化を抑制する圧力変化を前記貯留部内の前記機能液に付与させる。 （もっと読む）

【課題】グラビアロールに付着した空気と、密閉チャンバー内の塗工液とを適正に置換してグラビアロールに対する塗工液の塗布性を効果的に向上させることができる。
【解決手段】基材に塗工液を転写するグラビアロール２と、該グラビアロール２に塗工液を塗布する密閉チャンバー７を有する塗工ユニット３と、密閉チャンバー７の塗工液溜まり６内に塗工液を供給する塗工液供給手段４，５とを備えたグラビア塗工装置であって、上記密閉チャンバー７には、塗工液溜まり６のグラビアロール回転方向下流側部をシールするとともに、上記グラビアロール２に付着した余分な塗工液を除去するドクターブレード８と、上記塗工液溜まり７のグラビアロール回転方向上流側部をシールするシールプレート９と、該シールプレート９と上記ドクターブレード８との間において先端部が上記グラビアロール２の周面に常時当接するように設置されたインナー部材１０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】分散系や高粘度等の種々の組成系に対応可能なディスペンス装置であり、所望の領域に均一な厚みを一括形成できるので、例えば微生物培養シートの培養層の形成に好適に使用できる。
【解決手段】ディスペンス装置１００は、ディスペンス液３５を供給するディスペンス液供給手段１１０と、該ディスペンス液供給手段１１０に接続され末端に多孔ノズル１２５を有するディスペンス部１２０と、該ディスペンス部１２０を基材シート１０の面に対して上下方向に移動可能なＺ方向可動手段１３０とを備える。ディスペンス部１２０が下方移動後に多孔ノズル１２５と基材シート１０の面との間に所定のクリアランスを有する位置で停止し、所定時間保持した後、上方へ移動するようにＺ方向可動手段１３０を制御する可動制御手段１６０と、停止中に所定量のディスペンス液３５の吐出を行うようにディスペンス液供給手段１１０を制御する吐出制御手段１１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】塗装ブース流路内の塗料の圧力変動を防止できる塗料供給システムの提供。
【解決手段】塗料供給システムＢは、ポンプ吐出側１１からブース流路入口側２１へ至る塗料往路３と、塗装フィルタ３０上流側の塗料送り圧を検出する送圧センサｓ３と、背圧弁４４と塗料タンク４２とを介設し、ブース流路出口側２２からポンプ吸入側１２へ至る塗料還路４と、背圧弁４４へのエア圧を切り替える高圧・低圧切替電磁弁４５、４６と、送圧センサｓ３が検出する塗料送り圧が目標送り圧となる様に電動プランジャーポンプ１をＰＩＤ制御するとともに、目標送り圧に基づいて高圧・低圧切替電磁弁４５、４６を高圧または低圧に設定する塗料供給制御器５とを備える。ブースでの塗料消費中における追従性が良いので塗装ブース流路２内の塗料の圧力変動を防止できる。 （もっと読む）

【課題】薬液の補充開始時の過剰圧力変動を抑制してフィルタの濾過速度を制御し、濾過精度の維持を図れるようにすること。
【解決手段】薬液ポンプ５０の一次側開閉弁Ｖ１及び二次側開閉弁Ｖ２の開閉動作及び薬液ポンプの給排動作により、薬液ボトル１３より供給される薬液をフィルタ４６にて濾過した後、吐出ノズル４３より吐出する薬液供給システムにおいて、薬液ポンプの作動室５３に連通する管路５６に、圧力センサ５９、フローメータ５７及び電空レギュレータ５８を備えると共に、電空レギュレータを制御する制御部６０を備え、圧力センサは、薬液ポンプへの薬液の補充開始時に、一次側開閉弁を開放した際の作動室側の圧力を検出し、作動室から排気された排気流量をフローメータにより検出し、制御部は、検出された圧力と排気流量に基づいて、薬液の補充開始時に過剰圧力変動を起こさせないように電空レギュレータを制御して排気圧を調整する。 （もっと読む）