【課題】装置構成が複雑となることなく基体を拭取る拭取り部材を清浄に保ち、塗膜を効率的に除去すること。
【解決手段】本発明の塗膜除去装置１は、昇降機構２９による基体２５の降下により拭取り装置３６の力点部３８が押下されることにより、溶剤４０に浸漬されている拭取り部材２７を上昇させて、少なくともその一部を液面より露呈させて、該拭取り部材２７を基体２５の下端部および下端部の内外面に接触させる拭取り部材昇降機構４４により該拭取り部材２７が基体２５の下端部および下端部の内外面に接触された状態で、回転機構３０にて拭取り部材２７と基体２５とが相対的に回転されることで塗膜を除去する。 （もっと読む）

【課題】塗料詰まりを無くすこと。
【解決手段】塗料タンク２を加圧して塗装ガン４まで塗料を圧送して塗装を行い、塗装を終えると塗料の流路に洗浄液と圧縮気体を交互に流して洗浄することとした。
これにより、塗料の供給配管中にポンプを介在させないので、ポンプの塗料詰まりを防ぐことができる。その上、洗浄液だけの洗浄では沈殿物が配管内に残り、圧縮気体だけの洗浄では配管内の塗料が乾いて残る恐れがあるところ、洗浄液と圧縮気体を交互に流すことにより、配管内の沈殿物や乾いた付着物を十分に洗浄し、詰まりを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】液滴が衝突する基板内の衝突位置での膜厚のばらつきを低減することにより、処理の均一性を向上させること。
【解決手段】洗浄ノズル５は、複数の噴射口３１が形成された噴射部６と、吐出口３６が形成された吐出部７とを含む。複数の噴射口３１は、複数の液滴がそれぞれ基板Ｗ内の複数の衝突位置Ｐ１に衝突するように形成されている。吐出口３６は、各衝突位置Ｐ１からの距離Ｄが等しい基板Ｗ内の着液位置Ｐ２に保護液が着液するように形成されている。洗浄ノズル５は、吐出口３６から吐出された保護液の液膜によって覆われている基板Ｗに複数の噴射口３１から噴射された複数の液滴を衝突させる。 （もっと読む）

【課題】ノズルと基板表面の距離（ギャップ）を精度良く制御することを可能とする。
【解決手段】実施形態にかかる塗布方法は、測定により、基準となるノズルの位置情報である基準情報を検出し、前記基準情報測定の後に、前記ノズルを洗浄し、前記洗浄後に、測定により、前記ノズルの位置情報である実測情報を検出し、前記実測情報、及び前記基準情報の変化量から、ノズルの位置変化量を検出し、前記ノズルの位置変化量が、予め設定されたノズルの許容変化量の範囲内である場合には、前記実測情報を対象情報とし、この対象情報に基づいて前記ノズルの位置調整を行って、塗布対象物に塗布材料を供給し、前記ノズルの位置変化量が、前記許容変化量の範囲外である場合には、再度、前記ノズルを洗浄し、その後、前記塗布対象物に、前記塗布材料を供給することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ノズルを十分清浄に洗浄でき、かつ、そのメンテナンスが容易なノズル洗浄装置および該ノズル洗浄装置を備えた塗布装置を提供する。
【解決手段】 洗浄機構６０は、超音波振動子１５を収納するとともに、この超音波振動子１５を冷却するための冷却水１３を貯留する冷却水貯留部１１を備える。また、洗浄機構６０は、冷却水貯留部１１に貯留された冷却水１３中にその下面が浸漬された状態で配設され、その内部に溶液１４を貯留する溶液貯留部１２を備える。スリットノズル４１を溶液１４中に浸漬した状態で超音波振動子１５が超音波振動を発振した場合には、この超音波振動は、冷却水１３および溶液貯留部１２を介して溶液１４に伝達される。 （もっと読む）

【課題】スリットコータのスリット部を清掃する能力を一層向上することができる清掃具及び清掃装置を提供すること。
【解決手段】被塗布面Ｋａ上に塗工液を塗布するスリットコータ１のスリット部２４を清掃する清掃具７であって、スリット部２４に挿入され、スリット部２４を構成する一対の壁部２４１，２４１に付着した塗工液を清掃する清掃部材７３と、一対の壁部２４１，２４１の少なくとも一方に向けて清掃部材７３を付勢する付勢部７４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】幅方向に長く先端で開口しているスリット７が内部に形成されている口金３において、従来では振動波（振動波に基づくキャビテーション）の伝播が充分にされず残っていた固着物を、浮かび上がらせることが可能となり、短時間で所望の洗浄結果を得る。
【解決手段】洗浄槽１１内の振動波を与えた洗浄液Ｌに口金先端９を浸漬させ、スリット７を通じて当該洗浄液Ｌを口金内部へ流入させる。この状態から、スリット７を通じて口金内部に気体を、スリット７の幅方向全長にわたって、流入させる。この後、口金先端９を洗浄槽１１内の振動波を与えた洗浄液Ｌに浸漬させ、スリット７を通じて当該洗浄液Ｌを口金内部へ流入させる。 （もっと読む）

【課題】塗布動作を行う際に塗布液がミスト状に飛散する場合がある。ミスト状に飛散した塗布液が装置内部のうち基板以外の部分に付着すると、装置を汚してしまうという問題があるので、装置内の環境を清浄化する。
【解決手段】基板収容装置ＡＣＭは、基板Ｓを保持する基板保持部１０と、前記基板保持部１０に保持された状態の前記基板Ｓを囲うカップ部２０と、前記基板Ｓと前記カップ部２０との間に異物を回収する回収液を供給する回収液供給部３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】液処理装置の大型化の抑制、ノズルの洗浄効率の向上を図れるようにする。
【解決手段】漏斗部６５を有する洗浄室６２と、洗浄室の漏斗部に溶剤を供給する第１の溶剤供給手段７１と、洗浄室の漏斗部の上部側に溶剤を供給する第２の溶剤供給手段７２と、ノズルを、洗浄室と基板に対して処理液を吐出する位置との間で移動させる移動手段４４，４６と、第１及び第２の溶剤供給手段、及び移動手段を制御するコントローラ１００と、を具備する。ノズルが洗浄室内に収容された際、第１の溶剤供給手段から洗浄室内に溶剤を供給し、溶剤の渦流を形成してノズルを洗浄し、第２の溶剤供給手段から洗浄室内に供給し、洗浄室内に溶剤の液溜りを形成してノズルを洗浄する。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化の抑制、ノズルの洗浄効率の向上及び処理液の乾燥防止を確実に行えるようにする。
【解決手段】漏斗部６５を有する洗浄室６２と、漏斗部に溶剤を供給する第１の溶剤供給手段７１と、漏斗部の上部側に溶剤を供給する第２の溶剤供給手段７２と、ノズル吸引手段と、ノズルの先端部の周囲に位置する漏斗部の内周面の下端がノズルの先端部よりも上方に位置する洗浄室内の位置と、基板に対して処理液を吐出する位置と、の間でノズルを移動させるノズル移動手段４４，４６と、第１，第２の溶剤供給手段、吸引手段及び移動手段を制御するコントローラ１００と、を具備する。第１の溶剤供給手段から洗浄室内に溶剤を供給し、溶剤の渦流を形成してノズルを洗浄し、第２の溶剤供給手段から洗浄室内に供給し、洗浄室内に溶剤の液溜りを形成し、吸引手段によりノズルを吸引して、ノズルの先端内部に処理液層と空気層と処理液の溶剤層とを形成する。 （もっと読む）

【課題】空気浮上搬送方式に好適なスリット状開口部の清浄化機構を備えたスリットコート塗布装置を提供することを課題とした。
【解決手段】エアー噴出装置から噴出するエアーによって浮上した状態でスライダーにより所定方向に移動する基板に対し、スリット状開口部から塗布液を吐出して基板上に塗布層を形成する基板浮上型搬送機構用スリットコート式塗布装置であって、前記塗布装置は、少なくとも、スリット状の開口部を備える塗布ヘッドと、前記塗布ヘッドを略上下方向に移動させる塗布ヘッド移動機構と、前記エアー噴出装置から噴出するエアーによって浮上した状態でスライダーにより所定方向に移動する拭き取り機構と、を備え、前記拭き取り機構は、ゴムパッドがスリット状の開口部に当接したまま開口部に沿って移動することでスリット状開口部を洗浄する機構である。 （もっと読む）

【課題】ノズルから吐出される液体の温度を目標温度に近づけるようにして、印刷画質を安定させる。
【解決手段】本発明に係る液体吐出装置は、液体を吐出するノズルを有するヘッド部と、前記ヘッド部に設けられ、温度を検出するための温度センサーと、前記ヘッド部に供給される液体を予め目標温度の範囲内に加熱する加熱部と、前記温度センサーの検出温度が前記目標温度の範囲外となったときに、前記ノズルから液体を吐出してフラッシングを行うフラッシング動作を前記ヘッド部に実行させた後、前記ノズルから液体を吐出して印刷を行う印刷動作を前記ヘッド部に実行させるコントローラーと、を有する。 （もっと読む）

【課題】インク等の記録液を吐出するヘッドのクリーニングを、ヘッドに当接するブレード等の部材を用いることなく行うとともに、ヘッドのクリーニングの進捗状況を簡易に判断することを可能としたヘッドクリーニング装置及びこのヘッドクリーニング装置を備えヘッドから吐出された記録液によって画像形成を行うインクジェット方式の画像形成装置の提供。
【解決手段】記録液を吐出するノズルを備えたノズル部材を有するヘッド６１Ｙ、６１Ｍ、６１Ｃ、６１ＢＫ（以下、ヘッド６１）に対向した状態でヘッド６１から吐出された記録液を付与される部材３７と、ノズル部材と部材３７との間に電圧を印加する電圧印加手段３３と、電圧印加手段３３によってノズル部材と部材３７との間に電圧を印加した状態での通電状況に基づいてノズル部材のクリーニングの進捗状況を判断するクリーニング判断手段４０とを用いる。 （もっと読む）

【課題】ノズルの清掃作業を効率的に行うこと。
【解決手段】基板に対して液状体を吐出するスリット開口が先端部に形成されたノズルを有する塗布部と、前記基板と前記ノズルとが相対的に移動するように前記基板及び前記ノズルのうち少なくとも一方を駆動する駆動部と、前記スリット開口に挿入可能に形成された清掃部材と、前記清掃部材を前記スリット開口の長手方向に移動させる清掃部材駆動部とを備える。 （もっと読む）

【課題】洗浄時に洗浄液が環状フレーム押さえに当たってウエーハ上面に飛散することのない保護膜塗布装置を提供することである。
【解決手段】環状フレーム押さえ手段４９は、強磁性体からなる錘部９２と、錘部に連結され環状フレームを抑える爪部９４とを含む振り子体９０と、スピンナテーブルの外周部に配設されて振り子体を回動可能に支持する支持部８８と、爪部が環状フレームを押さえる押さえ位置と爪部が環状フレームを解放する解放位置との間で回動可能なように振り子体を支持部に回動可能に取り付ける振り子軸９５と、錘部に対面して支持部に固定され、爪部が解放位置に位置付けられた状態で錘部を所定の磁力で固定する永久磁石からなる錘固定部９６とを有する。スピンナテーブルの回転速度が所定速度以下の時には、永久磁石の磁力が振り子体の遠心力に打ち勝って錘固定部が錘部を固定することにより爪部が解放位置に位置付けられる。 （もっと読む）

【課題】２つのノズルを用いることによって基板の塗布処理にかかるタクトタイムを向上し、且つ、かかるコストを抑制する。
【解決手段】基板搬送方向に沿って前後に配された第１のノズル１６と第２のノズル１７とを保持するノズル保持手段１２と、前記ノズル保持手段を基板搬送方向に沿って移動させるノズル移動手段１１と、前記第１のノズル及び前記第２のノズルの駆動制御と前記ノズル移動手段の駆動制御とを行う制御手段４０とを備え、前記制御手段は、前記第１のノズルと前記第２のノズルが基板搬送路上の同一の塗布位置に配置されるよう前記ノズル移動手段を制御し、該ノズル移動手段により前記ノズル保持手段を移動させ、前記同一の塗布位置に配置された前記第１のノズルと第２のノズルのいずれか一のノズルにより前記基板に処理液を吐出させるよう制御する。 （もっと読む）

【課題】所期のクリーニング動作を行うことが可能なメンテナンス方法及び液体噴射装置を提供すること。
【解決手段】液体貯留部が交換された後、ノズルから液体を吐出させる信号が入力された場合に、第１のクリーニングを実行したか否かを判定し、第１のクリーニングを実行したと判定した場合には信号に基づきノズルから液体を吐出させ、第１のクリーニングを実行していないと判定した場合には第１のクリーニングを実行した後、信号に基づきノズルから液体を吐出させることとしたので、定期クリーニングに用いられる液体が不足するのを回避することができる。これにより、所期のクリーニング動作を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】記録品質の低下を抑制しつつ、液体の消費量を低減させることができる液体噴射装置、メンテナンス方法を提供する。
【解決手段】インクを貯留するリザーバー４４と複数のノズル２３を有し、各ノズル２３とリザーバー４４が流出孔４７及びキャビティ４８を介して連通する液体噴射ヘッド１８と、液体噴射ヘッド１８に当接可能なキャップ５０と、キャップ５０内を吸引する吸引ポンプ５３と、吸引ポンプ５３がキャップ５０内を吸引してからの経過時間を計時するタイマー６２と、排出インクがノズル２３からリザーバー４４内に流入した場合において流入した排出インクをリザーバー４４内のインク中に拡散させるのに必要な拡散時間を記憶する記憶部６１と、タイマー６２が計時した経過時間が記憶部６１に記憶されている拡散時間よりも長いと判断した場合に、各ノズル２３から排出インクが拡散したインクを噴射させる制御部６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】所期のクリーニング動作を行うことが可能なメンテナンス方法及び液体噴射装置を提供すること。
【解決手段】第１のクリーニングとは異なる第２のクリーニングの実行を指示する第１の信号が液体噴射装置に入力された場合に、液体貯留部に貯留されている液体の量が所定量以上か否かを判定し、所定量以上であると判定した場合に第１のクリーニングを実行したか否かを判定し、第１のクリーニングを実行したと判定した場合には第１の信号に基づき第２のクリーニングを実行し、第１のクリーニングを実行していないと判定した場合には第２のクリーニングに代えて第１のクリーニングを実行することとしたので、第１のクリーニングに用いられる液体が不足するのを回避することができる。これにより、所期のクリーニング動作を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッドの吐出面のワイピングをウエットワイピングとして、所定の吐出面のクリーニング性能が維持されるとともに、所定の吐出面の耐久性が維持される、ワイピングユニット、メンテナンス装置、液体吐出装置及びワイピング方法を提供する。
【解決手段】 インクジェットヘッド(41)のノズル面(51A)に接触させて液体吐出面を拭き取るウエブ(62)と、ウエブを液体吐出面に対して移動させる手段と、ウエブの移動経路の液体吐出面とウエブとの接触位置よりも上流側に配設され、移動させているウエブに洗浄液を噴霧する洗浄液噴霧ヘッドと、洗浄液噴霧ヘッドにより洗浄液が噴霧されたウエブにおける洗浄液の塗りむらを検知する第１温度センサ(94)及び第２温度センサ(96)と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）