【課題】ノズルと基板表面の距離（ギャップ）を精度良く制御することを可能とする。
【解決手段】実施形態にかかる塗布方法は、測定により、基準となるノズルの位置情報である基準情報を検出し、前記基準情報測定の後に、前記ノズルを洗浄し、前記洗浄後に、測定により、前記ノズルの位置情報である実測情報を検出し、前記実測情報、及び前記基準情報の変化量から、ノズルの位置変化量を検出し、前記ノズルの位置変化量が、予め設定されたノズルの許容変化量の範囲内である場合には、前記実測情報を対象情報とし、この対象情報に基づいて前記ノズルの位置調整を行って、塗布対象物に塗布材料を供給し、前記ノズルの位置変化量が、前記許容変化量の範囲外である場合には、再度、前記ノズルを洗浄し、その後、前記塗布対象物に、前記塗布材料を供給することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 重量が大きく反りが大きい基板に対して塗布液を塗布する場合においても、装置コストを増大させることなく、短い処理時間で精度よく塗布液を塗布することが可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】 基板は、基板搬送機構１４によりステージ１２上に搬送されて、その保持面３０に吸着保持される。そして、ステージ１２上に吸着保持された基板の表面に、スリットノズル４１における塗布液吐出用スリットを近接させた状態で、スリットノズル４１を基板に対して移動させることにより、基板の表面に塗布液を塗布する。しかる後、塗布液が塗布された基板は、基板搬送機構１５によりステージ上から搬出される。 （もっと読む）

【課題】搬器に付着した塗料に起因するワークの塗装不良の発生を防止しながら、ワークが搭載される搬器の個数の削減および設備の小型化により、設備のコストおよび設置コストを削減する搬送設備を提供する。
【解決手段】塗装ライン１の搬送設備１００は、塗装工程において自動車ボディＷが搭載されている塗装用搬器Ｃ１を搬送する塗装用コンベヤ１１１と、乾燥工程において、塗装工程で塗装された塗装済みボディＷ１が搭載された乾燥用搬器Ｃ２を搬送する乾燥用コンベヤ１１４と、搬器洗浄工程において、塗装工程での塗料が付着している塗装用搬器Ｃ１である塗料付着搬器Ｃｂの洗浄が行われる塗料付着搬器Ｃｂを搬送し、洗浄が完了した洗浄済み搬器Ｃ３を乾燥用コンベヤ１１４まで搬送する搬器洗浄用コンベヤ１１３とを備える。乾燥用搬器Ｃ２は洗浄済み搬器Ｃ３である。 （もっと読む）

【課題】生産効率の向上を図りつつ、基板の破損を抑制することが可能となる。
【解決手段】基板Ｗの各主面Ｓ1、Ｓ2へのパターン形成を並行して実行することで、生産効率の向上が図られている。しかも、ディスペンサー３、４、５、６それぞれは、基板Ｗに対して非接触で対向するノズル３１、４１、５１、６１から塗布液を吐出することで、基板Ｗにパターンを形成する。これによって、パターン形成の際に基板Ｗに加わる圧力を小さく抑えることができる。こうして、生産効率の向上を図りつつ、基板の破損を抑制することが可能となっている。 （もっと読む）

【課題】網部材の目詰まりを確実に防ぐことができる粉体散布装置を提供する。
【解決手段】粉体散布装置１５は、所定形状のセラミックグリーンシートを搬送する搬送装置の上方に配置され、セラミックグリーンシートの表面に焼成時のスペーサシートとの接合を抑制する粉体を散布する。粉体散布装置１５は、底部開口２ｂに網部材４が取り付けられたホッパー２と、ホッパー２を振動させる振動機３と、ホッパー２内に網部材４と接するように配設された回転体５と、回転体５を網部材４に擦らせながら回転させる駆動手段６とを備えている。回転体５は、例えばブラシローラである。 （もっと読む）

【課題】 光学シートの背面にドットパターン印刷を施す際に、印刷面におけるスジの発生を抑制することにより、光学シートを用いた製品の品質向上を図ることができる光学シートの製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】 導光板を製造する際のドットパターン印刷において、インクジェットノズル５１から導光板の原板６０に対してインクを噴射する。このとき、原板６０の非印刷面を吸引吸着して反りを排除し、ジェットノズル５１と原板６０との距離であるギャップ距離Ｄが２．８ｍｍ以下に調整されている。 （もっと読む）

【課題】塗布ロボットを使った液剤塗布において、生産稼働率を上げるための搬送システムを提供する。
【解決手段】液剤塗布に関連する塗布関連ヘッド部７をＸ方向に搭載させ駆動するＸ駆動部９と、それに直交方向に移動させるＹ軸駆動部１１があり、Ｙ軸駆動部にはＸ軸駆動部１０を搭載させ位置決めを行う。Ｙ軸駆動部の下方には、Ｘ軸方向と平行に塗布部材１２を搬送する搬送レーン１，２があり、片方の搬送レーンで液剤塗布等を行っている間に、他の搬送レーンでは塗布部材を搬送位置決めさせておき、塗布関連ヘッド部は搬送レーン間を移動し塗布する。また塗布ロボット５は、定ピッチで柔軟な生産に対応できるように連結可能としている。 （もっと読む）

【課題】空気浮上搬送方式に好適なスリット状開口部の清浄化機構を備えたスリットコート塗布装置を提供することを課題とした。
【解決手段】エアー噴出装置から噴出するエアーによって浮上した状態でスライダーにより所定方向に移動する基板に対し、スリット状開口部から塗布液を吐出して基板上に塗布層を形成する基板浮上型搬送機構用スリットコート式塗布装置であって、前記塗布装置は、少なくとも、スリット状の開口部を備える塗布ヘッドと、前記塗布ヘッドを略上下方向に移動させる塗布ヘッド移動機構と、前記エアー噴出装置から噴出するエアーによって浮上した状態でスライダーにより所定方向に移動する拭き取り機構と、を備え、前記拭き取り機構は、ゴムパッドがスリット状の開口部に当接したまま開口部に沿って移動することでスリット状開口部を洗浄する機構である。 （もっと読む）

【課題】基板の姿勢を安定に保ちつつ浮上搬送のゆらぎやうねりを補償して塗布膜の膜厚均一性を改善する。
【解決手段】このレジスト塗布装置では、浮上ステージ上で基板の左右両側の縁部を保持する各吸着パッド４２から見てパッド支持部材４０の反対側つまり外側の面に、各吸着パッド４２と同じ形状および同じ材質を有する被測定部材としてのダミーパッド４６を同じ高さ位置に取り付けている。そして、搬送方向（Ｘ方向）においてレジストノズル１８の吐出口１８ａ付近に監視点が設けられ、この監視点を通過する吸着パッド４２の吸着面高さ位置のプロファイルを光学的に監視するための監視部４８が備えられている。 （もっと読む）

【課題】成膜装置のメンテナンスの頻度を低減するとともに成膜材料の利用効率を向上することにより成膜コストの低減を図りつつ、高品質の膜を成膜する。
【解決手段】微粒子化した成膜材料１６０を基板２００上に堆積させて成膜する成膜装置１００である。筐体１５０と、筐体１５０内に成膜材料１６０を微粒子化した成膜ガスを噴霧する噴霧機構と、成膜材料１６０が筐体１５０の壁面の所定箇所に付着しないようにこの所定箇所の近傍に電界を生成させる電界生成機構とを備えている。 （もっと読む）

【課題】浮上ステージにおいて分割ステージブロックの境界（繋ぎ目）にできる段差の許容度を大きくして浮上面の高さ位置調整作業を簡便に短時間で行えるようにする。
【解決手段】浮上ステージ１０において、左端の搬入用ステージブロックＳＢ_Aには、専ら噴出口１２を多数配設した第１のラフ浮上領域Ｍ_INが搭載される。真ん中のステージブロックＳＢ_Bには、搬送方向（Ｘ方向）の両端部に専ら噴出口１２を多数配設した突き上げ浮上領域Ｍ_P，Ｍ_Qが局所的に搭載されるとともに、それらの間に噴出口１２と吸引口１４とを混在して多数配設した精密浮上領域Ｍ_CTが搭載される。また、右端の搬出用ステージブロックＳＢ_Cには、専ら噴出口１２を多数配設した第２のラフ浮上領域Ｍ_OUTが搭載される。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の膜厚制御、特に塗布膜の周縁部の膜厚均一化を容易に行うこと。
【解決手段】この面状塗布ユニット（ＡＣＴ）４０では、ステージ８０の上に基板Ｇを載置して、レジスト液供給機構８６およびノズル移動機構８８を動作させると、長尺ノズル８２の塗布走査により基板Ｇ上に基板の一端から他端に向ってレジスト液の面状塗布膜１００が形成されていく。その際、面状レジスト塗布膜１００が基板Ｇの外側へ向って広がる過程でライン状レジスト塗布膜７６と接触ないし一体化し、ライン状レジスト塗布膜７６によって面状レジスト塗布膜１００の外縁の位置が規定されると同時に膜厚も制御される。 （もっと読む）

【課題】好適な画像品質を確保し、搬送方向上流側に向かう活性エネルギー線を好適に遮蔽することができるインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】搬送部１０は産業資材９０を搬送し、記録部は活性エネルギー硬化型インクを吐出し、照射部は活性エネルギー線を照射する。上流側遮蔽機構４０は記録部と照射部との間に設けられ活性エネルギー線を遮蔽する。上流側遮蔽機構４０を閉鎖する場合、第一遮蔽部４１０の遮蔽材４４０を搬送部１０の幅方向の一方側から他方側の方向に移動させ、第二遮蔽部４２０の遮蔽材４４０を他方側から一方側の方向に移動させる。開放する場合、第一遮蔽部４１０の遮蔽材４４０を他方側から一方側の方向に移動させ、第二遮蔽部４２０の遮蔽材４４０を一方側から他方側の方向に移動させる。 （もっと読む）

【課題】静電力を利用して食品や工業製品などの対象物の全体に粉体を散布することができる静電粉体散布装置を提供する。
【解決手段】静電粉体散布装置は、メッシュを有するスクリーン２と、粉体をスクリーン２に擦り込むスクリーンブラシ３と、スクリーンブラシ３に粉体を供給するホッパ４０と、スクリーン２の下方に配置され、対象物１を運ぶコンベヤ１０と、対象物１の下から対象物１に粉体を散布する粉体散布部２０と、スクリーン２と対象物１との間、および粉体散布部２０と対象物１との間に電圧を印加する直流電圧源ＤＣとを備える。 （もっと読む）

【課題】整列コンベヤの全長が長く成ってしまう。
【解決手段】整列コンベヤ１は、正逆駆動が可能で駆動距離を制御可能とし、下流側にストッパー10を有し、上記整列コンベヤ１の上方に配設された塗布手段２は、移動手段３と、該移動手段３の下部に上下方向に移動可能に配設された昇降部４と、該昇降部４の下部に配設された複数の刷毛５、5a…と、上記整列コンベヤ１側に設置された貯留槽６、6a…とを有し、上記整列コンベヤ１の長さを、天板Ｔ、Ｔａ…の搬送方向の幅と同一又は若干短いストロークだけ移動可能に設定すれば、複数枚の天板Ｔ、Ｔａ…を隙間無く配列しても、整列コンベヤ１により天板Ｔ、Ｔａ…を往復移動させることで、全ての天板Ｔ、Ｔａ…の全ての生地Ｗ、Ｗａ…に艶出し液を塗布することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】浮上ステージにおける吸引口の目詰まりを自動的かつ確実に検出する。
【解決手段】浮上ステージの塗布領域において吸引口１８が内奥の比較的狭いガス通路１８ａに異物Ｑが挟まって目詰まりを起こしているときは、その付近で基板浮上高Ｈ_Gが局所的に設定値Ｈ_Sよりも高くなる。浮上高監視部は、監視ライン上のどこかで基板Ｇの浮上高Ｈ_Gが浮上高設定値Ｈ_Sを定常的に（基板Ｇが通過している間）超えているときは、光ビームＬＢが基板Ｇにより遮られることから、この異常事態を検知してコントローラに通報することができる。コントローラは、浮上高監視部からそのような基板浮上高に関する異常通報のモニタ信号を受け取った時は、浮上ステージの塗布領域において少なくともスリットノズル１４の直下付近で相当な数の吸引口１８が目詰まりを起こしていると判定する。 （もっと読む）

【課題】塗布液を無駄なく使用して環状のタイヤの内周に的確に塗布することができる塗布装置を提供する。
【解決手段】タイヤＷを載置して塗布位置に搬入および塗布位置から搬出するタイヤ搬送手段２と、塗布位置に搬入されたタイヤＷのビード部内周に接触可能な塗布ローラ３と、タイヤＷと塗布ローラ３とを相対回転させて塗布ローラ３をタイヤＷの内周に沿って相対移動させる駆動手段と、塗布ローラ３に塗布液を供給する塗布液供給手段と、塗布ローラ３から流下する余剰の塗布液を回収して前記塗布液供給手段に戻す塗布液循環手段と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ワークの裏面の擦り傷を防止し、また、静電気の発生を抑制する吸着装置および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】平坦面１０ａを有しワークを吸着する吸着穴１１が設けられたステージ１０と、ステージ１０の吸着穴１１に接続され負圧を発生させる減圧ポンプ１５と、環状の無終端となる多孔質ベルト２１が駆動ローラー２５と従動ローラー２６とに掛け渡されたベルト駆動装置２０と、を備え、駆動ローラー２５と従動ローラー２６との間にステージ１０が配置され、ワークの搬送方向と同じ方向に多孔質ベルト２１が駆動可能であり、多孔質ベルト２１がステージ１０に吸着され、多孔質ベルト２１を介してワークがステージ１０に吸着される。 （もっと読む）

【課題】浮上方式のスピンレス塗布法においてスリットノズルに基板の上面を擦らせて傷を付けるおそれのある有害な裏面異物を精度よく確実に検出すること。
【解決手段】このレジスト塗布装置は、裏面異物検出装置５０を備えることより、有害な（つまり、スリットノズル１４に基板Ｇの上面を擦らせて傷を付けるおそれのある）裏面異物Ｑをスリットノズル１４よりも基板搬送方向（Ｘ方向）の上流側で確実に検出することが可能である。そして、裏面異物検出装置５０がそのような有害裏面異物Ｑを検出したときに発生する警報信号ＷＳに応答して、主制御部５２がノズル昇降機構３６を通じてスリットノズル１４を即時に上昇移動させることにより、スリットノズル１４は基板Ｇの盛り上がり部分Ｇ_Qをかわす（摺接または衝突を避ける）ことができ、スリットノズル１４の損傷が防止される。 （もっと読む）

【課題】低出力のモータでも車体を昇降できる車体用乾燥装置を提供すること。
【解決手段】車体用加熱乾燥装置は、高フロアに設けられたコンベヤに沿って車体を搬送し乾燥させる乾燥ラインと、乾燥ラインに搬入又は搬出される車体を高フロアと低フロアとの間で昇降するドロップリフタ２と、を備える。乾燥ラインの入口６１および出口６２は隣接して設けられる。ドロップリフタ２は、入口６１に搬入される車体Ｗを保持する保持台３１が昇降可能に支持された第１昇降装置３と、この第１昇降装置３に隣接して設けられ、出口６２から搬出された車体Ｗ´を保持する保持台４１が昇降可能に支持された第２昇降装置４と、保持台３１，４１を昇降するための動力を発生するモータ５１と、モータ５１で発生する動力と保持台４１を車体Ｗ´とともに自重下降させる力との合力により、保持台３１を上昇させる動力伝達機構５２と、を備える。 （もっと読む）