【課題】 基材上に良好に塗布膜を形成することができる塗布装置、この塗布装置を組み込んだ塗布膜形成システム、塗布方法および塗布膜形成方法を提供する。
【解決手段】 ノズル１１が塗布液を吐出する吐出位置において、基材５を他方主面から支持しつつ、搬送経路８に沿って基材５を走行させる支持ローラ１２に対して、振動付与部１３が振動を付与することで、支持ローラ１２に支持された基材５を介して、基材５の一方主面に塗布された塗布液に振動を付与することができる。これにより、基材５上に塗布された塗布液によって形成される塗布膜の膜厚のばらつきを平坦化することで塗布ムラを軽減することができる。 （もっと読む）

【課題】従来のステージ装置では、処理効率を向上させることが困難である。
【解決手段】ワークＷを支持するワークテーブル２５と、ワークテーブル２５の移動を案内する第１ガイド部８１と、第１ガイド部８１につなぎ合わされており、ワークテーブル２５の移動経路を延長する第２ガイド部８２と、第１ガイド部８１と第２ガイド部８２との継ぎ目７７よりも第１ガイド部８１側に設けられ、ワークテーブル２５が継ぎ目７７よりも第１ガイド部８１側に位置している状態で、ワークＷのワークテーブル２５に対する位置精度を検出する第１検出装置１４と、継ぎ目７７よりも第２ガイド部８２側に設けられ、ワークテーブル２５が継ぎ目７７よりも第２ガイド部８２側に位置している状態で、ワークＷのワークテーブル２５に対する位置精度を検出する第２検出装置１５と、を有する、ことを特徴とするステージ装置。 （もっと読む）

【課題】浮上方式のスピンレス塗布法においてスリットノズルに基板の上面を擦らせて傷を付けるおそれのある有害な裏面異物を精度よく確実に検出すること。
【解決手段】このレジスト塗布装置は、裏面異物検出装置５０を備えることより、有害な（つまり、スリットノズル１４に基板Ｇの上面を擦らせて傷を付けるおそれのある）裏面異物Ｑをスリットノズル１４よりも基板搬送方向（Ｘ方向）の上流側で確実に検出することが可能である。そして、裏面異物検出装置５０がそのような有害裏面異物Ｑを検出したときに発生する警報信号ＷＳに応答して、主制御部５２がノズル昇降機構３６を通じてスリットノズル１４を即時に上昇移動させることにより、スリットノズル１４は基板Ｇの盛り上がり部分Ｇ_Qをかわす（摺接または衝突を避ける）ことができ、スリットノズル１４の損傷が防止される。 （もっと読む）

【課題】小型でコンパクト、かつ処理液による効果を維持したストリップの洗浄又は塗布装置及び方法を提供する。
【解決手段】処理液をストリップに吹き付けて洗浄又は塗布を行うストリップの洗浄又は塗布装置１０であって、多数の気体噴出孔２ｆを有し、下側に向く断面が曲面をなす搬送面２ａを備え、該気体噴出孔から噴出する気体によって搬送面と非接触状態でストリップを上下に方向転換するストリップ方向転換装置２と、搬送面に上から下に向かって導入されるストリップの両面に処理液を吹き付ける第１処理液吹付け部４と、搬送面から上に向かって退出するストリップの両面に処理液を吹き付ける第２処理液吹付け部６と、搬送面、第１処理液吹付け部、及び第２処理液吹付け部を収容する液槽８と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】描画精度を維持したまま、コストおよび単位重量を低く抑えることができる液滴吐出装置を提供することである。
【解決手段】描画エリア３１において、ワークＷの移動に同期して、機能液滴吐出ヘッド５３を吐出駆動することで描画を行うと共に、描画エリア３１からワークＷの移動方向片側に外れた２つの除給材エリア３５，３６において、ワークＷの除給材を行う液滴吐出装置１であって、Ｘ軸スライダー２３を有すると共に、ワークＷがセットされる一対のワークステージ２１と、Ｘ軸スライダー２３を介して、一対のワークステージ２１の移動を描画エリアおよび２つの除給材エリア３５，３６に亘ってガイドするＸ軸移動ガイド２２と、を備え、Ｘ軸移動ガイド２２は、描画エリア３１と２つの除給材エリア３５，３６に対応して３分割されているものである。 （もっと読む）

【課題】スロットノズル機構の出口開口の領域のさまざまな幾何学的変化への適合を実施することを可能にする流体分配装置及び基板案内装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、基板、特にウェブ形態の基板を案内する少なくとも１つの細長い案内要素を用いて、スロットノズルを有する流体分配装置に対して基板を案内する装置に関する。本発明によれば、少なくとも１つの案内要素を弾性変形させるデバイスが設けられている。 （もっと読む）

【課題】ノズルの先端が乾燥することを防ぎつつ、基板の端部から塗布処理を開始することができる浮上搬送式の基板塗布処理装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗに塗布処理を行うための塗布ステージは塗布前ステージ４０と塗布後ステージ４１とに分かれており、空気の噴出及び排気を行って、基板Ｗを浮上させるための空気流を形成する小孔が、それぞれのステージに形成されている。基板Ｗは先端が塗布前ステージ４０と塗布後ステージ４１との境界線上に位置して停止しており、塗布後ステージ４１上方に配置されたスリットノズル５５が下降し、基板端部の塗布開始位置に向けて移動する。このとき、塗布後ステージ４１からの空気の噴出および吸引は一時的に停止される。 （もっと読む）

【課題】裏面鏡の連続生産において、裏止め塗膜塗布後、次いで鏡端縁部の縁塗りを、行った後、縁塗り塗膜がかすれる、縁塗り塗料が鏡端面に垂れることなく、縁塗り塗膜の均一塗布および膜厚制御が可能な鏡の裏面側端縁部の縁塗り装置を提供する。
【解決手段】裏止め塗膜を被覆形成してなる鏡１を、裏止め塗膜を被覆形成してなる裏面側を上にしてコンベヤー上を搬送させつつ、該裏面側端縁部に上側より接触しつつ回転する塗布ロール２により、裏面側端縁部に縁塗り塗液を縁塗り塗装する鏡１の裏面側端縁部の縁塗り装置であって、連動回転する並接した塗液ピックアップロール３と調製ロール４と塗布ロール２からなる鏡の裏面側端縁部の縁塗り装置。 （もっと読む）

【課題】プリンティング状態の検査に必要な時間、工程及び費用を減少させ、また、検査の結果を後続プリンティング工程に反映する。
【解決手段】インクジェットプリンティングの機能、及び検査の機能を具備した複合システムは、プリンティング対象物上に複数パターンを形成するようにインクを供給するための複数インクジェットヘッド、上記複数インクジェットヘッドが装着され、上記プリンティング対象物上で移動可能なガントリー、上記ガントリーの後方に裝着され、上記プリンティング対象物上に形成された上記複数パターンの状態を検査するための少なくとも一つ以上の検査装置、及び上記複数インクジェットヘッド、上記ガントリー、及び上記少なくとも一つ以上の検査装置のそれぞれの動作を制御する制御装置を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液状体の配置ムラを目立たなくする液状体配置方法、液滴吐出装置、及びこれら方法又は装置を用いたカラーフィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】複数のノズルを有するヘッドと基板とを少なくとも主走査方向に相対的に移動させながら、ノズルから液状体を吐出することにより、基板上に設定された複数の所定領域に対して液状体をそれぞれ配置する液状体配置方法である。ノズルが主走査方向と直交する副走査方向に所定間隔をおいて配列されており、所定領域が主走査方向に沿って複数配列されてなる場合に、ノズルから対応する所定領域の主走査方向に沿う列に対し、二つ以上の異なる駆動周波数を用いてノズルから吐出を行わせ、液状体を各所定領域に配置する。 （もっと読む）

【課題】ステージへの基板の固定に時間を要する場合であっても、塗布装置全体のサイクルタイムが長期化するのを抑えることができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】ステージの表面に基板を載置する基板載置工程と、ステージの表面に載置された基板上に初期膜を形成する初期膜形成工程と、塗布ユニットから塗布液を吐出させつつ、基板上に塗布膜を形成する塗布膜形成工程と、を有する塗布装置の塗布方法において、基板載置工程は、基板をステージの表面に吸着する吸着工程を有しており、この吸着工程は、塗布開始位置を含む基板の初期膜形成領域を吸着する初期吸着工程と、初期膜形成領域を除く基板の塗布膜形成領域を吸着する本吸着工程とを含み、初期吸着工程が完了した後、本吸着工程が完了する前に、初期膜形成工程が開始される構成とする。 （もっと読む）

【課題】パネルやカラーフィルターに色むらができないように、吐出の有無だけでなく吐出量の多少を評価できる塗布ノズル検査装置と検査方法、ならびに塗布ノズルを用いた塗布方法を提供する。
【解決手段】塗布ノズル９０の検査装置において、連続的に吐出される液体によって形成される柱状流を生成する吐出口９２が一列に配列されている塗布ノズルに液体を供給する液体供給手段と、前記柱状流に光を放射する照明手段１５と、前記照明手段から放出された光の反射光を受光する受光手段１６と、少なくとも前記受光手段に接続され、受光手段からの出力を受信する制御手段１７を有する。 （もっと読む）

【課題】 乾燥後の塗膜の厚みにバラツキが少なく、しかも乾燥後の塗膜表面の性状に欠陥となる変形が生じることのない塗膜乾燥方法を提供する
【解決手段】 合成樹脂材料を主原料とするフィルム状基板ＦＳ１上に揮発性溶剤を含む塗膜材料を塗布して形成した塗膜を赤外線を用いて加熱乾燥させる。複数本のガイドローラＲは、両端部がフィルム状基板ＦＳ１の幅方向両端縁を越えて外側に延び出る長さ寸法Ｗ１を有している。表面側赤外線照射装置３４及び裏面側赤外線照射装置３５は、それぞれ搬送方向Ｄ１に所定の間隔をあけて配置され幅方向Ｄ２に延びる５枚の赤外線ヒータＨをそれぞれ備えている。赤外線ヒータＨは、赤外線放射面ＨＳの幅方向の両端部がフィルム状基板ＦＳ１の幅方向両端縁を越えて外側に延び出る幅方向寸法Ｗ２を有している。 （もっと読む）

【課題】箔に対してペーストの両面同時塗工を行う場合において、塗工部に導入される箔の位置決め精度を向上させて塗工精度を向上させると同時に、両面同時塗工後の箔を安定して搬送することにより、両面同時塗工による塗工品質の確保を可能とする技術を提供する。
【解決手段】一対の表面塗工用ダイ３および裏面塗工用ダイ４の箔搬入側に備える箔規制手段たる表面側ガイドローラ５および裏面側ガイドローラ６により、表面塗工用ダイ３と箔との距離と、裏面塗工用ダイ４と箔との距離が均等となるように箔を保持して、かつ、一対の塗工用ダイ３・４の箔搬出側に備える張力付与手段たるテンションローラ７により、ペースト塗工後の箔に弛みが生じないように張力を付与する構成とする。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールの分割部分をガントリが塗布動作中に走行するガイドレールに設けた場合であっても、不良基板が生産されるのを抑えて効率よく大型基板を生産することができる塗布装置を提供する。
【解決手段】基板を保持するステージと、このステージに沿って延びるとともに複数に分割されたガイドレールと、ガイドレール上を走行し、塗布液を基板に塗布する塗布ユニットと、を備え、前記ガイドレールは、塗布ユニットと対向するガイド面を有するレール部が複数連結されることによって形成されており、隣接するレール部の端部同士によって分割溝部が形成され、この分割溝部に埋込部材が埋め込まれることにより、隣接するレール部のガイド面及び埋込部材が連続する平坦面となるように形成する。 （もっと読む）

保護部材１４及び該保護部材１４を組み込むノズル組立体１１が提供される。保護部材１４は、材料の糸状体１６を受ける糸状体案内通路１８を有するノズル１２と共に使用するためのものである。保護部材１４は、ノズル１２の糸状体案内通路１８に受け入れられるように構成された本体６０を備える。保護部材１４の本体６０は、糸状体１６のための通路６３を有し、糸状体案内通路１８と、移動している糸状体１６との間に配置される。保護部材１４の本体６０は、少なくともその一部が、案内されている糸状体１６によって引き起こされる磨耗に耐えるのに十分な耐磨耗性を有する材料から成る。代替的には、本体６０の一部を、糸状体１６によって引き起こされる磨耗に耐えるのに十分な耐磨耗性を有する材料で被覆してもよい。
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【課題】光学フィルムや磁気記録媒体等の極めて高精度な精密塗布が要求される塗布であっても、塗布ムラ（特に横段上ムラ）のない良好な面状の塗布膜を得ることができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】バックアップローラ２０に支持された状態で連続走行する帯状支持体の表面に塗布ヘッド５０から塗布液１４を塗布すると共に、バックアップローラ２０を塗布位置と退避位置との間で進退移動させる進退移動機構を有する塗布装置１０において、進退移動機構は、バックアップローラ２０両端の回転軸を架橋状のフレーム２１で回転自在に支持して成るローラユニット２５と、バックアップローラ２０が塗布位置と退避位置との間で進退するようにローラユニット２５を揺動させる揺動手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】薄型化する基板が搬送される場合あっても、基板の損傷の発生を抑制できる構成を有する基板案内機構を提供すること。
【解決手段】所定方向へ搬送されるテープ状の基板２を搬送方向へ案内する基板案内機構８は、基板２を支持するとともに、搬送方向に所定の間隔をあけた状態で配置される複数の基板支持突起１５ａを備えている。この基板案内機構８では、基板２と基板案内機構８との間の搬送抵抗が低減される。 （もっと読む）

【課題】塗布対象体に対して塗布液を均一に塗布し得るバー塗布装置を提供する。
【解決手段】可撓性支持体２に塗布液３を塗布するためのバー８と、バー８の下方に配設されると共にその上面とバー８との間に塗布液３を供給するブロックユニット６と、搬送されている可撓性支持体２を案内する上流側ガイドローラ１１ａおよび下流側ガイドローラ１１ｂとを備え、上流側ガイドローラ１１ａおよび下流側ガイドローラ１１ｂの少なくとも一方は、長さ方向における中央部の直径が端部の直径よりも大きいクラウン形状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】ウエブとガイドロールとの間の滑りを防止すると共に、装置やウエブとの相対的な歪みによるシワの発生を防止することができるガイドロールを提供する。
【解決手段】走行するウエブＷを案内するガイドロール１０の中央部１６の表面のみを、溝によって滑り止め加工し、両側部１８の表面は、平滑なメッキを施している。 （もっと読む）