【課題】 重量が大きく反りが大きい基板に対して塗布液を塗布する場合においても、装置コストを増大させることなく、短い処理時間で精度よく塗布液を塗布することが可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】 基板は、基板搬送機構１４によりステージ１２上に搬送されて、その保持面３０に吸着保持される。そして、ステージ１２上に吸着保持された基板の表面に、スリットノズル４１における塗布液吐出用スリットを近接させた状態で、スリットノズル４１を基板に対して移動させることにより、基板の表面に塗布液を塗布する。しかる後、塗布液が塗布された基板は、基板搬送機構１５によりステージ上から搬出される。 （もっと読む）

【課題】サイズの小型化を図り、面積生産性を向上させることができる液剤塗布装置及び液剤塗布方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液剤Ｑが塗布される前の基板４を収容した基板供給用のマガジン５が設置される基板供給部Ｒ１、基板供給部Ｒ１に設置された基板供給用のマガジン５から取り出されて作業位置に移送された基板４に液剤Ｑを塗布する塗布ヘッド１４、塗布ヘッド１４により液剤Ｑが塗布された基板４を収容する基板回収用のマガジン５が設置された基板回収部Ｒ２を備えた液剤塗布装置１において、基板供給部Ｒ１と基板回収部Ｒ２が上下方向に並んで位置する。 （もっと読む）

【課題】マガジンの移動機構を簡単化して製造コストを低減することができる液剤塗布装置及び液剤塗布方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液剤塗布前の基板４を収容した基板供給用のマガジン５が設置される基板供給部Ｒ１、基板供給部Ｒ１に設置された基板供給用のマガジン５から取り出されて作業位置に移送された基板４に液剤Ｑを塗布する塗布ヘッド１４、液剤塗布後の基板４を収容する基板回収用のマガジン５が設置された基板回収部Ｒ２を備えた液剤塗布装置１において、基板供給部Ｒ１に設置された基板供給用のマガジン５を新たな基板供給用のマガジン５に交換する場合に、基板回収部Ｒ２から基板回収用のマガジン５を取り除いてその基板回収部Ｒ２にそれまで基板供給部Ｒ１に設置されていた基板供給用のマガジン５を次に使用する基板回収用のマガジン５として移動させた後、基板供給部Ｒ１に新たな基板供給用のマガジン５を設置する。 （もっと読む）

【課題】基板の膜種、表面状態等に影響されることなく、基板の保持状態を正確に検出することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を処理する基板処理装置において、基板が載置される載置台３２と、載置台３２に載置されている基板の周縁部を保持する保持部４４と、保持部４４に光を照射する光源９８と、保持部４４からの光の光量を検出することによって、保持部に保持されている基板の保持状態を検出する検出部９９とを有する。 （もっと読む）

【課題】処理対象物の重量が重い場合でも、特にθ方向の位置合わせを高精度かつ容易に行い得る低コストのアライメント機能付きステージを提供する。
【解決手段】基板Ｓをその処理面を開放して保持するステージ本体４ａを備えたアライメント機能付きステージを有し、基板の処理面に背向する他面に吸着自在な吸着手段８と、前記吸着手段での吸着箇所以外の領域に気体を供給する気体供給手段９と、前記吸着手段を回転中心として基板が同一平面内で回転されるように前記吸着手段に回転力を付与する駆動手段１０とを備え、前記駆動手段は、前記吸着手段を所定の微小角度範囲内で回転させる微動機構と、前記吸着手段を微動機構より大きな角度範囲で回転させる粗動機構とから構成され、前記粗動機構が前記吸着手段に直結されている。 （もっと読む）

【課題】液剤塗布における各種の塗布条件や生産数量等に対して、より標準的にシステム化対応する。
【解決手段】基本的な塗布対応構成の塗布ロボット１において、塗布ヘッド９をＸ方向に駆動させるＸ軸駆動部７、塗布ヘッドを上下させるＺ軸駆動部１０、塗布部材５をＹ方向に位置決めするＹ軸駆動部８と、Ｙ軸部と一体駆動可能な様に組み付け、塗布部材を回転させるθ軸駆動部１１で構成し、塗布部材に対して上記塗布ロボットの各軸を選択して塗布を行う。また、各種の塗布に対しては、塗布ロボットを単体から定ピッチで連結可能な構成とすることによりシステム化対応まで可能となり、塗布部材に対し最適な塗布ができる。また塗布に関連する各種の機能ヘッドにおいても、取付互換性を持たせて選択搭載し、各種塗布部材に対して最適な構成で液剤塗布をする。 （もっと読む）

【課題】硬化時間が長い接着剤を使用する場合でも、効率よく接着剤塗布を行うことができる接着剤塗布装置を提供する。
【解決手段】所定の位置関係に位置決めされたレンズ１００と鏡筒１１０とに接着剤Ａｄを塗布する接着剤塗布装置１は、レンズと鏡筒とを位置決めされた状態で保持する保持ユニット１０と、保持ユニットに保持されたレンズおよび鏡筒を回転させる駆動部３０と、保持ユニットに保持されたレンズおよび鏡筒の上方から接着剤を吐出する接着剤供給部４０と、駆動部および接着剤供給部の動作を制御する制御部５０とを備え、保持ユニットは、レンズと鏡筒とを位置決めされた状態で保持したまま、駆動部に対して着脱可能であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化及び低価格化に寄与できる印刷装置を提供する。
【解決手段】基材１に対して所定のパターンを印刷する印刷部と、パターンが印刷された基材が収納される収納部１２と、パターンが印刷された基材を収納部に搬入する搬入部１３０と、搬入部による基材の収納部への搬入中に、基材に印刷されたパターンの検査を行う検査部１３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化及び基材の安定搬送に寄与できる印刷装置を提供する。
【解決手段】複数の処理装置と、複数の処理装置の間で基材を搬送する搬送部とを有する。搬送部による基材の搬送経路に臨んで設けられた除電部２０と、搬送部を制御して、処理装置に基材を搬送する際に、除電部を経由する搬送経路Ｒ１〜Ｒ５を辿らせる制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】ドラムに付着した液体を確実に除去することができる塗布装置及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】処理液塗布ドラム３１によって搬送される用紙Ｐの表面に塗布ローラ３２Ａを押し当てて、処理液を塗布する。処理液塗布ドラム３１の外周面に付着した処理液は、処理液塗布ドラム３１の外周面に当接させたブレード３１０で除去する。ブレード３１０は、グリッパＧの設置部で処理液塗布ドラム３１から離間させる。離間時に処理液塗布ドラム３１に残留する処理液をエアノズル３１６から噴射されるエアで除去する。 （もっと読む）

【課題】露光装置の生産効率を落とさない塗布、現像装置を提供すること。
【解決手段】塗布膜が形成された、露光前の基板を一旦仮置きする仮置き部と、基板の搬送経路における、基板が置かれるモジュールについてメンテナンスを行うために、当該上流側の基板の搬送を停止する時間の長さを設定するための停止時間設定部と、前記仮置き部に置かれた基板の枚数が前記停止時間の長さに応じた、前記処理ブロックによる基板の処理枚数に達したか否かを監視し、達した後に仮置き部の上流側の基板の搬送を停止するように制御信号を出力する制御部と、を備えるように塗布、現像装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】温度環境の変化に伴うガイド部材の変形を抑制可能な技術を提供する。
【解決手段】移動装置１は、第１の材料により形成された基台１１と、基台１１上に設置された一対のガイド部材１２と、第１の材料と熱膨張率の異なる第２の材料により形成され、一対のガイド部材１２に沿って移動可能な移動体１３と、一対のガイド部材１２のうちの少なくとも一方のガイド部材１２ａと移動体１３との間に配置された板バネ１４１とを備える。板バネ１４１は、移動体１３に対して固定される第１のブロック部と、ガイド部材１２ａの延在方向について第１のブロック部から離間した位置に配置され、ガイド部材に沿って摺動する摺動部材に対して固定された第２のブロック部と、第１のブロック部と第２のブロック部とを連結し、その連結方向と交差する方向に可撓性を有する薄板部と
を備える。 （もっと読む）

【課題】印刷面が平坦でなく、インクの浸透が悪い印刷物品に対して、フルカラーのインクジェット印刷装置により高品質の印刷を迅速に、且つ、効率良く行う。
【解決手段】装置１は搬入部２、反転部３、印刷部４、搬出部５の順に設置され、各部には搬送チェーンＣＶが夫々設置され、その境界部ではオーバーラップする。搬入部２に搬入されたタイヤＴは、ここでセンタリングし、反転部３を通過し、印刷部４で表面の印刷後、反転部３に逆搬送して反転して裏面を上向きとする。印刷部４に搬送し、裏面の印刷の後、搬出部５から搬出する。印刷部４では印刷面を平坦にしつつ、タイヤＴを回転して所定位置からインクジェットヘッド（５個）により所定の印刷（複数回）を行う。 （もっと読む）

【課題】高速で搬送される基材の必要個所に、塗布剤を均一かつ適正に塗工できるようにする。
【解決手段】搬送路に沿って搬送される基材１に塗工ロール１１，１２を断続して接触させることにより基材に塗布剤を間欠的に塗工する間欠塗工装置において、上記基材１の搬送路に沿って配設された複数個の塗工ロール１１，１２に近接した位置に配設されて基材１の搬送方向を規制するガイドロール６，７と、各ガイドロール６，７を個別に駆動して上記塗工ロール１１，１２に上記基材１を接離させることにより上記基材１の異なる領域に塗布剤をそれぞれ塗工する駆動機構１８とを備えた。 （もっと読む）

【課題】塗布液を無駄なく使用して環状のタイヤの内周に的確に塗布することができる塗布装置を提供する。
【解決手段】タイヤＷを載置して塗布位置に搬入および塗布位置から搬出するタイヤ搬送手段２と、塗布位置に搬入されたタイヤＷのビード部内周に接触可能な塗布ローラ３と、タイヤＷと塗布ローラ３とを相対回転させて塗布ローラ３をタイヤＷの内周に沿って相対移動させる駆動手段と、塗布ローラ３に塗布液を供給する塗布液供給手段と、塗布ローラ３から流下する余剰の塗布液を回収して前記塗布液供給手段に戻す塗布液循環手段と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】設置面積を縮小することができる、成形天井材用接着剤塗布装置を提供する。
【解決手段】接着剤塗布ステーション４において、成形天井材２の下端部が保持機構１２に保持されるとともに、成形天井材２の他方面２Ｂが第１支持部材２５に支持されることにより、成形天井材２は、他方面２Ｂ側に傾倒した姿勢に配置される。そして、その状態で、塗布ロボット３により、成形天井材２の一方面２Ａに接着剤が塗布される。その後、保持機構１２による成形天井材２の保持が解除されるとともに、第１支持部材２５による成形天井材２の支持が解除されると、成形天井材２は、その下端部が接着剤塗布ステーション４に残ったまま、自重により左側にさらに傾倒して、第２支持部材２８にもたれ掛かる。その後、押圧部材３０により、成形天井材２の下端部が接着剤塗布ステーション４から搬出ステーション５に移動される。 （もっと読む）

【課題】被描画媒体の温度が変化することによって、被描画媒体が伸縮することに起因して、着弾位置精度が損なわれることを抑制することができる描画装置、及び描画方法を提供する。
【解決手段】描画装置は、被描画媒体を保持する保持手段と、液状体を吐出する吐出手段を備え、吐出手段から吐出された液状体を保持手段に保持された被描画媒体に着弾させることによって、液状体を被描画媒体に配置して、液状体からなる画像を描画する描画手段と、被描画媒体に配置された状態の液状体の硬化を促進させる硬化促進手段と、保持手段の温度を調整する温度調整手段と、温度測定手段と、温度測定手段の測定結果に基づいて、温度調整手段を制御する温度制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】円環状ゴム部材の内周面に塗布剤を均一にかつ過不足なく塗布することのできる装置を提供する。
【解決手段】駆動ローラー１１ａ，１１ｂと従動ローラー１１ｃ，１１ｄとを有しプレキュアトレッドなどの円環状に形成されたゴム部材３０を内周面３０ｂ側から保持しながら回転させる回転手段１１と、塗布剤が収納される塗布剤槽１２ａと上側がゴム部材３０の内周面３０ｂに当接し下側が塗布剤槽１２ａ内に浸漬されて回転する塗装ローラー１２ｂとを有する塗布手段１２と、ゴム部材３０の内周面３０ｂに当接する塗布剤掻き取りバー１３ａとを備え、ゴム部材３０を回転させながら内周面３０ｂに塗装ローラー１２ｂを当接させて塗布剤を塗布するとともに、余分な塗布剤を塗布剤掻き取りバー１３ａで掻き取るようにした。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエーハなどの薄い紙状の対象物の正確な位置決めを行う。
【解決手段】半導体装置の製造装置１は、塗布対象物Ｗの中心をハンド３ａの中心に合わせるセンタリング部４ａを具備しており、センタリング部４ａは、塗布対象物Ｗを支持する支持台３１と、支持台３１上の塗布対象物Ｗを押して移動させ、支持台３１に対して位置決めされたハンド３ａの中心に塗布対象物Ｗの中心を合わせる複数の押圧部３２とを具備している。 （もっと読む）

【課題】毛管状隙間を有するノズルによりレジスト塗布面を迅速に均一に乾燥させることが可能なレジスト塗布方法および塗布装置、並びに該レジスト塗布方法を用いたフォトマスクブランクおよびフォトマスクの製造方法を提供する。
【解決手段】被塗布面１０ａを下方に向けた基板１０にレジスト液を塗布する方法であって、液槽に溜められたレジスト液を、ノズル２４の毛細管現象によって被塗布面１０ａに導いて接液させ、ノズル２４と基板１０とを水平方向に相対移動させることにより、被塗布面１０ａにレジスト液１１０を塗布し、被塗布面１０ａに対し、一定方向にほぼ一定の相対流速で被塗布面１０ａと平行な気流を供給し、気流を被塗布面１０ａに接触させることにより、レジスト液１１０の乾燥を行うレジスト塗布方法および塗布装置、並びに該レジスト塗布方法を用いたフォトマスクブランクおよびフォトマスクの製造方法。 （もっと読む）