【課題】スリーブの外周面に、高い平滑性を有する均一な厚さのコーティング層を、芯金を用いることなく効率よく形成する。
【解決手段】スリーブを回転させる回転駆動手段と、回転するスリーブの外周面に塗布された一次コーティング層の表面側を掻き取る掻取りブレードとを具える。回転駆動手段は、第１、第２の保持ローラ間上でスリーブを跨らせて回転可能に保持する保持具と、第１の保持ローラとの間でスリーブを挟み込む駆動ローラを有する駆動具とを具える。掻取りブレードの先端は、駆動ローラの中心と第１の保持ローラの中心とを通る第１の基準線上に配される。 （もっと読む）

【課題】作業位置精度の高い基板用搬送ステージ、それを備えた描画装置、および、それを用いた描画方法を提供する。
【解決手段】基板用搬送ステージ５０は、ベース１と、主走査軸方向としてのＹ軸方向の走査を行なうＹ軸モーター５と、Ｙ軸モーター５の可動子としてのＹ軸テーブル１０に載置されＹ軸方向と交差する副走査軸方向としてのＸ軸方向の走査を行なうＸ軸モーター１５と、Ｘ軸モーター１５の可動子としてのＸ軸テーブル２０に載置されＹ軸方向やＸ軸方向と直交する直交軸回りの回転を行なうθ軸回転式モーター２５およびその可動子としての基板ステージ３０と、Ｙ軸テーブル１０と基板ステージ３０とをロックするロック手段としての摩擦ブレーキ部１８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】液膜の幅を安定させることができるスリットノズルおよびこれを備えた基板処理装置を提供すること。
【解決手段】スリットノズル１１は、長手方向Ｘ１に延びるスリット状の吐出口５４が形成された吐出部４５と、吐出口５４の長手方向Ｘ１の両端にそれぞれ配置された一対のガイド部４６とを含む。一対のガイド部４６は、長手方向Ｘ１に間隔を空けて対向する一対のガイド面６６をそれぞれ含む。一対のガイド部４６のそれぞれには、ガイド面６６より凹んだ凹部６８が形成されている。 （もっと読む）

【課題】材料の供給状態を正確に調整して高精度に膜圧形状を制御することが可能な塗布装置及び塗布方法の提供。
【解決手段】実施形態の塗布装置は、塗布対象物に材料を吐出して塗布するノズルと、前記ノズルに供給される材料を貯留する貯留部と、前記貯留部と前記ノズルとを連通する流路と、前記流路の開閉状態を切り替える吐出用ダイヤフラムバルブと、前記流路に接続され前記流路における材料の流量を調整するとともに、そのサックバック量が調節可能なサックバック部と、を有する吐出弁と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ノズルと基板表面の距離（ギャップ）を精度良く制御することを可能とする。
【解決手段】実施形態にかかる塗布方法は、測定により、基準となるノズルの位置情報である基準情報を検出し、前記基準情報測定の後に、前記ノズルを洗浄し、前記洗浄後に、測定により、前記ノズルの位置情報である実測情報を検出し、前記実測情報、及び前記基準情報の変化量から、ノズルの位置変化量を検出し、前記ノズルの位置変化量が、予め設定されたノズルの許容変化量の範囲内である場合には、前記実測情報を対象情報とし、この対象情報に基づいて前記ノズルの位置調整を行って、塗布対象物に塗布材料を供給し、前記ノズルの位置変化量が、前記許容変化量の範囲外である場合には、再度、前記ノズルを洗浄し、その後、前記塗布対象物に、前記塗布材料を供給することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗布液の粘性やぬれ性を制御して膜厚を制御する。
【解決手段】塗布装置１は、基板Ｗを支持するステージ２と、前記ステージに対して相対移動可能であり、前記ステージ上の基板に塗布材料を吐出する材料吐出ノズル７と、前記材料吐出ノズルとともに前記ステージに対して相対移動可能であり、前記ステージ上の基板に気体を噴射する気体噴射ノズル８と、を一体に備える塗布ヘッド４を備えた。 （もっと読む）

【課題】円形の基板の周縁部に塗布液を塗布してリング状の塗布膜を形成するにあたり、その幅を均一性高く形成することができる技術を提供すること。
【解決手段】基板の回転及びノズルからの塗布液の供給を行いながら、塗布液の供給位置を基板の外側から基板の周縁部に向けて移動させ、当該基板を平面で見たときにその角度が１０°以下である楔型に塗布液を塗布し、次いで、基板の回転及び塗布液の供給を続けたままノズルの移動を停止し、基板の周縁部に沿って帯状に塗布液を塗布し、この帯状に塗布された塗布液の端部を前記楔型に塗布された塗布液に接触させ、基板の全周に亘って塗布液を塗布する。 （もっと読む）

【課題】 基板の周辺領域にレジスト等の樹脂膜を効率良く形成することができ、半導体素子製造におけるスループット向上に寄与する。
【解決手段】 素子形成に供される基板１０上の周辺部に樹脂膜を塗布する塗布装置であって、基板１０が載置され、少なくとも１８０度回転可能な回転テーブル３２と、基板１０の中心を通る第１の方向（Ｘ方向）軸で２分割された第１の基板周辺領域及び第２の基板周辺領域の一方に相当する円弧に沿って樹脂を吐出するための複数のノズルを配置してなり、該ノズルが基板１０の周辺領域に対向するように設置される樹脂膜形成ヘッド部５０と、基板１０と樹脂膜形成ヘッド部５０を相対的に、第１の方向とは直交する第２の方向（Ｙ方向）に移動させる移動機構４５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 余分な被覆処理液を完全に除去することができる被覆膜形成装置の提供を目的
【解決手段】 被覆膜形成装置１００は、部材を保持する部材保持カゴを有する被覆膜調整部１０１を矢印ａ１１方向、矢印ａ１３方向へ水平回転させるとともに、矢印ａ１５方向、矢印ａ１７方向へ垂直回転させる。これにより、被覆処理液を付着させた部材を水平方向及び垂直方向に回転させることができるので、部材に付着させた被覆処理液のうち不要な被覆処理液を均一に除去し、部材に均一な被覆膜を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】基板の膜種、表面状態等に影響されることなく、基板の保持状態を正確に検出することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を処理する基板処理装置において、基板が載置される載置台３２と、載置台３２に載置されている基板の周縁部を保持する保持部４４と、保持部４４に光を照射する光源９８と、保持部４４からの光の光量を検出することによって、保持部に保持されている基板の保持状態を検出する検出部９９とを有する。 （もっと読む）

【課題】高精度でギャップ制御が可能なスパイラル塗布装置及びスパイラル塗布方法の提供。
【解決手段】実施形態にかかるスパイラル塗布装置は、塗布対象物が載置される載置面を有するステージと、前記ステージを前記載置面に沿う回転方向に回転させる回転機構と、前記ステージ上の前記塗布対象物に材料を吐出して塗布する塗布ノズルと、前記ステージと前記塗布ノズルとを、前記回転方向に交わる交差方向に前記載置面に沿って相対移動させるとともに前記回転の軸方向に相対移動可能とする移動機構部と、前記回転の軸方向における前記塗布ノズルの底面の位置情報を検出するノズル位置検出部と、前記塗布ノズルの位置情報に基づいて前記塗布ノズルと前記載置面との前記軸方向の位置調整を行う位置調整部と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】タイヤの側面部に対して、直線状の画像パターンを印刷することができる印刷装置および印刷方法を提供する。
【解決手段】タイヤＴを保持する保持手段と、タイヤＴの回転軸周りでタイヤＴを回転させる回転手段と、インクヘッド１３からインクを噴射して、タイヤＴの側面部に印刷を施す印刷手段とを備え、タイヤＴを回転させながらインクを噴射して所定の印刷を施す印刷装置１において、直交座標系として入力された画像データを、タイヤＴの回転軸の軸心を円の中心とする極座標系に変換する画像変換手段を備える。 （もっと読む）

【課題】光学フィルム製造用のロール金型の表面に、保護皮膜剤の溶媒を過剰に拡散させることなく、均一な膜厚の剥離容易な保護皮膜を形成することが可能な塗工装置を提供する。
【解決手段】本発明の塗工装置は、光学フィルム製造用のロール金型に保護皮膜剤を塗工する塗工装置であって、中心軸が水平となるように配置されたロール金型３に対して、ロール金型３の中心軸を含む水平面より上方に配置され、中心軸の方向に延在する塗工ブレード２と、塗工ブレード上に設けられ、塗工ブレード上の保護皮膜剤である塗工液の流動領域を規定する一対のプレート７ａ，７ｂからなる液止めと、塗工ブレードがロール金型の表面から一定の距離を保つように設けられ、塗工ブレードよりロール金型の近くに位置するストッパー８と、所定の回転速度でロール金型を回転させる回転手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ファスナーにシール剤を均一に塗布することが容易なシール塗布装置及びシール塗布方法を提供することである。
【解決手段】シール塗布装置１が備えるシール剤吐出装置１１は、ファスナー２５に塗布されるべきシール剤を吐出する。シール剤吐出装置１１は、シール剤が充填されたシールカートリッジ１１２に吐出パンチ１１１を押し込む吐出パンチ送り装置１１３を備える。吐出パンチ送り装置１１３は、シール剤の吐出量が一定に制御されるように吐出パンチ１１１の押し込み力を変化させる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ファスナーの軸部にシール剤を塗布する用途に好適なシール塗布装置及びシール塗布方法を提供することである。
【解決手段】シール塗布装置１は、シール剤が塗布されるべきファスナー２５をファスナー２５の中心軸まわりに回転するファスナー回転装置１２を具備する。ファスナー回転装置１２は、ファスナー２５を軸方向に把持する第１把持部１２３及び第２把持部１２５と、第１把持部１２３及び第２把持部１２５の少なくとも一方に対してトルクが伝達可能に接続されたモータ１２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】塗布液をスピン塗布法により塗布して膜を形成する際に、基板面内の任意の位置の膜厚を制御できるとともに、基板面内の膜厚ばらつきを低減することができる塗布処理装置を提供する。
【解決手段】回転する基板の表面に塗布液を供給し、供給した塗布液を基板の外周側に拡散させることによって、基板の表面に塗布液を塗布する塗布処理装置２３において、基板を保持する基板保持部３１と、基板保持部３１に保持された基板を回転させる回転部３２と、基板保持部３１に保持された基板の表面に塗布液を供給する供給部４３と、基板保持部３１に保持された基板の上方の所定位置に設けられており、回転部３２により回転する基板の上方の気流を任意の位置で局所的に変化させる気流制御板６３とを有する。 （もっと読む）

【課題】液剤塗布における各種の塗布条件や生産数量等に対して、より標準的にシステム化対応する。
【解決手段】基本的な塗布対応構成の塗布ロボット１において、塗布ヘッド９をＸ方向に駆動させるＸ軸駆動部７、塗布ヘッドを上下させるＺ軸駆動部１０、塗布部材５をＹ方向に位置決めするＹ軸駆動部８と、Ｙ軸部と一体駆動可能な様に組み付け、塗布部材を回転させるθ軸駆動部１１で構成し、塗布部材に対して上記塗布ロボットの各軸を選択して塗布を行う。また、各種の塗布に対しては、塗布ロボットを単体から定ピッチで連結可能な構成とすることによりシステム化対応まで可能となり、塗布部材に対し最適な塗布ができる。また塗布に関連する各種の機能ヘッドにおいても、取付互換性を持たせて選択搭載し、各種塗布部材に対して最適な構成で液剤塗布をする。 （もっと読む）

【課題】塗膜を基材に塗布し、機能性シートを得る製造方法に関し、間欠塗布時の始終端部の厚みを均一にし、終端直線性に優れる機能性シートが形成可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】２つのロール２、３の間隙に、塗料６およびシート状の基材７を通過させることにより、基材に塗膜を転写し、塗布シート９を得る。塗膜を転写する前に、基材の塗膜を転写する側の面の転写させない領域にマスク８を密着させ、マスク上に塗膜を転写した後にマスクを基材から離間するマスク脱着機構１３を備えた。 （もっと読む）

【課題】自動車の車体の塗装システムにおいて、車体を搬送させながら被処理液中に前転回動させて浸漬処理する手段として活用出来る走行型浸漬処理装置を提供する。
【解決手段】搬送用走行体(1)には、その走行速度を車体(W)を前転回動させる回転軸(4)の回転角(θ)に対応して制御する走行速度制御装置(6)が設けられ、この走行速度制御装置(6)が、車体(W)が回転軸(4)の真上で水平に位置する正立姿勢から前転方向の９０度回倒姿勢に達するまでは、回転軸(4)から一定距離を隔てた車体(W)側の基準位置(P)に対する基準搬送速度に対して搬送用走行体(1)の前進速度を漸減させ、９０度回倒姿勢から２７０度回倒姿勢に達するまでは搬送用走行体(1)の前進速度を前記基準搬送速度に対して漸増させ、２７０度回倒姿勢から元の正立姿勢に戻るまでは搬送用走行体(1)の前進速度を前記基準搬送速度に対して漸減させる制御を行う構成。 （もっと読む）

【課題】接着剤塗布装置および接着剤塗布方法において、接着剤を塗布する際、接着剤が過剰に塗布された場合でも、過剰分を被塗布体から除去して被塗布体に塗布される接着剤の量を調整する。
【解決手段】被塗布体Ｗに接着剤６を供給するシリンジ７と、接着剤６を毛細管現象によって吸引するスリット１３ａが設けられたカラスグチ１３と、カラスグチ１３を被塗布体Ｗに対して相対移動させ、カラスグチ１３を被塗布体Ｗに供給された塗布接着剤４に接触させるテーブル１２および電動ガイド１１と、を備える。 （もっと読む）