【課題】外周面へのプラズマ処理が低減された導電性樹脂チューブを製造することが可能な導電性樹脂チューブの製造方法、導電性樹脂チューブの製造装置、およびその導電性樹脂チューブを用いたローラの製造方法を提供する。
【解決手段】導電性樹脂チューブ前駆体を第１の電極とし、導電性樹脂チューブ前駆体の内側に配置された電極を第２の電極として、第１の電極と第２の電極との間に電圧を印加することによってガスのプラズマを発生させて、導電性樹脂チューブ前駆体の内周面をプラズマにより連続的に処理する導電性樹脂チューブの製造方法および導電性樹脂チューブの製造装置、ならびにそのようにして製造された導電性樹脂チューブを用いたローラの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】プラズマＣＶＤによる成膜と、蒸発源を用いる成膜とを、成膜空間を大気圧に開放することなく、連続して行うことのできる成膜装置を提供する。
【解決手段】蒸発材料８ａが充填される坩堝８ｂの開口には、開閉可能な遮蔽部材８ｃが配置され、遮蔽部材８ｃは、プラズマ源２の陽極を兼用する。これにより、プラズマＣＶＤ工程では、陽極を兼用する遮蔽部材８ｃによって蒸発材料８ａを遮蔽することができるため、蒸発材料８ａに膜が付着しない。また、遮蔽部材８ｃを陽極とすることにより、遮蔽部材８ｃがプラズマの放電に影響を与えない。また、遮蔽部材８ｃを開放し、蒸発材料８ａを蒸発させて蒸着工程を行うことができる。遮蔽部材８ｃがプラズマ５ａで加熱されるため、遮蔽部材８ｃの内側に付着する蒸発物を蒸発させて除去することも可能である。 （もっと読む）

【課題】紙やプラスチックを原料とした板紙やプラスチックシート、あるいは紙容器、またはプラスチックボトルの２次平面、あるいは３次曲面の表面プラズマＣＶＤ法で成膜する成膜装置に関する。詳しくは、圧力が１００Ｐａから０．５Ｐａの領域で成膜する成膜装置に関する。
【解決手段】
１つの筐体からなるサブチャンバーに複数のメインチャンバーが整列し、その内部に収納されたプラスチック容器の内面に全数同時にプラズマＣＶＤ法で薄膜を形成する装置であって、メインチャンバーあるいはサブチャンバーに組み込んで容器から流れ出る生成ガスの排出速度を調整する部材が具備されていることを特徴とする成膜装置。 （もっと読む）

【課題】投入電力を増大させても、放電の広がり、短絡、アーク放電、ガス雰囲気の性能低下現象が生じ難いプラズマ処理シートの製造装置を提供すること。
【解決手段】対向する放電電極５と対極電極３を有し、放電電極５と対極電極３の間の放電により形成されるプラズマ処理域を連続して走行するシート６が通過するシート走行路を有し、放電電極５または対極電極３の少なくとも一方の電極の表面が誘電体２により被覆されているプラズマ処理シートの製造装置において、プラズマ処理域を外界から実質的に遮蔽するプラズマチャンバ１０が設けられ、プラズマチャンバ１０に、チャンバ内に希ガス類元素を含有する気体を送給するための気体送給口１３、ならびに、シート走行路の入口１１および出口１２が設けられ、シート走行路の入口１１の外側に、走行路の入口１１の近傍においてシート走行路に向かい加圧気体を送給する加圧気体送給口３１を有する気体チャンバ３２を設ける。
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大気圧グロー放電プラズマＡＰＧ（７）を発生させるための方法及び装置（１）であって、複数の電極（４，５）が配置され、この複数の電極（４，５）が前記プラズマ（７）を形成するための放電空間を規定する。電極（４，５）は、電源（８）に接続され、この電源（８）は、少なくとも５０ｋＨｚの周波数を有するＡＣ電圧を電極（４，５）に供給する。ガス状物質（６）は、前記放電空間に供給され、少なくとも、アルゴン、窒素、および空気より成る。
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