【課題】投入電力を増大させても、放電の広がり、短絡、アーク放電、ガス雰囲気の性能低下現象が生じ難いプラズマ処理シートの製造装置を提供すること。
【解決手段】対向する放電電極５と対極電極３を有し、放電電極５と対極電極３の間の放電により形成されるプラズマ処理域を連続して走行するシート６が通過するシート走行路を有し、放電電極５または対極電極３の少なくとも一方の電極の表面が誘電体２により被覆されているプラズマ処理シートの製造装置において、プラズマ処理域を外界から実質的に遮蔽するプラズマチャンバ１０が設けられ、プラズマチャンバ１０に、チャンバ内に希ガス類元素を含有する気体を送給するための気体送給口１３、ならびに、シート走行路の入口１１および出口１２が設けられ、シート走行路の入口１１の外側に、走行路の入口１１の近傍においてシート走行路に向かい加圧気体を送給する加圧気体送給口３１を有する気体チャンバ３２を設ける。
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