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Fターム[4F073CA08]の内容

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Fターム[4F073CA08]に分類される特許

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【課題】放電の安定化と、安定した処理ガス供給を両立する、シート表面に十分な改質効果を与えるシートのプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】放電電極23と該放電電極に対向して配置される対極電極11とを有し、前記放電電極と前記対極電極の間を、前記対極電極に密着して連続的に走行するシート21が通過するシート走行路、および前記シート走行路へガスを供給するガス供給手段20を有するプラズマ処理装置において、前記放電電極23および前記ガス供給手段20が、シート走行方向に沿って交互に配置され、かつ、前記シートの幅方向に延在した構造を有し、また、前記ガス供給手段20が、該ガス供給手段の前記対極電極11側の領域に前記ガスを供給する開口部44を有し、該開口部44が、前記放電電極の前記対極電極11から最も離れた面よりも、前記対極電極11に近い位置に配置された構造を有する、シートのプラズマ処理装置。 (もっと読む)


【課題】表面改質後にフッ素樹脂の特性を有し、大気圧雰囲気下で励起ガスを照射して表面改質処理が可能なフッ素樹脂成形体を提供することである。
【解決手段】本発明は、フッ素樹脂改質面を形成したフッ素樹脂成形体において、レーザーラマン分光スペクトルを測定して、GバンドとCFバンドからバックグランドのスペクトル強度を差引いたとき、ピーク強度Iとピーク強度ICFの強度比I/ICF2が0〜0.01の範囲にあり、1000cm−1のスペクトル強度をI1000、2000cm−1のスペクトル強度をI2000としたとき、ΔItr=|(I2000−I1000)|/ICF2が0〜0.1の範囲にあり、前記フッ素樹脂改質面上で所定区間平面の区間平面積をSとし、前記所定区間平面内にある前記フッ素樹脂改質面の表面積をSとしたとき、前記フッ素樹脂改質面の改質表面積率R=S/Sが1.2以上であるフッ素樹脂成形体である。 (もっと読む)


【課題】 基板とシート部材とによって構成される試料操作素子に対し、その操作構造での所望の領域を選択的に親水化処理することが可能な試料操作素子の表面処理方法、及び処理装置を提供する。
【解決手段】 下部基板12と、上部シート部材14とを有する試料操作素子10を載置するステージ20と、素子10にレーザ光Lを供給するレーザ光源30と、素子10に対し、シート部材14側からまたは基板12側から所定の照射光軸Axに沿って、シート部材と基板との間に形成された操作構造内にビームウエストが位置する集光条件でレーザ光Lを照射する集光光学系35とによって表面処理装置1Aを構成する。そして、試料操作素子10の操作構造内において、レーザ発生プラズマにより、シート部材14で操作構造を構成している凹状構造部の内側表面を親水化処理する。 (もっと読む)


【課題】電圧を印加することにより光の透過率が変化し、かつ、高い安全性を有する合わせガラスを製造できるエレクトロクロミックシート、該エレクトロクロミックシートを用いた調光シート、調光体、合わせガラス用中間膜、及び、合わせガラスを提供する。
【解決手段】芳香環を有するエレクトロクロミック化合物を含有し、一方の面の水に対する接触角が30〜80°であるエレクトロクロミックシート。 (もっと読む)


【課題】 基材表面に位置する官能基がアミド化や窒化することを防ぎつつ、また酸素結合に頼ることなく層間密着力を向上させることを可能としたガスバリアフィルムの製造方法及び係る製造方法によるガスバリアフィルムを提供する。
【解決手段】 基材となるプラスチックフィルムの表面に対し、不活性ガス導入下において、気圧が1×10−1〜1×10−3torrという環境下にて予めプラズマ処理を施すプラズマ処理工程と、前記プラズマ処理工程を実施した後に、その表面にガスバリア性を有するガスバリア層を積層してなるガスバリア層積層工程と、を備えてなる製造方法、及び該方法により得られるガスバリアフィルムとした。 (もっと読む)


【課題】反応成分を含む反応ガスを活性化させて被処理フィルムを表面処理する際、反応成分を十分に反応させ、かつ電極に汚れが付着するのを防止する。
【解決手段】主処理部10の第1ロール電極11及び第2ロール電極12に被処理フィルム9を掛け回す。ロール電極11,12の回転により被処理フィルム9を電極11から電極12へ搬送する。電極11,12間の主放電空間19より搬送方向の上流側又は放電空間19内のフィルム19にノズル23から反応ガスを吹き付ける。主処理部10より搬送方向の下流に再活性化部30を設ける。好ましくは、再活性化部30の後段電極31を第2ロール電極12と対向させ、第2ロール電極12を再活性化部30の他方の後段電極として兼用する。反応成分を含まない放電生成ガスをガス供給部33から電極31,12間に供給する。 (もっと読む)


【課題】重合性モノマーを含む反応ガスにて偏光板用保護フィルム等の被処理フィルムをプラズマ処理する際の処理性能を高める。
【解決手段】反応ガスの供給源21から延びる供給管30の先端に反応ガスノズル40を連ねる。反応ガスノズル40を電極11,12間の処理領域13に臨ませる。反応ガスノズル40内に介装部材50を設ける。供給管30及び反応ガスノズル本体41を非金属材料にて構成し、好ましくは樹脂にて構成する。介装部材50を金属にて構成する。反応ガス中の重合性モノマーとして、金属を触媒として重合可能なアクリル酸等を用いる。 (もっと読む)


【課題】外周面へのプラズマ処理が低減された導電性樹脂チューブを製造することが可能な導電性樹脂チューブの製造方法、導電性樹脂チューブの製造装置、およびその導電性樹脂チューブを用いたローラの製造方法を提供する。
【解決手段】導電性樹脂チューブ前駆体を第1の電極とし、導電性樹脂チューブ前駆体の内側に配置された電極を第2の電極として、第1の電極と第2の電極との間に電圧を印加することによってガスのプラズマを発生させて、導電性樹脂チューブ前駆体の内周面をプラズマにより連続的に処理する導電性樹脂チューブの製造方法および導電性樹脂チューブの製造装置、ならびにそのようにして製造された導電性樹脂チューブを用いたローラの製造方法である。 (もっと読む)


【課題】オレフィン系モノマー重合フィルムの接着性を確実に向上させる。
【解決手段】モノマー供給系2によって、水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーを含むモノマー混合ガスをオレフィン系モノマー重合フィルム11に吹き付け接触させる。上記2種類のモノマーは、好ましくは互いに混合させずにフィルム11の近傍まで導いて混合する。凝縮手段56によって、モノマー混合ガス中の水溶性モノマー及びオレフィン系モノマーをフィルム11の表面上で凝縮させる。凝縮の後、プラズマ照射手段4によってフィルム11に大気圧近傍プラズマを照射する。上記モノマー混合ガス中のオレフィン系モノマーの体積濃度を水溶性モノマーの体積濃度の1.1倍以上とする。 (もっと読む)


【課題】大気からの不純物ガスの混入を抑制でき、高分子材料の表面改質特性に優れたプラズマ処理を行うことができるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】ガス流路rを備えたノズル20と、ノズル20を挟んで対向配置され、ガス流路r内で略大気圧下で放電を発生させ、処理ガスの励起活性種を生成させるための1対の放電電極4及び5と、ノズル20並びに放電電極4及び5が内部に配置され、処理ガスの送出方向z両端に開口部を有する一体成形された電極ホルダ6と、少なくともノズル20を、放電電極5の側から電極ホルダ6内の基準面に向かって押圧して電極ホルダ6に固定する固定部材と、電極ホルダ6の一端に設けられ、ガス流路rの一端から処理ガスを導入するためのガス導入部材3と、電極ホルダ6の他端を閉塞するとともに、ガス流路rから前記励起活性種を含む処理ガスを排出する排出口を有する閉塞部材11と、を備える。 (もっと読む)


【課題】大幅に高い誘電率及び相対的に高い絶縁破壊強度を有する材料を識別する。ポリマー系電子装置に用いられる高品質ポリマー材料を製造する。
【解決手段】本発明の一観点では、ポリマーの絶縁破壊強度を高める方法を記載する。この方法は、ポリマーを提供するステップと、ポリマーの表面を反応室において所定のプラズマ条件の下で気体プラズマと接触させるステップとを含んでいる。ポリマーは、少なくとも約150℃のガラス転移温度を有するポリマー及び少なくとも一つの無機成分を含むポリマー複合材料から成る群から選択される。気体プラズマとの接触は、付加的な化学的官能性をポリマー・フィルムの表面領域に組み込むのに十分な時間にわたって実行されて、処理済みポリマーを提供する。また、物品及び製造方法が提供される。 (もっと読む)


【課題】高分子基材上に堆積物を発生させることなく、選択的に官能基を高分子基材表面に形成でき、かつプロセス適応性が高い高分子基材の処理方法を提供する。
【解決手段】大気圧またはその近傍の圧力下で、ガス成分を励起してプラズマ化することで活性種を発生させる第一の工程と、前記活性種を高分子基材の表面に輸送して、高分子基材の表面を処理する第二の工程と、を含んでなるプラズマ処理方法であって、前記ガス成分の中に、処理剤として一級アルコールであって、α−炭素ラジカルを有する構造が酸素ラジカルを有する構造より計算科学的手法により算出したギブスの自由エネルギーの小さい化合物が含まれ、かつ、前記第一の工程および第二の工程における雰囲気が水成分を実質的に含まない、プラズマ処理方法。 (もっと読む)


【課題】接着性が相対的に低い樹脂フィルムの接着性を向上させる表面処理における放電を安定化させ、かつガスノズルの設計の自由度を確保する。
【解決手段】重合性モノマーの蒸気を含有する重合性モノマー含有ガスを重合性モノマー供給系3の第1ノズル32から吹出し、難接着性樹脂フィルム11の表面の被処理箇所に接触させ、被処理箇所に重合性モノマーを担持させる。プラズマ処理部2では、重合性モノマー含有ガスとは別のプラズマ生成用ガスを放電空間20aに導入するとともに上記担持工程後の被処理箇所に接触させる。重合性モノマーは、好ましくはアクリル酸又はメタクリル酸であり、より好ましくはアクリル酸である。 (もっと読む)


【課題】チューブ状フィルムの変形を抑止し、内周面処理のばらつきを抑えることができるチューブ状フィルム内周面処理装置および処理方法を提供する。
【解決手段】チューブ状フィルムの内周面で取り囲まれた空間内に棒状電極3を挿通し、棒状電極を挿通した状態でチューブ状フィルムを導電性液体中16に浸漬させ、棒状電極と導電性液体との間で発生させたプラズマによってチューブ状フィルムの内周面を処理するために用いられる装置であって、棒状電極と、チューブ状フィルムを支持するための支持体1と、空間内にガスを導入するためのガス導入路7,8と、空間内から排出されたガスを流すためのガス配管9と、ガス配管の一端を浸漬するための液体12を備えた圧力調整部38と、を含み、ガス配管の液体中への浸漬深さによって空間内の圧力を調整することができる処理装置とその処理装置を用いたチューブ状フィルム内周面処理方法である。 (もっと読む)


【課題】高い処理能力を備えることができ、処理ガスの使用量を削減できるプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】プラズマ処理装置は、被処理基材の搬入口および搬出口を有する筐体と、前記筐体内に設けられプラズマを発生させて前記被処理基材を処理するプラズマ処理部と、前記搬入口とプラズマ処理部とを接続する搬入路と、プラズマ処理部と前記搬出口とを接続する搬出路と、前記被処理基材を前記搬入路と搬出路を通って搬送する搬送部と、前記搬入路および搬出路の少なくとも一方に吸引口が露出しプラズマ処理部から気体を吸引する吸引部と、プラズマ処理部に設けられ前記被処理基材の搬送方向に沿って配列された複数対の対向電極と、プラズマ処理部に設けられ処理ガスを各対向電極間へ供給する処理ガス吹き出し部と、処理ガス吹き出し部の処理ガス供給量を設定する設定部とを備え、前記設定部は前記吸引口に近い処理ガス吹き出し部ほど処理ガス供給量が少なくなるように処理ガス供給量を設定する。 (もっと読む)


【課題】連続フィルム状又は連続シート状の基材をロール電極でプラズマ処理する際、折り返し用部材との接触で被処理面が損傷したりパーティクルが発生したりするのを防止する。
【解決手段】一対のロール電極20どうしの間に放電空間となるギャップ21を形成する。基材90を、一方のロール電極20Lの上側部分に巻き付けるとともに、ギャップ21に通してそこより下方においてループ状に曲げ、再び前記ギャップ21に通して他方のロール電極20Cの上側部分に巻き付けた状態で、ロール電極20どうしを互いに同方向に回転させる。基材90のループ状曲げ部分91をフリー状態とする。 (もっと読む)


【課題】プラズマCVDによる成膜と、蒸発源を用いる成膜とを、成膜空間を大気圧に開放することなく、連続して行うことのできる成膜装置を提供する。
【解決手段】蒸発材料8aが充填される坩堝8bの開口には、開閉可能な遮蔽部材8cが配置され、遮蔽部材8cは、プラズマ源2の陽極を兼用する。これにより、プラズマCVD工程では、陽極を兼用する遮蔽部材8cによって蒸発材料8aを遮蔽することができるため、蒸発材料8aに膜が付着しない。また、遮蔽部材8cを陽極とすることにより、遮蔽部材8cがプラズマの放電に影響を与えない。また、遮蔽部材8cを開放し、蒸発材料8aを蒸発させて蒸着工程を行うことができる。遮蔽部材8cがプラズマ5aで加熱されるため、遮蔽部材8cの内側に付着する蒸発物を蒸発させて除去することも可能である。 (もっと読む)


本発明は、導電路(1)をプラスチック部品(2)に形成するための製造方法に関する。前記導電路に沿ってエネルギー供給を移動させながら行うことにより、前記プラスチック部品(2)のプラスチック材料(18)を導電性物質に変換することを提案する。本発明はさらに、プラスチック基板(13)上に配置され導電路(1)を有する電気回路にも関する。
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【課題】表層と中間層との接着が確実であり、高温等の過酷な使用環境で長期にわたって信頼性を有する画像形成装置用の多層エンドレスベルトを提供する。
【解決手段】ベース層上に、エラストマーを有する中間層と、フッ素含有ポリマーにより形成される表層とがこの順に形成された画像形成装置用の多層エンドレスベルトであって、前記表層の前記中間層と接着がなされる面には、プラズマ処理が施されており、前記プラズマ処理は、前記表層が配置された処理空間内を、所定のガスで処理空間外より高く、かつプラズマを発生させる圧力雰囲気にして、前記処理空間内で、前記表層の表面をプラズマ処理していることを特徴とする画像形成装置用の多層エンドレスベルト。 (もっと読む)


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