【課題】フッ素樹脂フィルムと被着材との接着強度が高く、フッ素樹脂フィルムの改質効果が長期間持続する表面改質フッ素樹脂フィルム、その製造方法、その製造装置、表面改質フッ素樹脂フィルムを含む複合体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】フッ素樹脂フィルム層(15)の少なくとも一表面にプラズマ−モノマー重合層(16)を有する表面改質フッ素樹脂フィルムであって、プラズマ−モノマー重合層(16)は、プラズマを照射しながら前記フッ素樹脂フィルム層に帯電する電荷を除去した状態で、反応性不飽和基を含むモノマーをグラフト重合させた均一な薄膜層である。プラズマ−モノマー重合層(16)の上に被着材(17)を接着させ、フッ素樹脂フィルム層(15)と被着材(17)を剥離させると、プラズマ−モノマー重合層(16)より上の部分で破壊する。 （もっと読む）

【課題】重合性モノマーを含む反応ガスにて偏光板用保護フィルム等の被処理フィルムをプラズマ処理する際の処理性能を高める。
【解決手段】反応ガスの供給源２１から延びる供給管３０の先端に反応ガスノズル４０を連ねる。反応ガスノズル４０を電極１１，１２間の処理領域１３に臨ませる。反応ガスノズル４０内に介装部材５０を設ける。供給管３０及び反応ガスノズル本体４１を非金属材料にて構成し、好ましくは樹脂にて構成する。介装部材５０を金属にて構成する。反応ガス中の重合性モノマーとして、金属を触媒として重合可能なアクリル酸等を用いる。 （もっと読む）

【課題】チューブ状フィルムの変形を抑止し、内周面処理のばらつきを抑えることができるチューブ状フィルム内周面処理装置および処理方法を提供する。
【解決手段】チューブ状フィルムの内周面で取り囲まれた空間内に棒状電極３を挿通し、棒状電極を挿通した状態でチューブ状フィルムを導電性液体中１６に浸漬させ、棒状電極と導電性液体との間で発生させたプラズマによってチューブ状フィルムの内周面を処理するために用いられる装置であって、棒状電極と、チューブ状フィルムを支持するための支持体１と、空間内にガスを導入するためのガス導入路７，８と、空間内から排出されたガスを流すためのガス配管９と、ガス配管の一端を浸漬するための液体１２を備えた圧力調整部３８と、を含み、ガス配管の液体中への浸漬深さによって空間内の圧力を調整することができる処理装置とその処理装置を用いたチューブ状フィルム内周面処理方法である。 （もっと読む）

【課題】 本願発明にあっては、低コストで防汚性に優れたハードコート層を形成するためのハードコート塗液およびハードコートフィルムを提供することを課題とする。
【解決手段】 少なくとも電離放射線硬化型材料とフッ素系表面調整剤あるいはシリコーン系表面調整剤と溶媒とを含むハードコート塗液であって、前記ハードコート塗液から前記溶媒成分と前記フッ素系表面調整剤あるいはシリコーン系表面調整剤成分とを除いた成分の重量平均溶解度パラメーター（δ）が２１．５以上であることを特徴とするハードコート塗液とした。さらには、前記ハードコート塗液から前記フッ素系表面調整剤あるいはシリコーン系表面調整剤成分を除いた成分の重量平均溶解度パラメーター（δ）が１９．０以上であることを特徴とするハードコート塗液とした。 （もっと読む）

【課題】プラズマの発生エネルギーを損なう事無く、成膜対象となる３次元中空容器及び誘電体冶具に発生する不意の損傷を防げるようにする。
【解決手段】プラズマ処理を行う処理槽と、プラズマを発生させる為の高周波電源と、プロセスガス供給装置と、真空排気装置とを備えた３次元中空容器（８）に成膜を行うプラズマ処理装置において、
前記３次元中空容器（８）が収納出来る空隙を設けた誘電体で構成されている冶具（７，９，１０，１４）の、高周波電力のホット側（１）とアース側（５）のいずれからも電気的に絶縁された箇所に、導電性を有する部品（１２，１３）を配置した事を特徴とする成膜装置。 （もっと読む）

【課題】高分子フィルムを基材とし、有機ＥＬ等に向けたハイバリア化を可能とする真空成膜装置、高分子フィルム積層体の製造方法ならびに高分子フィルム積層体を提案する。
【解決手段】成膜時のフィルム表面の温度をコントロールし、表面に膜を形成するための温調入りメインロール３４と、マグネトロンを備えホロカソード放電が可能な電極３６と、原料導入パイプ３８を備える真空成膜装置によりなる。 （もっと読む）

【課題】 フィルムに損傷を与えることなく、フィルムの寸法安定性を維持して低温プラズマによる表面改質処理を行うことのできる、連続した長尺フィルムの低温プラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】 フィルムの表面改質処理を行うための装置であって、フィルムを連続的に巻き出す巻出し装置を備えた第１の真空容器と、プラズマ処理を行う第２の真空容器と、プラズマ処理後のフィルムを連続的に巻き取る巻取り装置を備えた第３の真空容器とを有し、各真空容器がフィルムの流れ方向に接続されていることを特徴としている。 （もっと読む）

本発明は、ポリマー成形品の表面処理装置を提供する。動作において、ポリマー成形品は、製品装着及び解放ユニット（２０）に、ジグ（１１）によって保持され、そして製品送りユニット（１０）によって移送される。第１の不純物除去ユニット（３０）は製品の表面を清浄にする。製品は、入口真空ユニット（４０）を通り、製品表面のイオン処理ユニットに入る。イオン処理ユニットは、イオン電流を制御し、そして雰囲気ガス供給ユニット（６０）から供給されるガスを用いてプラズマカチオンを生成し、またプラズマイオンは製品の表面上で一様に走査される。表面処理済みの成形品は、第２の不純物除去ユニットを通り、製品装着及び解放ユニットに送られ、そこでジグは処理済の製品を新しい製品に交換する。 （もっと読む）

【課題】投入電力を増大させても、放電の広がり、短絡、アーク放電、ガス雰囲気の性能低下現象が生じ難いプラズマ処理シートの製造装置を提供すること。
【解決手段】対向する放電電極５と対極電極３を有し、放電電極５と対極電極３の間の放電により形成されるプラズマ処理域を連続して走行するシート６が通過するシート走行路を有し、放電電極５または対極電極３の少なくとも一方の電極の表面が誘電体２により被覆されているプラズマ処理シートの製造装置において、プラズマ処理域を外界から実質的に遮蔽するプラズマチャンバ１０が設けられ、プラズマチャンバ１０に、チャンバ内に希ガス類元素を含有する気体を送給するための気体送給口１３、ならびに、シート走行路の入口１１および出口１２が設けられ、シート走行路の入口１１の外側に、走行路の入口１１の近傍においてシート走行路に向かい加圧気体を送給する加圧気体送給口３１を有する気体チャンバ３２を設ける。
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