【課題】テンプレート表面に充填性と離型性を両立した離型層を形成する。
【解決手段】本実施形態では、インプリント処理時に光硬化性樹脂に接触させる凹凸を有するパターン面を備えたテンプレートの表面処理を行う。この表面処理方法は、テンプレート１のパターン面に第１シランカップリング剤を供給する工程と、テンプレート１のパターン面に第２シランカップリング剤を供給する工程と、を備えている。第１シランカップリング剤を使用してテンプレート表面に形成する離型層は、第２シランカップリング剤を使用してテンプレート表面に形成する離型層と比較して、前記光硬化性樹脂に対する接触角及び水に対する接触角が低い。 （もっと読む）

【課題】本発明は、単レンズの表面に樹脂層を形成する際に、単レンズと樹脂層との光軸のずれを小さくした複合光学素子の製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】吸引ノズル２２ｂを有し、単レンズを吸引、保持する吸引保持型２２と、単レンズを支持する単レンズ支持部材２３と、紫外光を透過可能で樹脂層をプレス成形する樹脂層成形型２４と、小径孔２５ａを上部に、小径孔２５ａよりも径の大きい大径孔２５ｂを下部に有し、これらが１つの貫通孔として形成され、小径孔２５ａの下側開口部が、単レンズの傾斜面と同じ角度で、単レンズの傾斜面と輪環状に接触可能な対応傾斜面２５ｃとされ、かつ、小径孔２５ａと大径孔２５ｂの軸が一致して設けられている胴型２５と、樹脂層のプレス成形時に、下方から樹脂層成形型２４を透過させて樹脂層に紫外線を照射する紫外線照射手段２６と、を有する複合光学素子の製造装置２１。 （もっと読む）

【課題】加工時間が短く、工具としての寿命が長く、像形成品質が高いパターン形成型及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係るパターン成形型は、被加工材の表面に、凹凸を有するパターンを転写するパターン成形型であって、基材１と、基材１に中間層２、３を介して接合されたＤＬＣパターン層４ｂとで構成され、基材１が、剛性を有する金属、セラミックス、又はガラスであり、中間層２、３が、基材１及びＤＬＣパターン層４ｂとの接合性を提供し、かつ、ＤＬＣパターン層４ｂに比べ、エッチングレートが小さい層であり、ＤＬＣパターン層４ｂに、被加工材の表面に転写するパターンが形成されている。 （もっと読む）

【課題】金型の表面の温度分布を均一にすることができ、コストを減少できる加熱装置付き金型を提供する。
【解決手段】上結合面１１を有する上型１０と、導電可能な導電層２１と、導電層２１の表面に設けられて上結合面１１に向いている下結合面２１１と、導電層２１の表面に設けられて下結合面２１１の反対側にある絶縁面２１２と、絶縁面２１２に絶縁的に結合される絶縁層２２と、を有し、上型１０に型合せ可能である下型２０と、下型２０の導電層２１に導電可能に設けられる二つの導電板３０と、導電板３０に導電可能に設けられ、その電気抵抗係数が導電層２１の電気抵抗係数よりも小さい二つの導電ケーブル４０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】極めて平坦度が高く、かつ、微小欠陥（凹状欠陥、凸状欠陥）を低減したマスクブランク用ガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】研磨パッド２１，１１が貼り付けられ上下に対向して設けられた上定盤２０と下定盤１０との間に、複数のガラス基板を挟持し、ガラス基板に上定盤側２０より研磨液を供給しながら、ガラス基板の両主表面を両面研磨する。ガラス基板の形状は四角形で、そのコーナー部においてノッチマークを少なとも１以上有する。ガラス基板の上記両面研磨は、ノッチマークが形成されていない一方の主表面を上定盤２０側にセットして行う。 （もっと読む）

【課題】成形サイクルを短縮しつつも、簡素な構成を用いて優れた外観品質の光学部品を安定して成形できる成形装置を提供する。
【解決手段】断熱層５２ｃ、４２ｃにより、型空間ＣＶからコア型５２，４２への熱伝導が抑制されるので、溶融樹脂の温度が保たれ、コア型５２，４２の転写面形状を精度良く転写できる。又、高熱伝導母材５２ｄ、４２ｄにより速やかに熱を分散させることで、溶融樹脂の熱がこもって局所的な偏りが生じることが抑制され、温度の不均一性を解消できる。 （もっと読む）

【課題】反射率を低減するのみならず、優れた防曇性が付与された眼内観察用レンズ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】レンズ本体部と、角膜上に保持されるレンズ下面と、前記レンズ上面及び前記レンズ本体部を介して眼内を観察するためのレンズ上面とを有する眼内観察用レンズにおいて、前記眼内観察用レンズが疎水性ポリマーを含む高分子物質からなり、前記レンズ上面は疎水性を有し、かつ１８０ｎｍ以下のピッチの微細突起を有する。 （もっと読む）

【課題】高温の樹脂の初期冷却を遅延化するに優れた効果を有し、大型で精密構造の樹脂部品、フィルムやプレートの製造が容易な樹脂精密成形用金型に好適に適用できる断熱材ならびにこれを断熱層に用いた樹脂成形用金型を提供する。
【解決手段】本発明の断熱材は樹脂成形用金型の基材上に直接溶射により形成される断熱材であって、過冷却液体温度領域（ΔＴｘ）が３０℃以上で、且つガラス遷移温度（Ｔｇ）が成形材料である樹脂の融点よりも３０℃以上高く、熱伝導率が１〜２０Ｗ／（ｍ・Ｋ）であり、線膨張係数が７×１０^−６〜１５×１０^−６／℃である金属ガラスの溶射被膜からなる。該断熱材は、厚みが１００μｍ以上、２０００μｍ以下であり、金型基材と接する面積が１００ｍｍ^２以上であることができる。また、本発明にかかる樹脂成形用金型は、金型基材表面に直接溶射により形成された前記断熱材を断熱層として備える。 （もっと読む）

【課題】外部環境からの熱に起因した熱変形を低減するのに有利な型を提供する。
【解決手段】この型８は、被処理体１３に対して成形すべきパターンが形成されたパターン部８ａを有する。パターン部８ａが設置されている側の面は、パターン部８ａが配置された第１面と、パターン部８ａが配置されていない第２面８ｂとを含む。型８は、第２面８ｂの表面に、外部環境からの熱を拡散させる熱拡散膜４０（４２、４５）を有する。 （もっと読む）

【課題】テンプレートの洗浄時間を短縮できるテンプレート洗浄装置を提供すること。
【解決手段】実施形態のテンプレート洗浄装置は、表面に凹凸パターンおよび溝部が形成されているインプリント用のテンプレートの前記溝部のイメージを取得するためのイメージ取得手段１０を具備する。実施形態のテンプレート洗浄装置は、さらに、前記イメージ取得手段１０により取得された前記溝部のイメージと、予め取得しておいた基準イメージとを比較して、前記テンプレートの洗浄時間を決定する機能を含む洗浄時間決定手段１２を具備する。実施形態のテンプレート洗浄装置は、さらに、前記洗浄時間決定手段１２により決定された洗浄時間に基づいて、前記テンプレートを洗浄するための洗浄手段１３を具備する。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、スタンパのゆがみを補正するスタンパの変形機構を有しながらもスタンパの面方向における小型化を達成することができる微細構造転写装置を提供することにある。
【解決手段】微細構造を有するスタンパ２を用いて、被転写体１上の光硬化性樹脂組成物に微細構造を転写する微細構造転写装置１５において、前記スタンパ２は、前記微細構造が形成される微細構造形成層４と、この微細構造形成層４における前記微細構造の形成面の反対側で、この微細構造形成層４に沿うように設けられる光照射層５と、この光照射層５における前記微細構造形成層４側の面と反対の面に配置されると共に、前記スタンパ２を前記被転写体１側に凸となるように湾曲させる圧電素子６と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 パターンを精度よく形成できるインプリント方法に有用な技術を提供する。
【解決手段】 インプリントにおいて使用される型は、パターン面を有するパターン部と、型保持体に結合されるベースと、前記パターン部と前記ベースとを結合する結合部とを備える。前記結合部は、前記パターン面に直交する方向における前記型の剛性が前記パターン面に平行な方向における前記型の剛性より大きくなるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】被転写体の透光性や被転写体の形状を問わず、光を用いたインプリントを行う際、所定のパターンを被転写体に忠実且つ容易に転写するローラーモールド、ローラーモールド用基材及びパターン転写方法を提供する。
【解決手段】回転軸方向に沿う外周部の主表面に所定のパターンが形成されているインプリント用のローラーモールドであって、前記ローラーモールドの内部又は外部から照射される光を前記外周部に対して透過させることにより、前記ローラーモールドの内部から前記所定のパターンの主表面へと前記光を照射自在とする。 （もっと読む）

【課題】インプリント用テンプレートに設ける洗浄耐性に優れたハイコントラストの位置合わせマーク、該マークを備えたテンプレート及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光透過性基材の一主面に凹凸パターンを形成したテンプレート１０を、被加工基板上の光硬化性材料に押し付けると共に、テンプレート１０を介して光硬化性材料を感光させる光を照射することによって、光硬化性材料を光硬化させて凹凸パターンを転写するインプリント方法に用いるテンプレートの位置合わせマーク１３であって、前記位置合わせマーク１３が、光透過性基材を掘り込んで形成した凹凸パターン部と、凹凸パターン部の光透過性基材上に形成された遮光膜パターン部１６からなり、前記遮光膜パターン部１６が遮光膜１４と該遮光膜上に設けた耐洗浄性保護膜１５との２層膜で構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】樹脂材料との離型性に優れると共に、基材との密着性が良好であり、しかもスピンコート法による製膜が可能なスピンコート用樹脂鋳型を提供すること。
【解決手段】本発明のスピンコート用樹脂鋳型（１）は、無機基材（１１）と、無機基材（１１）の主面上に設けられ、表面に微細凹凸構造（１２ａ）を有する樹脂層（１２）と、を具備し、樹脂層（１２）は、微細凹凸構造（１２ａ）が形成された表面の表面部におけるフッ素元素濃度（Ｅｓ）が、樹脂層（１２）中の平均フッ素元素濃度（Ｅｂ）より高いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高温軟化抵抗性に優れた高強度金型の製造方法を提供する。
【解決手段】 工具鋼粉末と酸化物粉末との混合粉末であって、質量％でＣ：０．１〜３．０％、Ｃｒ：１．０〜１８．０％を含有し、かつ、体積％で酸化物を０．３〜５．０％含有する混合粉末をメカニカルミリングした後、熱間静水圧プレスによって固化し、型彫り面形状に機械加工して焼入れ焼戻しするか、または、焼入れ焼戻しして型彫り面形状に機械加工する高強度金型の製造方法において、前記熱間静水圧プレスは、プレス時の圧力をＰ（ＭＰａ）、温度をＴ（℃）としたときに、Ｐ≦２００、Ｔ≦１１００であり、かつ、Ｌｏｇ_１０Ｐ≧−０．００１３５×Ｔ＋３．４０の条件で行う金型の製造方法である。好ましくは、Ｔ≦１０５０である。そして、前記混合粉末をメカニカルミリングした後、金型基体の表面に固化する高強度金型の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 パターンを有する領域の寸法のバラツキを抑制しつつ繰り返し再生可能なナノインプリント用モールドを作製する方法を提供する。
【解決手段】 ガラスモールド１における第２のメサ部１２の上面１２ａ上に設けられた樹脂製のパターン樹脂部４０がパターンＰを有している。したがって、ナノインプリント用モールド５０を繰り返し使用してパターンＰに汚れやキズが生じた場合には、酸素アッシング等を行うことにより、パターン樹脂部４０のみを除去して再生することができる。また、パターン樹脂部４０が、ガラスモールド１の主面１ａから突出した第２のメサ部１２の上面１２ａに塗布されたレプリカ用樹脂３０から形成される。したがって、ナノインプリント用モールド５０を繰り返し再生する場合において、パターンＰを有するパターン領域の寸法が、第２のメサ部１２の上面１２ａの寸法にバラツキなく固定される。 （もっと読む）

【課題】モールド部材の加工コストを抑えるのに好適なレンズ製造方法を提供すること。
【解決手段】一対の対向配置されたモールド部材間を封止部材で封止することによって規定されたキャビティにレンズ原料液を注入する注入工程と、キャビティに注入されたレンズ原料液を硬化反応させて一対のモールド部材の各転写面形状を転写させたレンズ基材を得る硬化反応工程と、各転写面形状が転写されたレンズ基材を一対のモールド部材から離型する離型工程とを含み、一対のモールド部材の少なくとも一方の転写面が、削り加工によって加工された削り加工面上に形成された被膜の表面であるレンズ製造方法を提供する。 （もっと読む）