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Fターム[4F202CD22]の内容

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【課題】テンプレート表面に充填性と離型性を両立した離型層を形成する。
【解決手段】本実施形態では、インプリント処理時に光硬化性樹脂に接触させる凹凸を有するパターン面を備えたテンプレートの表面処理を行う。この表面処理方法は、テンプレート1のパターン面に第1シランカップリング剤を供給する工程と、テンプレート1のパターン面に第2シランカップリング剤を供給する工程と、を備えている。第1シランカップリング剤を使用してテンプレート表面に形成する離型層は、第2シランカップリング剤を使用してテンプレート表面に形成する離型層と比較して、前記光硬化性樹脂に対する接触角及び水に対する接触角が低い。 (もっと読む)


【課題】基体からの剥離のおそれがほとんどない、高い精度の凹凸パターンを有するインプリント用モールド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】平坦化剤の塗布により基体主表面の凸凹4を埋めた上で、最表面には所望の凹凸パターン6’が形成されている平坦化剤層6を有することを特徴とするインプリント用モールド。 (もっと読む)


【課題】洗浄によるパターンの劣化を抑制することができるテンプレート処理方法を提供すること。
【解決手段】実施形態のテンプレート処理方法は、主面を有する基板と、前記主面上に形成され、凹部を含む第1のパターンと、前記第1のパターンとは異なる位置に前記主面上に形成され、凹部を含む第2のパターンとを具備し、かつ、前記第1のパターンは第1の材料を含み、前記第2のパターンは前記第1の材料とは異なる第2の材料を含むテンプレート1を処理する。実施形態のテンプレート処理方法は、前記第1および第2の材料とは異なる第3の材料を含む被覆部材11で前記第2のパターンを被覆する。次に、被覆部材11で前記第2のパターンを被覆した状態で、テンプレート1を洗浄する。次に、被覆部材11を除去して前記第2のパターンを露出させる。 (もっと読む)


【課題】合成樹脂製の成形品のリブの裏側の意匠面にテカリが目立たない成形金型の製造方法およびその成形品を提供する。
【解決手段】一方の面にシボが形成されて意匠面となり、その裏面にリブが形成される合成樹脂製の成形品の成形金型3の製造方法である。キャビティ壁面30にシボに対応する凹部31と凸部32がエッチング加工により形成され、次に、凹部31と凸部32の表面に中凹凸33がサンドブラスト加工により形成され、次に、凸部32の表面に小凹凸34がブラッシング加工により形成される。また、この成形金型3により製造され、山部および谷部と、山部の表面に形成される中凹凸と、谷部の表面に形成される小凹凸と、で形成されるシボを有する成形品である。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、高屈折率材料の形成技術や加工技術を要することなく、凹凸構造のアライメントマークを光学的に識別することを可能とし、高いアライメント精度で位置合わせすることができるインプリント用テンプレート、インプリント用テンプレートの製造方法、およびインプリント方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】 テンプレート基板に銀イオンを含有するイオン交換表面層を備えた高エネルギービーム感受性ガラス基板を用い、アライメントマークの凸部における可視光域の光に対する光学濃度を、前記アライメントマークの凹部における可視光域の光に対する光学濃度よりも高くすることにより、上記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】複数の凸部を有し光の反射を防止し得る反射防止フィルムの作製に用いられる型を簡便に製造することができる製造方法を提供する。
【解決手段】型の製法方法は、陽極酸化処理により、金属製基板30の表面30aに複数の孔36を形成する工程と、化学蒸着法または物理蒸着法により、少なくとも隣り合う二つの孔の間に位置する金属製基板の表面に、皮膜40を形成する工程と、を備える。反射防止フィルム10の凸部15を形成するための凹部25が、孔36および皮膜40によって画成される。 (もっと読む)


【課題】成形サイクルを短縮しつつも、簡素な構成を用いて優れた外観品質の光学部品を安定して成形できる成形装置を提供する。
【解決手段】断熱層52c、42cにより、型空間CVからコア型52,42への熱伝導が抑制されるので、溶融樹脂の温度が保たれ、コア型52,42の転写面形状を精度良く転写できる。又、高熱伝導母材52d、42dにより速やかに熱を分散させることで、溶融樹脂の熱がこもって局所的な偏りが生じることが抑制され、温度の不均一性を解消できる。 (もっと読む)


【課題】高温の樹脂の初期冷却を遅延化するに優れた効果を有し、大型で精密構造の樹脂部品、フィルムやプレートの製造が容易な樹脂精密成形用金型に好適に適用できる断熱材ならびにこれを断熱層に用いた樹脂成形用金型を提供する。
【解決手段】本発明の断熱材は樹脂成形用金型の基材上に直接溶射により形成される断熱材であって、過冷却液体温度領域(ΔTx)が30℃以上で、且つガラス遷移温度(Tg)が成形材料である樹脂の融点よりも30℃以上高く、熱伝導率が1〜20W/(m・K)であり、線膨張係数が7×10−6〜15×10−6/℃である金属ガラスの溶射被膜からなる。該断熱材は、厚みが100μm以上、2000μm以下であり、金型基材と接する面積が100mm以上であることができる。また、本発明にかかる樹脂成形用金型は、金型基材表面に直接溶射により形成された前記断熱材を断熱層として備える。 (もっと読む)


【課題】入射光量に対する出射光量の比としての射出効率を低下させることなく、金型の製作を容易にできるとともに、射出成形時に離型し易く、製品良品率の高い樹脂製のフレネルレンズを提供する。
【解決手段】プリズム4の高さをh、プリズムの頂点部の半径をr、フレネルレンズ1の光学機能を有する有効径をD、有効径Dの範囲に含まれるプリズムの数をNとする。この場合以下の式(1)で示されるkの値を0.04〜0.38とする。これによって、フレネルレンズの入射光に対する出射光の比率を示す射出効率を必要十分な状態に維持できる。さらに、金型の製造が容易で、かつ、成形されたフレネルレンズの離型が容易になる。また成形されたフレネルレンズの品質を安定させることができる。
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【課題】高精度の微細パターンを有するインプリント用のパターンの形成方法およびテンプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】基板31にクロム薄膜41を積層し、クロム薄膜41上に重合性樹脂層33を形成して、準備した透明のインプリント用テンプレート10と石英基板31上の重合性樹脂層33とを重ね合わせて、インプリント用テンプレート10のパターンである第1のパターン13により重合性樹脂層33を賦型し、重合性樹脂層33に第1のパターンの逆型形状である凹凸で構成された第2のパターン43を形成する。第2のパターン43をマスクとして石英基板31上に第3のパターン45を形成する。第3のパターン45をマスクとして基板31の表面に凹凸で構成された第4のパターン47を形成する。 (もっと読む)


【課題】マイクロレンズアレイ成形型の作製コストを削減することができると共に、マイクロレンズアレイ成形型によって成形されるマイクロレンズアレイの精度を向上させる。
【解決手段】複数のレンズ部16を有するマイクロレンズアレイ15を成形するマイクロレンズアレイ成形型14の作製方法であって、マイクロレンズアレイ成形型14を構成する型基板11の平坦面11aに溝部12を形成する溝形成工程と、溝部12により区画形成される区画平面11bにレンズ部16を成形するための凹状のレンズ型部13を形成するレンズ型部形成工程と、を有する。 (もっと読む)


【課題】高精細かつ均一なモスアイ構造を賦形可能な反射防止フィルム製造用金型、及び、反射防止フィルム製造用金型の製造方法を提供する。
【解決手段】反射防止フィルム製造用金型は、アルミニウム合金により形成される基材部と、基材部上にアルミニウムにより形成された層であり、その表面に可視光領域の光の波長よりも短い周期で複数の微細孔が配列された酸化皮膜を有する賦形部とを備え、微細孔は、開口部から底部に向かってその径が小さくなるテーパー形状を有しているものとした。また、この反射防止フィルム製造用金型は、アルミニウム層形成工程と、微細孔形成工程を備え、微細孔形成工程は、陽極酸化工程と、第1エッチング工程と、第1エッチング工程のエッチングレートよりも高いエッチングレートでエッチングする第2エッチング工程とを備え、これらの工程を順次繰り返すものとした。 (もっと読む)


【課題】半導体装置等の製造に用いられるインプリント方法において、製造するデバイス
特性の悪化又は微細パターンの加工不良を防止することができるテンプレート及びパター
ン形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
凹部及び凸部を有するパターンが形成された透光性基板と、凹部の底面及び凸部の上面に
形成された金属を含有する遮光膜と、遮光膜上に形成された金属拡散防止保護膜と、を備
えたことを特徴とするテンプレートを用いて、パターンを形成する。 (もっと読む)


【課題】樹脂材料との離型性に優れると共に、基材との密着性が良好であり、しかもスピンコート法による製膜が可能なスピンコート用樹脂鋳型を提供すること。
【解決手段】本発明のスピンコート用樹脂鋳型(1)は、無機基材(11)と、無機基材(11)の主面上に設けられ、表面に微細凹凸構造(12a)を有する樹脂層(12)と、を具備し、樹脂層(12)は、微細凹凸構造(12a)が形成された表面の表面部におけるフッ素元素濃度(Es)が、樹脂層(12)中の平均フッ素元素濃度(Eb)より高いことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 熱成形の賦形から離型の過程において、賦形体を高速で加熱し、あるいは高速で加熱すると共に冷却行程に賦し、特に賦形前の予熱シート温度以上の高温で熱処理を行って離型する熱成形を高速で効率良く連続的に行うことのできる熱成形装置と成形方法を提供する。
【解決手段】
熱可塑性樹脂シートの加熱板による予熱と圧空成形を可能に装備した熱成形装置において、冷却手段を成形型周辺に配置して、加熱板の上昇離反後に成形型の上部に対して上記冷却手段を進退させるか、又は成形型を上記冷却手段の下部に進退可能にして、上記冷却手段から冷却媒体を噴射して上記樹脂シートの賦形体を冷却するように構成し、更に成形型として、熱浸透率(kJ/m2s1/2K)が0.01〜15である材料により成る表面層と、この表面層の背後に接してこの層の全展開面を定常的に均一な温度に調整する手段を含む構成のものを用いる。 (もっと読む)


【課題】固定側型と可動側型とのパーティング面、及び複数に分割された分割入れ子同士の密着を確実にし、成形不良の発生を長期にわたり防止することができる低コストの射出成形用金型及び射出成形用金型の製造方法を提供する。
【解決手段】第1の金型13の入れ子収納部に配設される第1の入れ子14、第2の金型24の入れ子収納部に配設される第2の入れ子26のパーティングライン面が、第1の金型および第2の金型のパーティングライン面Pに対して突出し、第1の入れ子および第2の入れ子のパーティングライン面の一部が形成された面及び第1の金型および第2の金型の入れ子収納部と対向する面を除く他の面と、第1の金型および第2の金型の入れ子収納部のそれぞれ対向する面とが隙間を有している。 (もっと読む)


【課題】発泡樹脂成形品の強度低下を抑制しつつスキン層の一部を開口させて発泡層を露出させることができる発泡樹脂成形品の製造方法を提供する。
【解決手段】発泡樹脂成形品を成形した後にスキン層の一部を開口させて発泡層を露出させる発泡樹脂成形品の製造方法は、本体部40とリブ部50とを一体的に成形する成形ステップと、倒し込み力F1を作用させてリブ部50を折除することにより本体部40のスキン層41の一部を開口させて発泡層42を露出させるリブ部折除ステップとを有し、成形ステップにおいて、リブ部50の倒し込み力作用面部51と反対側の面部52と、該面部52に倒し込み力F1の作用方向に連続する本体部40の面部43との間の角部31に形成されるスキン層52aを、リブ部50の倒し込み力作用面部51に形成されるスキン層51aよりも薄く形成させる。 (もっと読む)


【課題】光源からの光を被照射面に均一に照射し、被照射面を均一に加熱することができる加熱装置及び加熱方法、並びに、転写率や生産性などを向上させることができる成形装置及びプラスチック成形品の成形方法の提供を目的とする。
【解決手段】加熱装置1は、断面形状が正方形のライトパイプ2と、このライトパイプ2と連結され、断面形状が正方形のライトボックス3と、このライトボックス3内に収容される光源4とを備えている。 (もっと読む)


【課題】 パターンを有する領域の寸法のバラツキを抑制しつつ繰り返し再生可能なナノインプリント用モールドを作製する方法を提供する。
【解決手段】 ガラスモールド1における第2のメサ部12の上面12a上に設けられた樹脂製のパターン樹脂部40がパターンPを有している。したがって、ナノインプリント用モールド50を繰り返し使用してパターンPに汚れやキズが生じた場合には、酸素アッシング等を行うことにより、パターン樹脂部40のみを除去して再生することができる。また、パターン樹脂部40が、ガラスモールド1の主面1aから突出した第2のメサ部12の上面12aに塗布されたレプリカ用樹脂30から形成される。したがって、ナノインプリント用モールド50を繰り返し再生する場合において、パターンPを有するパターン領域の寸法が、第2のメサ部12の上面12aの寸法にバラツキなく固定される。 (もっと読む)


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