【課題】テンプレートの洗浄時間を短縮できるテンプレート洗浄装置を提供すること。
【解決手段】実施形態のテンプレート洗浄装置は、表面に凹凸パターンおよび溝部が形成されているインプリント用のテンプレートの前記溝部のイメージを取得するためのイメージ取得手段１０を具備する。実施形態のテンプレート洗浄装置は、さらに、前記イメージ取得手段１０により取得された前記溝部のイメージと、予め取得しておいた基準イメージとを比較して、前記テンプレートの洗浄時間を決定する機能を含む洗浄時間決定手段１２を具備する。実施形態のテンプレート洗浄装置は、さらに、前記洗浄時間決定手段１２により決定された洗浄時間に基づいて、前記テンプレートを洗浄するための洗浄手段１３を具備する。 （もっと読む）

【課題】微細な転写パターンが外周に形成されている転写ロールに付着している不要物を除去するときに、前記転写ロールの微細な転写パターンに傷がつくことを防止する。
【解決手段】外周に微細な転写パターン１１が形成されている転写ロール９を、粘着剤４３を用いて掃除するように構成されている転写ロール清掃装置５である。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリント方法において、光硬化性組成物の揮発を抑制しつつ、残留気体を低減する。
【解決手段】凹凸を有するモールドと、基板上に形成した光硬化性組成物層とを密着させて凹凸の形状を光硬化性組成物層に転写するナノインプリント方法において、モールドおよび基板のいずれか一方または両方が石英からなり、モールドと光硬化性組成物とを、それらの間に、１０ｋＰａ以上９０ｋＰａ以下の気圧を有し、かつ、少なくとも７０体積％がＨｅからなる気体を介在させた状態で密着させる。 （もっと読む）

【課題】連続処理が可能で、かつモールドや被転写体を損傷しない転写装置のナノインプリント用モールド搬送装置。
【解決手段】搬送装置３はローラ２１ａ、２１ｂを有し、ローラ２１ａ、２１ｂには、搬送ベルト１３が巻きつけられている。ローラ２１ａ、２１ｂがＡ１、Ａ２方向に回転すると、搬送ベルト１３はＢ方向に移動し、被転写体９を搬送する。搬送装置３の上方にはベルト１１が設けられている。ベルト１１はローラ２３ａ、２３ｂに巻きつけられており、ローラ２３ａ、２３ｂがＣ１、Ｃ２方向に移動することにより、Ｂ方向に移動する。ベルト１１の表面には複数のモールド１５が設けられている。転写の際は、搬送ベルト１３およびベルト１１をＢ方向に移動させながら、モールド１５をアクチュエータを用いて下降させ、被転写体９に押圧することにより、転写形状を連続して形成する。 （もっと読む）

【課題】型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写する転写装置において、簡素な構成で、転写不良の発生を防止する。
【解決手段】被成型品Ｗに、型Ｍに形成されている微細な転写パターンを転写する転写装置３であって、水平方向を向いていて仮組立体ＴＡが面接触する平面である設置面３３を備えた設置体１３と、設置面３３から水平方向に突出し、仮組立体ＴＡの中央貫通孔に嵌まることで、仮組立体が重力で落下することを防止する支持体２７と、両端面が軸方向に垂直な平面に形成され、支持体が仮組立体の中央貫通孔に嵌まることで仮組立体の落下を防止しているときに、仮組立体が嵌まっている位置よりも支持体の先端側に仮組立体と並んで嵌まることで、支持体からの仮組立体の外れを防止するリング状の外れ防止体１８と、設置面と平行に対向し、仮組立体の他方の面を外れ防止体を介して押圧するための押圧体１５とを有する。 （もっと読む）