【課題】 モールドの表面に励起光を照射することなく、モールドのパターン欠陥を検知するインプリント装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明のインプリント装置は、型に形成されたパターンと、基板に供給されたインプリント材とを接触させることで、インプリント材にパターンを転写するインプリント装置であって、発光物質を発光させる励起光を照射する照射部と、発光物質から発光する光を検出する検出部と、発光物質を含む型を保持する型保持部と、を備え、インプリント材にパターンが転写された後、照射部はインプリント材に転写されたパターンに励起光を照射し、検出部はインプリント材に残留した発光物質から発光する光を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】生産性を低下させることなく、インプリント領域に存在する異物を効率良く検出するインプリント装置を提供する。
【解決手段】このインプリント装置は、モールド３を保持する保持手段４と、基板５上にて樹脂のパターンを形成するインプリント領域１５に、異物が存在するかどうかを検査する異物検査手段８ａと、インプリント領域１５に未硬化樹脂を塗布する塗布手段７ａと、保持手段４に対してインプリント領域１５を相対的に移動させる移動手段６と、各構成要素の動作を制御する制御手段とを備える。移動手段６は、異物検査手段８ａによる検査位置、塗布手段７ａによる塗布位置、及び保持手段４による押印位置のそれぞれにインプリント領域１５を移動可能である。また、制御手段は、移動手段６によるインプリント領域の動きと連動させて、異物検査手段８ａに対してインプリント領域の検査を実施させる。 （もっと読む）