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Fターム[4F209AM30]の内容

曲げ・直線化成形、管端部の成形、表面成形 (35,147) | 成形装置、成形操作のその他の特徴 (348) | 成形雰囲気、環境の特徴 (152) | 水中、特定流体中(←不活性ガス) (26)

Fターム[4F209AM30]に分類される特許

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【課題】スループットの観点で有利なインプリント装置を提供する。
【解決手段】インプリント装置は、基板2を保持する基板保持部1と、型5を保持する型保持部7と、凸部51の側面を取り囲み且つ周辺部52に対向するように配置された板部材3を含み、前記基板保持部と前記型の前記周辺部との間の空間を前記基板保持部の側の第1空間21と前記型保持部の側の第2空間22とに分離するように構成された分離部SPと、ガス供給部6と、を備える。前記板部材は、開口を有し、前記型の前記凸部の側面と前記開口の内面との間に間隙Gが形成されている。前記ガス供給部は、前記パターンの凹部への樹脂Rの流入を促進するためのガスが前記間隙を通して前記第2空間から前記第1空間に供給され、更に前記凸部と前記基板との間の空間に供給されるように前記第2空間に対して前記ガスを供給する。 (もっと読む)


【課題】パーティクル等の異物の影響を低減したインプリント処理に有用な技術を提供する。
【解決手段】インプリント装置を含むインプリントシステムは、前記インプリント装置を格納する空間をインプリント処理がなされる第1空間と該第1空間を取り囲む第2空間とに分割する第1隔壁と、前記インプリント装置を格納する前記空間と当該空間を取り囲む第3空間とを仕切る第2隔壁と、前記第1空間及び前記第2空間に浄化された空気をそれぞれ供給する第1給気部及び第2給気部と、前記第1空間及び前記第2空間から空気をそれぞれ排出する第1排気部及び第2排気部と、前記第1空間内の異物の濃度を検出する検出器と、制御器とを備える。前記制御器は、前記検出器により検出された前記濃度が基準値を超える場合に前記第2空間を通過する空気の量に対する前記第1空間を通過する空気の量の比を増大させるように、前記第1給気部、前記第2給気部、前記第1排気部及び前記第2排気部を制御する。 (もっと読む)


【課題】容易に、大型の部品に対しても、繋ぎ目なく高精度に微細構造を形成することを目的とする。
【解決手段】基材上に硬化性樹脂を塗布する塗布工程と、雰囲気の酸素濃度を所定の濃度に制御する制御工程と、前記硬化性樹脂に微細構造型を有するスタンパを押し付ける押し付け工程と、前記硬化性樹脂と前記スタンパとの接触面に微細構造を転写して硬化部として硬化させると共に、前記硬化部より柔らかい半硬化部を前記硬化性樹脂における前記スタンパの周辺に形成する硬化工程と、前記硬化性樹脂から前記スタンパを離型する離型工程と、前記硬化部に隣接する領域で、かつ、前記半硬化部および前記硬化部の一部を含む領域に、前記スタンパを押し付ける再押し付け工程と、を繰り返して、基材から光学シートを製造する。 (もっと読む)


【課題】基板を保持するステージの位置決め精度の点で有利な技術を提供する。
【解決手段】基板上の樹脂とモールドとを接触させた状態で当該樹脂を硬化させ、硬化した樹脂から前記モールドを剥離することで前記基板上にパターンを転写するインプリント装置であって、前記基板を保持して移動する第1のステージと、前記第1のステージに保持された前記基板の周囲を取り囲むように配置される第1の板部材と、前記第1のステージとは別体で構成され、前記第1の板部材を保持して移動する第2のステージと、前記モールドと前記基板及び前記第1の板部材との間の空間にガスを供給する供給口と、前記空間に供給された前記ガスを回収する回収口とを含むガス機構と、前記第1のステージの移動に追従して前記第2のステージが移動するように前記第1のステージ及び前記第2のステージを制御する制御部と、を有することを特徴とするインプリント装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】正確なパターン形成とスループットとの両立に有利なインプリント装置を提供する。
【解決手段】インプリント装置1は、基板10上のインプリント12材を型8により成形して硬化させ、基板10上にパターンを形成するものである。インプリント装置1は、基板10上のインプリント材12と型8との間にガスを供給する供給手段6を有する。この供給手段6は、型8、インプリント材12および基板10の少なくとも1つを透過する透過性ガスと、成形により生じる圧力により液化する凝縮性ガスとを混合した混合ガスを供給する。 (もっと読む)


【課題】賦形面の微細なパターンを精度よく転写できるとともに、離型性及び生産性を向上させることのできるプラスチック成形品の成形方法の提供を目的とする。
【解決手段】プラスチック成形品の成形方法は、ガスが含浸され、固化したプラスチック基板6に対して、賦形面51を転写面61に押圧した状態で、転写面61を加熱し、賦形面51の構造を転写面61に転写する工程と、賦形面51を転写面61に押圧した状態で、プラスチック基板6を固化工程と、押圧した状態を解除することによって、加熱によりプラスチック基板6から放出され、押圧した状態により圧縮されていたガスを膨張させ、この膨張するガスを利用して、離型させる工程とを有する。 (もっと読む)


【課題】 空気と置換するためのガスの供給量を必要最小限に低減したインプリント装置を提供する。
【解決手段】 インプリント装置は、テンプレートを保持する保持部と、基板を保持するステージと、前記テンプレートを囲むように配置された複数のガス供給開口を介して前記テンプレートと前記基板との間の空間に空気と置換するためのガスを供給するガス供給部と、前記複数のガス供給開口を囲むように前記保持部の前記ステージ側の表面に形成された第1ガス回収開口を介して前記ガスを回収する第1ガス回収部と、前記基板を囲むように前記ステージに形成された第2ガス回収開口から前記ガスを回収する第2ガス回収部と、前記第1ガス回収開口により囲まれる第1領域と、前記第2ガス回収開口により囲まれる第2領域とが重なり合う第3領域が形成される場合に、前記複数のガス供給開口のうち前記第3領域内に位置するガス供給開口のみから前記ガスを供給するように前記ガス供給部を制御する制御部と、を備える。 (もっと読む)


【課題】加工時や廃棄時に環境負荷が少なく、かつ安価に製造でき、多孔質材料にも適用可能な高撥水撥油樹脂部材の製造方法それを用いて製造される高撥水撥油部材及びそれらを用いた高撥水撥油部材を提供する。
【解決手段】高撥水撥油樹脂部材10は、フッ素原子の一部又は全部がフッ素原子及びフッ化炭素基14のいずれか一方又は双方で置換された炭化水素基11を基材12の表面に有する。高撥水撥油樹脂部材10は、フッ化炭素基を含む化合物のガス雰囲気中で、樹脂材料12の表面を低圧プラズマ処理することにより製造される。 (もっと読む)


【課題】基板上にパターンを形成する際におけるパターン欠陥の発生を抑制できるパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】パターン形成方法は、基板上に形成する硬化性樹脂の量を決定すること、前記硬化性樹脂は揮発性を有すること、前記基板上に前記決定された量を有する硬化性樹脂を形成すること、前記硬化性樹脂上にガスを供給しながら、前記硬化性樹脂にテンプレートを接触させること、前記テンプレートは、前記接触させることにより、前記硬化性樹脂により充填されるパターンを具備すること、前記基板の中央部上の前記ガスと前記基板の周辺部上の前記ガスとは、前記基板上において、前記硬化性樹脂の揮発量が一様になるように、異なる条件で供給されること、前記硬化性樹脂に前記テンプレートを接触させた状態で前記硬化性樹脂を硬化すること含むことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】インプリンティング・プロセス中にインプリント層に閉じ込められるガスを減少させる。
【解決手段】基板に、複数の離散した小滴として、アパーチャ104a、106aを介して流動性のインプリント材料を付着させるステップと、基板に近接してモールド面26aを対向させることによって、前記インプリント材料が存在する処理領域であって、大気78をともなう処理領域77を定めるステップと、前記処理領域の大気にヘリウム・ガスの乱流を導入し、大気をヘリウム・ガスで飽和させるステップと、連続したインプリント層を形成するために、前記複数の小滴に前記モールドを接触させるステップと、前記インプリント材料を固化させるため、該インプリント層を化学的作用放射にさらすステップと、を含む。 (もっと読む)


ガス閉じ込めシステム及び方法を説明する。詳細には、パージガスを閉じ込め、ナノロソグラフィシステム内の他の要素へのパージガスの流れを制限するバリアを含むシステム及び方法を説明する。このバリアを、作業環境と外部環境の間の所望の圧力変化に対応し、及び/又はこれを制御するように調整することができる。 (もっと読む)


【課題】凹凸形状を有するフィルムを安価で製造することができると共に、フィルム表面に形成される凹凸構造の高さや周期を容易に変更することができるフィルムの製造方法等を提供する。
【解決手段】表面に凹凸構造4を有するフィルム1の製造方法であって、光重合性組成物を薄膜状に配置する工程と、薄膜状に配置された光重合性組成物に、酸素を含む雰囲気下で光照射を行い、表面に凹凸構造4を形成させながら前記光重合性組成物を重合硬化させる工程とを、備える。 (もっと読む)


【課題】優れた形状のパターンを得ることができるパターン形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】(1)樹脂及び溶剤を含む組成物を基板上に塗布する工程、(2)基板上に塗布した層から溶剤を除去して組成物層を形成する工程、(3)組成物層を水に浸漬しながら、組成物層にモールドのパターン面を圧着して、モールドのパターンを転写する工程、(4)モールドのパターンが転写された組成物層を乾燥する工程及び(5)得られた組成物層をモールドから離脱させる工程を含むパターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】優れた形状のパターンを得ることができるパターン形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】(1)樹脂、重合性化合物、光重合開始剤及び溶剤を含む組成物を基板上に塗布する工程、(2)基板上に塗布した層から溶剤を除去して組成物層を形成する工程、(3)組成物層を水に浸漬しながら、組成物層にモールドのパターン面を圧着して、モールドのパターンを転写させる工程、(4)モールドのパターンが転写された組成物層を乾燥する工程、(5)得られた組成物層をモールドから離脱させる工程、及び(6)組成物層をモールドから離脱させる工程の前又は後に、得られた組成物層に露光機を用いて露光する工程を含むパターン形成方法。 (もっと読む)


ナノ・インプリント・リソグラフィ加工中に流体をパージするためのナノ・インプリント・リソグラフィ用テンプレートが記載されている。テンプレートは、内側流路および外側流路を備えることができる。内側流路は、ナノ・インプリント・リソグラフィ加工中に、テンプレートと基板との間の領域をプロセス・ガス供給源と流体連通させるように構成されている。外側流路は、流体を排出、および/または、テンプレートのアクティブ・エリアと基板との間に流体を封じ込めるように構成されている。 (もっと読む)


【課題】光硬化樹脂パターン領域外にはみ出した部分の硬化を阻害して、樹脂層の未硬化部分の除去を容易にする。
【解決手段】本発明に係るナノインプリントによるパターン形成方法は、基材上に光硬化樹脂により樹脂層を形成し、前記樹脂層に凹凸パターンを有するモールドを接触させ、前記光硬化樹脂の硬化を阻害する気体を含む雰囲気下で前記樹脂層に光を照射して、少なくとも前記凹凸パターン下にある前記樹脂層を硬化させ、前記樹脂層から前記モールドを離型し、硬化させた前記樹脂層の周囲を除去することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】ガスの過剰使用を抑えるインプリントリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】装置は、所定量のインプリント可能媒体24が供給された基板22にパターンをインプリントするのに使用されるインプリントテンプレートアレンジメントと、前記基板22を保持するように構成された基板ホルダ20と、ガスを前記チャンバ40内に流入させるインレット42とガスを前記チャンバ40から外へ流出させるアウトレット44とを有するチャンバ40と、を含み、前記チャンバ40は、使用中、ガス雰囲気を含むように構成される。前記チャンバ40の前記インレット42および前記アウトレット44は、ガス循環システムのさらなる構成要素へと接続され、前記ガス循環システム内にガスを動かすように構成されたガス循環ドライバ48、および/または、前記ガスが前記ガス循環システム内を循環する際に前記ガスを浄化するように構成されたガス浄化ユニット50を含む。 (もっと読む)


【課題】本発明は、より簡便にモールドと転写樹脂層を離型できるナノインプリント方法およびナノインプリント装置を提供することを目的とする。また、上記のナノインプリント方法を用いることにより、パターン精度の良好なパターン形成体を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明に係るナノインプリント方法は、基材上に紫外線硬化樹脂からなる樹脂層を形成し、前記樹脂層に対して、凹凸パターン部を有するモールドを、前記凹凸パターン部が前記樹脂層に接触するように押し当て、紫外線硬化樹脂の硬化を阻害する気体を含む雰囲気下で、前記樹脂層に紫外線を照射して前記樹脂層を硬化させることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】モールドから離型した後での露光においても転写を行うことができると共に、モールドおよび基板が活性光線に対して透過性でない場合においても転写を行うことができる精度の高い微細パタンの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の微細パタンの製造方法は、基板上に積層される感光性樹脂層に微細パタンを有するモールド105を押し付けて感光性樹脂層に微細パタンを形成する賦型工程と、感光性樹脂層からモールド105を外す離型工程と、不活性ガス下、感光性樹脂層に活性光線を露光して感光性樹脂層を硬化させる露光工程と、を含む微細パタンの製造方法であって、感光性樹脂層は、少なくともラジカル重合型の感光性樹脂組成物を含有し、20℃における粘度が10Pa・s〜1011Pa・sであることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】二酸化炭素気体の高圧を維持しながら駆動させるための複雑な駆動装置を用いずに、短時間で、樹脂成形体表面に微細な凹凸パターンが形成された金型転写面を高精度に転写できる樹脂成形品を製造する製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】減圧弁12を開放することによって、密閉容器4内の圧力を大気圧まで減圧させる。この時、樹脂成形体101中に含浸された二酸化炭素気体Gが金型2を透過して樹脂成形体101中から吸引、排出されると共に、この吸引力によって二酸化炭素気体で可塑化された樹脂成形体101の表層部が、金型2の方向に吸引されて、金型2の転写面3に形成されたマイクロレンズアレイのパターン形状が高精度で樹脂成形体101の表面に転写される。樹脂成形体101から二酸化炭素気体Gが放出されるため、マイクロレンズアレイのパターン形状が転写された状態で樹脂成形体101が固化する。 (もっと読む)


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