【課題】ラミネート部が複数有するラミネート装置において、ラミネート装置を小型化すると共に、被加工物を生産する効率を向上させることを目的とする。
【解決手段】上チャンバが形成された複数のケース１３、１８、２３と、複数のケース１３、１８、２３の何れか任意の一つと接続及び離脱可能な一体として機能する昇降開閉装置２５（２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄ）とを有し、昇降開閉装置２５（２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄ）は、複数のケース１３、１８、２３のうち前記被加工物の搬入及び搬出を行うラミネート部を構成する上チャンバが形成されたケースと接続して、昇降することにより、任意のラミネート部の開放と閉塞とを一つずつ行う。 （もっと読む）