【課題】脆性材料基板のスクライブ操作のみによって従来のブレイク工程を必要とすることなく裏面に達する垂直クラックを伴うスクライブラインを形成することによって作業工程を簡略化すること。
【解決手段】分断の際に脆性材料基板に関する情報（厚さ、種類等）を入力し、その厚さ等の情報に対応したスクライビングホイールを選択してスクライブヘッドに装着する。脆性材料基板の厚さに応じた所定のスクライブ荷重をかけてスクライブすることによって従来のブレイク工程を要することなく裏面に達する垂直クラックを伴うスクライブラインを形成（フルカット）することができる。 （もっと読む）

【課題】安価に製造可能でかつ長寿命化が図られたスクライビングホイールを提供する。
【解決手段】スクライビングホイールが、超硬合金からなり、円板状の平板部とその一方主面から突出する突出部とを有し、かつ、突出部から平板部の他方主面へと貫通し、スクライビングホイールを回転自在に保持するピンを挿入する挿入孔が設けられた基部と、単結晶ダイヤモンドからなり、円板状をなすとともに外周部分が断面視三角形状の刃先をなしている刃先部と、超硬合金からなり、円板状をなすキャップ部と、を備え、突出部が刃先部とキャップ部のそれぞれに設けられた貫通孔に挿通されてなるとともに、刃先部が平板部とキャップ部とに挟み込まれた状態で、刃先が平板部およびキャップ部の外周部分よりも突出してなるようにする。 （もっと読む）

【課題】安価に製造可能でかつ長寿命化が図られたスクライビングホイールを提供する。
【解決手段】超硬合金からなり、平板部と、その一方主面から突出する複数の突出部とを有し、各突出部から平板部の他方主面へと貫通する複数の第１の貫通孔が設けられてなる第１の母材を用意し、それぞれが中央部に第２の貫通孔を備える複数のダイヤモンド板を、各突出部を第２の貫通孔に挿通する態様にて第１の母材の接合材が塗布された箇所に積層配置し、超硬合金からなり、第１の母材における突出部と同じ間隔にて配置されてなる複数の第３の貫通孔を備える第２の母材を、各突出部を第３の貫通孔に挿通する態様にてダイヤモンド板の上に積層配置し、得られた積層体を加熱した後、単位積層体に分断し、それぞれの単位積層体の外周部分を研削することにより、単結晶刃先を有しピンの挿入孔が超硬合金によって形成されたスクライビングホイールを得る。 （もっと読む）

【課題】スクライビングホイールの側壁面とホルダーの支持部との間にカレットが巻き込まれ難くすると共に、ピンが回転し易くしたホルダー、ホルダーユニット及びスクライブ装置の提供。
【解決手段】ホルダーユニット１０のホルダー１１は、ホルダー溝１４によって形成された互いに平行な対向する面を有する一対の支持部１５、１６と、支持部１５、１６にそれぞれ同軸に貫通するように形成された一対のピン孔１７、１８及びディスク状のスクライビングホイール１２の貫通孔に回転自在に挿入され、ホルダー溝１４内でスクライビングホイール１２を回転自在に保持するピン１９と、を有し、ホルダー溝１４は、スクライビングホイール１２の一部が挿入される狭幅部１４ａと、ホルダー１１の切断端側に形成された狭幅部１４ａよりも幅広の広幅部１４ｂとからなり、ピン孔１７、１８はホルダー溝１４の広幅部１４ｂに対応する位置に形成されている。 （もっと読む）

【課題】円板状ホイールの円周に沿ってＶ字形の刃先を形成したスクライビングホイールにおいて、スクライブし分断した脆性材料基板の端面強度を向上させること。
【解決手段】スクライビングホイールの円周に刃先をＶ字状に形成し、刃先を粗研磨によって研磨面１３とし、次に先端部分を研磨面１３の頂角α１より大きな所望の頂角α２となるよう仕上げ研磨により研磨面１６を形成する。更に研磨面１６を超仕上げ研磨し、研磨面１７を形成する。こうすれば刃先の稜線の凹凸を少なくすることができ、スクライブしたときの脆性材料基板の端面強度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】スクライブ装置において、短時間でチップを交換できるようにすること。
【解決手段】チップホルダ１０にチップ１４を回転自在に取付ける。チップホルダ１０を円筒形とし、その先端に取付部１６を設ける。ホルダジョイントに開口部を設け、マグネットによってチップホルダ１０を吸着させて取付けることによって、着脱を容易にする。又チップホルダ１０の面に、チップのオフセットデータを２次元コード１７として記録する。チップホルダの交換時にオフセットデータを読出してスクライブ装置に入力することにより、オフセットを打ち消す。こうすればチップホルダを着脱する際に補正に関連して必要だった操作を省いて、短時間の装置停止の間にチップを交換することができる。 （もっと読む）

【課題】ダイヤモンドポイントの長寿命化が実現されたスクライブ装置を提供する。
【解決手段】脆性材料基板４にスクライブラインを形成するスクライブ装置が、先端にダイヤモンド含有物からなる刃部６１を有するダイヤモンドポイント６０と、ダイヤモンドポイント６０を保持しつつ移動させる保持手段３１と、脆性材料基板４を保持する保持ユニットと、を備え、保持ユニットに保持された脆性材料基板４の表面に刃部６１を接触させつつ保持手段３１によってダイヤモンドポイント６０を移動させることにより表面にスクライブラインを形成可能とされてなり、少なくともスクライブラインの形成の間、刃部６１が存在する被供給空間１１０に不活性ガスを供給することにより、被供給空間１１０を低酸素状態とする雰囲気調整機構１００、をさらに備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】従来よりもダイヤモンドポイントの長寿命化が実現されたスクライブ装置を提供する。
【解決手段】脆性材料基板にスクライブラインを形成するスクライブ装置が、先端にダイヤモンド含有物からなる刃部を有するダイヤモンドポイントと、ダイヤモンドポイントを保持しつつ移動させる保持手段と、脆性材料基板を保持する保持ユニットと、を備え、保持ユニットに保持された脆性材料基板の表面に刃部を接触させつつ保持手段によってダイヤモンドポイントを移動させることにより表面にスクライブラインを形成可能とされてなり、少なくともスクライブラインの形成の間、刃部に冷却ガスを噴射することにより、刃部を冷却する冷却機構、をさらに備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】 装置サイズが大型化することなく、回転刃の刃先にかかる荷重の微調整ができると共に、スクライブ工程でパーティクルが発生した場合であっても、基板の表面へのパーティクルの付着を防止することができるスクライブ装置を提供するものである。
【解決手段】 スクライブ装置１００は、基板２００に対向させる開口１２ａを有し、回転刃１の刃先１ａが当該開口１２ａから露出する位置に当該回転刃１を内包する筒状の吸込口部１２と、吸込口部１２に連通され、吸込口部１２を陰圧にする減圧装置７０と、吸込口部１２の内部の圧力を検出する第１の圧力検知部８１と、第１の圧力検知部８１の検出結果に基づいて吸込口部１２の内部の圧力を調整する第１の圧力制御部８２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】帯状の板ガラスを確実かつ正確に割断する。
【解決手段】本発明に係る帯状板ガラスの割断方法は、下方に向けて搬送される帯状板ガラス１に対して搬送方向に直交する向きのスクライブ線２を刻設するスクライブ工程と、スクライブ線２を刻設した帯状板ガラス１に押し曲げ荷重を付与することで帯状板ガラス１をスクライブ線２に沿って割断する割断工程とを具備すると共に、帯状板ガラス１の搬送方向を下方から上方に変えることで、帯状板ガラス１に所定の曲率を有する曲率部３を設ける曲率部付与工程をさらに具備し、スクライブ工程において、帯状板ガラス１の表裏面のうち曲率部３の外側面となる側の面にスクライブ線２を刻設し、割断工程において、スクライブ線２が曲率部３に到達した際に曲率部３の内側面に押し曲げ荷重を付与する。 （もっと読む）

【課題】刃先と脆性基板との間のグリップ性が良好であり、スクライブした脆性基板の端面強度を向上させることができるスクライビングホイールを提供する。
【解決手段】本発明のスクライビングホイール１０は、ディスク状ホイールの円周部に沿ってＶ字形の刃の稜線部が連続する刃先１２ａとなるように形成され、かつ、Ｖ字形の刃の傾斜面１２に刃先１２ａから所定距離離間した位置から切欠凹部１３が形成され、Ｖ字形の刃の先端部分に薄肉部１２ｂと厚肉部１２ｃが交互に形成され、切欠凹部１３は、刃先１２ａの角度をθ１、切欠凹部１３を形成する面の刃先側部分と刃の傾斜面１２との間の角度をθ２としたとき、１８０°＞θ２＞１８０°−（θ１）／２となるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】１００μｍ以下の薄いガラス基板を、複雑な制御の必要なしに、所要のパターンにスクライブすることができるガラススクライブ方法及びガラススクライブ装置を提供する。
【解決手段】厚さ１００μｍ以下のガラス基板４０を所要の形状にスクライブするガラススクライブ方法であって、円錐形の尖端を有するガラススクライバ３０を、支持部２０に取り付けるステップと、ガラス基板４０をテーブル面２４に載置するステップと、ガラススクライバ３０を、テーブル面２４に載置された前ガラス基板４０に当接させて、該ガラス基板４０に対して所定の荷重を負荷するステップと、ガラス基板４０の表面上に所要の形状をスクライブするように、ガラススクライバ３０の尖端をガラス基板４０の表面に当接させながらテーブル面２４と支持部２０とを相対移動させるステップと、を含む方法によりガラス基板４０をスクライブする。 （もっと読む）

【課題】カッターホイールの回転によりカッターピンが共回りすることがあっても、カッターピンが抜け難い構成のホイールユニットを提供する。
【解決手段】一端に切り欠き部によって形成された一対の脚部を有するホルダー１１と、一対の脚部間に取り付けられたカッターピン１７と、カッターピン１７に回動自在に取り付けられたカッターホイール１６と、を備えるホイールユニット１０Ｂであって、カッターピン１７は、一対の脚部の一方に形成された貫通孔１５と他方に形成されたピン受け部３１との間に挿入され、カッターピン１７の貫通孔１５側の端部には当て板１９が当接され、当て板１９は貫通孔１５の外部側の壁を複数箇所においてカシメることによって形成された爪部３０Ｂで固定されている。 （もっと読む）

【課題】精度良く基板の切断を検出することにより誤動作を抑えて自動化することができるブレーキング装置及びブレーキング方法を提供する。
【解決手段】分割予定線２が形成された基板１にブレード５２を当接させて曲げ応力を付与し基板１を切断するブレーキング装置１０において、ブレード５２に荷重を付与する荷重付与部６２と、荷重付与部６２がブレード５２に付与する荷重と、基板１がブレード５２に付与する荷重との合力を測定する荷重測定部６４と、荷重測定部６４の測定値から基板１の切断を検出する切断検出部７０を備える。 （もっと読む）

【課題】スクライビングホイールの保持位置を安定させ、スクライブラインの直線性を向上させることができるチップホルダユニットを提供すること。
【解決手段】スクライビングホイール３０は円板状で中心に貫通孔を有し、円板外周部に沿ってＶ字形の稜線をなす刃先を有する。チップホルダ１０はスクライビングホイールを挿入するための一定の幅を持つホルダ溝１２とピン孔１５，１６を有し、ピン孔及びスクライビングホイールの貫通孔に挿入されたピン３１によりホルダ溝内でスクライビングホイール３０を回転自在に保持する。チップホルダ１０には支持部の一方に貫通孔１７、他方にねじ溝１８を設け、調整ねじ２３によりホルダ溝１２とスクライビングホイール３０との間隔を調整する。 （もっと読む）

【課題】ガラス専用カッターホルダーとして、スクライブ後に何らかの要因でカッターヘッドが回動し、カッターホイールの向きがスクライブ方向に対して斜めにずれることがあっても、自動的にカッターヘッドが復帰回動し、次のスクライブ操作で形成するスクライブラインの始端部の曲がりを確実に防止し得るものを提供する。
【解決手段】ホルダー本体１に、先端側にカッターホイール３を枢着したカッターヘッド２が旋回自在に装着され、ホルダー本体１とカッターヘッド２の一方側には、カッターヘッド２の旋回軸線Ｏから半径方向ｒに離れた位置に磁石９が固着され、同他方側には、磁石９に非接触で対向し得る位置に鉄鋼突片１０が設けられる。ホルダー本体１に軸支されたカッターヘッド２は、磁石９と鉄鋼突片１０が磁力吸引によって対向する旋回姿勢において、カッターホイール３が所定のスクライブ方向に沿う向きに配置するように設定されている。 （もっと読む）

【課題】スクライビングホイールを長寿命化すると共に、スクライブ後に脆性材料基板を分断したときの基板の端面強度を強くすること。
【解決手段】円板の周囲の側面の中央部分を最大径とするスクライビングホイール基材を用い、その側面にＣＶＤ法によってダイヤモンド膜を形成する。そして側面の中央部分を研磨し、稜線からなる円を含む面がスクライビングホイールの中心軸と垂直となるようにする。これによって稜線部分の荒さを細かくすることができる。このスクライビングホイールを用いて脆性材料基板をスクライブし分断したときに、分断された基材の端面精度が増し、端面強度を向上させることができる。又スクライビングを進めても稜線部分の摩耗が少なく、スクライビングホイールを長寿命化することができる。 （もっと読む）

【課題】脆性材料基板を繰り返しスクライブしても、良好にスクライブラインを形成することができるスクライブ装置を提供する。
【解決手段】調節部７０は、調節空間７０ａの雰囲気を調節する。調節部７０は、主として、近接板７１と、ノズル７２と、を有している。近接板７１は、ホルダ３５により保持されたスクライビングホイール５０の上方に設けられている。スクライビングホイール５０によりスクライブラインＳＬが形成される際、近接板７１は、脆性材料基板４と近接する。複数のノズル７２は、保持ユニットに保持された脆性材料基板４と、近接板７１との間の調節空間７０ａに、窒素ガスを吐出する。これにより、脆性材料基板４のスクライブラインＳＬは、低酸素状態で形成される。 （もっと読む）

【課題】脆性材料基板を繰り返しスクライブしても、良好にスクライブラインを形成することができるスクライブ装置を提供する。
【解決手段】調節部７０は、スクライビングホイール５０の温度を低下させる。調節部７０は、主として、近接板７１と、ノズル７２と、冷却部７８と、を有している。近接板７１は、ホルダ３５により保持されたスクライビングホイール５０の上方に設けられている。スクライビングホイール５０によりスクライブラインＳＬが形成される際、近接板７１は、脆性材料基板４と近接する。複数のノズル７２は、保持ユニット１０に保持された脆性材料基板４と、近接板７１との間の調節空間７０ａに、窒素ガスを吐出する。冷却部７８は、ノズル７２に供給される窒素ガスを、共通管７５内で冷却する。これにより、調節空間７０ａの雰囲気が窒素ガスにより冷却され、スクライブ時のスクライビングホイールが十分冷却される。 （もっと読む）

【課題】脆性材料基板に良好なスクライブラインを形成することができるスクライビングホイール、および、このスクライビングホイールを有するスクライブ装置を提供する。
【解決手段】スクライビングホイール１６０は、ダイヤモンド含有物により成形されており、脆性材料基板４に対して移動させられることによって、脆性材料基板４上にスクライブラインを形成するツールである。スクライビングホイール１６０の刃１６２は、回転軸１６０ｂを中心とした同心円状の内周および外周により形成される円環状体であり、正面視Ｖ字状とされている。刃先１６２ａは、刃１６２の最外周部（すなわち、刃１６２のうち、回転軸１６０ｂからの距離が最大となり、刃１６２の厚さＴｂが最小となる部分）に沿って設けられている。刃先１６２ａは、主として、複数の斜面１６５（１６５ａ、１６５ｂ）と、角丸面１６７と、を有している。 （もっと読む）