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Fターム[4G026BA02]の内容

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【課題】高強度で、多結晶セラミックス基材の変形が少なく、半導体や液晶の製造装置用部材として使用されてもコンタミネーションの発生が少ない多結晶セラミックス接合体およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】Yを主体相として含む第1の多結晶セラミックス基材と、AlまたはYを主体相として含む第2の多結晶セラミックス基材とが、接合層を介して接合された多結晶セラミックス接合体であって、前記接合層は、Y、Al、SiOおよびZrOから選ばれる少なくとも3種類の酸化物を含む複合酸化物からなる多結晶セラミックス接合体。 (もっと読む)


【課題】大気中で、セラミックス間、金属間またはセラミックスと金属との間を、フラックスなしで簡易に接合することができ、かつ、気密性および機械的強度に優れた大気接合用ろう材、および接合体を提供する。
【解決手段】本発明の接合体10は、セラミックス板1と、セラミックス板1上に配置され、銀を主成分とし、タングステンおよび/または酸化タングステンと、ケイ素および/または酸化ケイ素とを含むろう材2と、ろう材2を介してセラミックス板1と接合される金属部材3と、を備え、大気雰囲気下で加熱接合される。 (もっと読む)


【課題】熱処理後に高い熱膨張係数を示すとともに、流動性に優れ、また、長期間に亘って高温に晒されても、接着箇所の気密性や接着性の低下や、ガラス成分の揮発が発生しにくい結晶性ガラス組成物を提供する。
【解決手段】熱処理によって、主結晶としてMgO系結晶を析出する結晶性ガラス組成物であって、ガラス組成としてモル%で、La+Nb+Y+Ta+Yb 0.1〜30%を含有し、かつ、RO(RはLi、NaまたはKを示す)およびPを実質的に含有しないことを特徴とする結晶性ガラス組成物。 (もっと読む)


【課題】NOx等の浄化率が向上されたハニカム構造体の提供。
【解決手段】ゼオライトおよび無機バインダを含み、長手方向に沿って、第1の端面から第2の端面に延伸する複数のセルがセル壁により区画されたハニカムユニットを有するハニカム構造体であって、前記ハニカムユニットは、D50が3.7μm以上のゼオライト粒子および無機バインダを含む原料ペーストを成形して、焼成することにより作製され、前記セル壁の平均気孔径は、0.12μm以上0.5μm以下であり、前記セル壁の平均粒子径は、3.7μm以上7.0μm以下であることを特徴とするハニカム構造体。 (もっと読む)


【課題】接合時の残留応力を下げ、セラミックス基体にクラックが発生せず、使用温度が200℃であっても十分な接合強度が得られる。
【解決手段】静電チャックは、電極14が埋設されたセラミックス基体12と、セラミックス基体12の裏面に設けた凹部16の底面に露出する電極端子14aと、電極14に給電するための給電部材20と、この給電部材20とセラミックス基体12とを接続する接合層22とを備えている。接合層22は、AuGe系合金、AuSn系合金、又はAuSi系合金を用いて形成されている。セラミックス基体12と給電部材20とは、給電部材20の熱膨張係数からセラミックス基体12の熱膨張係数を引いた熱膨張係数差Dが−2.2≦D≦6(単位:ppm/K)となるように選択されたものである。 (もっと読む)


【課題】簡便な工程のみによってセラミックス基材とアルミニウム合金等とを充分な強度で接合しつつ、優れた熱サイクル疲労特性が得られるセラミックスとアルミニウムとの接合方法を提供する。
【解決手段】200〜400℃に加熱した作動ガスとアルミニウム粉末とを、スプレーガンのノズルから噴出させ、セラミックス基材に衝突させてセラミックス基材上にアルミニウム皮膜を形成する工程と、アルミニウム皮膜とアルミニウム又はアルミニウム合金とをろう付けする工程と、を備えることを特徴とするセラミックスとアルミニウムとの接合方法を選択する。 (もっと読む)


【課題】十分な接合率および接合強度が得られ、スパッタリング中に熱の影響を受けても割れの発生を著しく低減できるスパッタリングターゲットおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】円筒形状のセラミックス焼結体からなるターゲット材20の内周面に、または円筒形状のセラミックス焼結体からなるターゲット材の内周面と円筒形支持基材10の外周面の両方に、ニッケルまたは銅からなる第1の下地層30を形成し、その第1の下地層の上に、スズからなる第2の下地層40を形成し、次いで、そのターゲット材を円筒形支持基材の外側に配置し、両者を接合材で接合し、ターゲットを製造する。 (もっと読む)


【課題】強磁場中で望ましくない干渉を引き起こす可能性のある強磁性特性を全く有しない強磁場中で使用するための筐体用の金属被覆及び低コストで信頼性の高いSAWフィルタチップを取り付けるのに適する密閉マイクロ空洞を提供する。
【解決手段】セラミック10用の金属被覆30は、金属を有する基底層12と、パラジウムを含み、層厚さが0.1〜5μmの間にある接着層14と、非強磁性材質のはんだづけ可能層16と酸化保護層20とを含み、接着層14の材質がはんだづけ可能層16の材質と異なる。 (もっと読む)


【課題】 大型化が容易に可能であるチタン酸アルミニウム質構造体を提供すること。
【解決手段】 複数のセル22がセル壁24を隔てて長手方向に並設された柱状のチタン酸アルミニウム質ハニカム焼成体20が、セラミック粒子を少なくとも含む接着剤層14を介して複数個結束された構造を有する、チタン酸アルミニウム質ハニカム構造体。 (もっと読む)


【課題】従来の気密端子製造用の治具はグラファイト製であり、表面が容易に消耗してしまい寸法精度を維持することが困難であった。そこで、耐熱性、耐酸化性、耐摩耗性に優れるセラミックを用い、ガラスとの離型性に優れ、かつ、離型性を維持するための再生処理を不要とする気密端子製造用のセラミック製治具を提供することを課題とする。
【解決手段】顆粒状の酸化チタンと、顆粒状のチタン酸アルミニウムとが、その表面どうしの接触界面でガラス性物質により融着された組織構造を有するセラミック製治具などを提供する。 (もっと読む)


【課題】 腐食性の高い流体が流れる流路を備える部材において、長期間にわたって使用することのできるセラミック接合体およびこれを用いた支持体を提供する。
【解決手段】 基体2と、基体2に接合層6を介して接合された蓋3とを備えたセラミック接合体1であって、基体2と蓋3とで形成される空間が流体の流路5とされ、流体の流れる方向に流路5を断面視したとき、深さの深い領域5aの両側に浅い領域5bを有しているセラミック接合体1である。流路5に、腐食性の高い流体を流したとしても、基体2と蓋3との接合層6は劣化しにくく、流体の漏洩が生じることが少ないので、腐食性の高い流体が流れる流路5を備える部材として長期間にわたって使用することができる。 (もっと読む)


【課題】比較的高い熱膨張係数の部材のシールや接着に好適な高温シール材料を提供する。
【解決手段】高温シール材料は、A(1−x)CoFe(1−y)(Aは、Ba又はLaで、Bは、AがBaのときSrで、AがLaのときCa又はBaであり、0<x,y<1である)で表されるペロブスカイト型酸化セラミックス粉と、溶剤と、分散剤とを含む。ペロブスカイト型酸化セラミックス粉は、粒径が10〜45μmの粗粒1と、粒径が2μm以下の細粒2と、を有し、細粒2と粗粒1との重量比が1:2〜3.5である。 (もっと読む)


【課題】絶縁性セラミックスと導電性セラミックスとの間の熱膨張率差が極めて小さく、この熱膨張差によるミスマッチが生じる虞がなく、破損やクラックや剥離や破壊等の不具合が生じる虞がないセラミック部材を提供する。
【解決手段】本発明のセラミック部材1は、酸化イットリウムを主成分とし、カーボンナノチューブ等の繊維状導電性物質を0.1体積%以上かつ3体積%以下含有してなる導電性セラミックス2と、酸化イットリウムを主成分とする絶縁性セラミックス3とを、無機系接着材からなる接着層4を介して接着し一体化した。 (もっと読む)


【課題】 高い電圧が印加された場合であっても、過大電流が発生し難いセラミックス体を提供する。
【解決手段】
セラミック体の表面に導電層が接合された、導電層付きセラミック体であって、前記セラミック体は、AlOとAlTiOとを含み、前記導電層は、MoおよびMnを合計で50質量%以上の割合で含有しているとともにTiを含み、前記導電層と前記セラミック体との境界部分に、Mnを主成分として含む第1の境界領域が形成されていることを特徴とする、導電層付きセラミック体を提供する。 (もっと読む)


【課題】2つの導電性接続部材を電気的に接続するように接合する接合材(焼成体)の前駆体である、焼成前の成形体であって、焼成後において接合界面に剥離が生じ難いものを提供すること。
【解決手段】スピネル型結晶構造を有する遷移金属複合酸化物(MnCo)を構成する各金属元素(Mn,Co)の粉末が出発原料とされる。この粉末と有機成分とを含むペーストからなる成形体が2つの導電性接続部材の間に介在した状態で焼成されることにより、焼成体である遷移金属複合酸化物(接合材)によって2つの導電性接続部材が電気的に接続するように接合される。この成形体は、焼成によって膨張する。従って、焼成時にて成形体が厚さ(膜厚)方向に膨張しようとする。この結果、導電性接続部材と接合材との接合界面に圧縮応力が作用し、接合界面に上述した剥離が生じ難くなる。 (もっと読む)


【課題】本発明は、複数のハニカムユニットに安定して通電すると共に、高容量バッテリーから端子を経て電極間に電圧を印加しても断線及び接触抵抗による発熱を抑制することが可能なハニカム構造体及び該ハニカム構造体を有する排ガス浄化装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ハニカム構造体10は、複数の貫通孔が長手方向に並設されていると共に、導電性セラミックスを含むハニカムユニット11が接着層12を介して4個接着されており、ハニカムユニット11の外周面には、一対の帯状電極13が形成されており、4個の一対の帯状電極13と電気的に接続されている一対の導電部材14が設置されている。 (もっと読む)


【課題】金属−セラミックス接合回路基板の断面形状を少ない工数または低コストで容易に制御することができ、且つ耐熱衝撃性または絶縁性に対してより高信頼性を有する金属−セラミックス接合回路基板を製造することができる、金属−セラミックス接合回路基板の製造方法を提供する。
【解決手段】セラミックス基板10の両面にろう材12を介してCu板14を接合した後、 Cu板14の表面の所定の部分にUV硬化アルカリ剥離型レジスト16を塗布してCu板14の不要部分をエッチングすることにより金属回路部を形成し、レジスト16を維持したまま、不要なろう材12およびろう材12とセラミックス基板10との反応生成物を除去し(あるいは、不要なろう材12およびろう材12とセラミックス基板10との反応生成物を除去し、金属回路部の側面部をエッチングし)、その後、レジスト16を剥離し、 Ni−P無電解メッキ18を施す。 (もっと読む)


【課題】互いに積層状に配置された金属板とセラミック板とを備えた積層材であって、最外側にNiを主成分とする金属板がNi層として配置された積層材を安価に製造することができる積層材を提供する。
【解決手段】積層材1は、複数枚の金属板2,3,31と少なくとも1枚のセラミック板4とが、金属板2,3,31とセラミック板4とが隣接するように、且つ、少なくとも2枚の金属板3,31が互いに隣接するように積層されるとともに、隣り合う金属板3,31どうし、および、隣り合う金属板2,3とセラミック板4とが放電プラズマ焼結法により接合されている。前記少なくとも2枚の金属板のうち最外側に配置された金属板31が、Niを主成分とするNi板である。 (もっと読む)


【課題】金属板とセラミック板との間の界面剥離を防止することができるし、製造コストの低減を図ることができ、更に、放熱特性を向上させることができる積層材を提供する。
【解決手段】積層材1は、セラミック板4の一方の片面4aにCuまたはCu合金からなるCu板2が、セラミック板4の他方の片面4aにAlまたはAl合金からなるAl板3が、放電プラズマ焼結法によりそれぞれ接合されている。 (もっと読む)


【課題】 接合強度が高い、金属層付きセラミックス部材を提供する。
【解決手段】 AlおよびOを含むとともに、第3遷移元素(Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn)および第4遷移元素(Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Pd、Ag、Cd)から選ばれた少なくとも1種以上の特定遷移元素の酸化物を含むセラミックス体と、前記セラミックス体の表面に設けられた金属層と、を備える金属層付きセラミックス部材であって、前記金属層が、前記セラミックス体表面に接合した、前記特定遷移元素を主成分として含む第1の層と、前記第1の層と接合した、Ag、Au、Pt、Cu、Pd、V、Hf、Vのうち少なくとも1種と前記特定遷移元素とを含む第2の層と、を有し、前記第1の層における前記特定遷移元素の含有割合(質量%)は、前記第2の層における前記特定元素の含有割合(質量%)に比べて高いことを特徴とする金属層付きセラミックス部材を提供する。 (もっと読む)


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