【課題】金属酸化物薄膜パターンの形成に適した成型材料、及び当該材料を用いて成型体を製造する際の最適条件を提供すること。
【解決手段】本発明の成型材料は、金属アルコキシドのオリゴマーを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】（１）絶縁性があり、（２）耐熱性があり、（３）金属などの基材に塗布および熱処理して用いることができ、（４）基材との熱膨張係数差が大きくても剥離および破壊しない膜状の材料を得ること。
【解決手段】Ａｌ、Ｍｇ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｂｅのいずれかからなる金属アルコキシドが加水分解および脱水重合されて形成される無機物質中にフィラーを分散した材料で、フィラーの粒子は結晶面の一つが完全なへき開面を有する無機物を含んだものとし、さらにフィラーの粒子のへき開面は膜の面方向に対して並行に略整列とすることにより解決した。 （もっと読む）

【課題】ガスバリア性に優れ、酸性物質に暴露された後もガスバリア性を高いレベルで維持することができる複合構造体を提供する。
【解決手段】本発明の複合構造体は、基材（Ｘ）と基材（Ｘ）に積層された層（Ｙ）とを有する。層（Ｙ）は反応生成物（Ｒ）を含む。反応生成物（Ｒ）は、少なくとも金属酸化物（Ａ）と硫黄化合物（Ｂ）とが反応してなる反応生成物である。層（Ｙ）において、金属酸化物（Ａ）を構成する金属原子のモル数（Ｎ_M）と、硫黄化合物（Ｂ）に由来する硫黄原子のモル数（Ｎ_S）とが、０．６≦（モル数（Ｎ_M））／（モル数（Ｎ_S））≦４．０の関係を満たす。 （もっと読む）

【課題】ハフニウムおよび／もしくはジルコニウムオキシヒドロキシ化合物を備える薄膜または積層構造体を有する装置およびかかる装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ハフニウムおよびジルコニウム化合物は、通常ランタンのような他の金属でドープすることができる。電子装置またはそれを作製し得る構成材の例には、限定することなく、絶縁体、トランジスタおよびコンデンサがある。ポジ型もしくはネガ型レジストまたは装置の機能的構成材としての材料を用いて装置をパターン化する方法、例えば、インプリントリソグラフィー用のマスタープレートを作製することができ、腐食バリアを有する装置の製造方法の実施形態。光学基板およびコーティングを備える光学的装置の実施形態であり、電子顕微鏡を用いて寸法を正確に測定する物理的ルーラーの実施形態。 （もっと読む）

【課題】複雑で設計の自由度が高く、粒子構造に応じた機能を発現可能な階層構造の粒子集合体、及び、該粒子集合体を簡便かつ安価な方法で製造可能とする階層構造の粒子集合体の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の階層構造の粒子集合体は、基板と、該基板上に形成したテンプレートと、該テンプレート上に形成されたナノ構造体とを備える階層構造の粒子集合体であり、前記テンプレートは、球状粒子が規則的に配列された球状粒子層が前記基板側から前記ナノ構造体側に向けて少なくとも２層積層されて形成され、前記球状粒子の粒径サイズは、前記球状粒子層間で異なり、前記基板側から前記ナノ構造体側に向けて小さく、前記ナノ構造体は、前記テンプレートの最表層を形成する前記球状粒子層における個々の前記球状粒子上に配され、前記球状粒子の粒径サイズよりも小さな粒径のナノ粒子で形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】強誘電体等からなる金属酸化物膜を所望の位置に低温で低コストで形成する。
【解決手段】金属酸化物膜を形成するための前駆体溶液に、金属酸化物膜が成膜される基板を浸す工程と、前記基板と前記前駆体溶液との界面に光を集光した状態で、前記光を走査しながら照射する工程と、を有し、前記前駆体溶液は前記光を透過するものであって、前記基板上に前記金属酸化物膜を形成することを特徴とする金属酸化物膜の製造方法を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】単一配向の結晶配向性が高いセラミックス薄膜を得ることができるセラミックス前駆体薄膜の製造方法および前駆体溶液を提供する。
【解決手段】本発明に係るセラミックス前駆体薄膜の製造方法は、金属アルコキシド溶液を希釈した希釈溶液に、アモルファス粉末を混合し、金属アルコキシド系化合物を含む前駆体溶液を作製する前駆体溶液作製工程と、前記前駆体溶液を用いてゲル膜を成膜するゲル膜成膜工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 多孔質膜自体の化学的・物理的特徴に極力影響を与えず、かつ特殊な装置や真空工程を必要としない簡易な工程により、表面に封止層を有する多孔質膜の製造方法を提供する。
【解決手段】 基材上に多孔質膜を形成する工程と、支持体上に無機酸化物前駆体の縮重合体を含むゲル膜を形成する工程と、前記基材上に形成された前記多孔質膜と前記支持体上に形成された前記ゲル膜とを密着させて積層体を得る工程と、前記積層体を加熱することで前記ゲル膜を硬化する工程と、硬化した前記ゲル膜上の前記支持体を除去する工程とを有する多孔質膜の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ポリマーが熱により変質することを抑制してポリマーの表面に好適に成膜できる成膜方法及び成膜装置を提供する。
【解決手段】超臨界流体に酸化剤のオゾンガスと酸化物用原料のＴＥＯＳとを供給し、構造体１及びその周囲を２００℃の温度で加熱することによって、酸化物であるＳｉＯ₂を生成させ、このＳｉＯ₂によって構造体１のマイクロ流路３の内壁全面（従ってポリマーであるＰＤＭＳ膜９の表面）に酸化物層５であるＳｉＯ₂層を形成する。これにより、従来に比べて低い温度で酸化物層５を形成できるので、ポリマーが変質する等の問題が生じないという顕著な効果を奏する。また、ポリマー表面を隙間無く覆う様に酸化物層５を形成できるので、親水性やガス透過防止性を高めることができるという利点もある。 （もっと読む）

【課題】２００℃以下の低温度での金属酸化物薄膜の製造、および均質な有機−無機
複合体の製造に適した金属−酸素結合を有する分散質を提供するとともに、各種機能を有
する金属酸化物薄膜および有機−無機複合体、特に高屈折率、高透明性を有する有機−無
機複合体を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の金属−酸素結合を有する分散質は、３以上の加水分解性基を有する金属化合物と所定量の水を、酸、塩基、及び分散安定化剤からなる群から選ばれる少なくとも１種の非存在下に、所定温度で混合して得られてくる金属−酸素結合を有する分散質において、該所定量の水が、炭化水素系溶媒、及びアルコール系溶媒で希釈された溶液であり、該希釈された溶液を、該金属化合物に添加し、さらに該所定温度が、室温であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低反射率を実現すると共に、防汚性を備え、耐環境性、耐候性、長期安定性に優れた微細構造積層体を提供すること。
【解決手段】無機基材１１と、無機基材１１の一主面上に設けられ、無機基材１１とは反対側の表面に微細凹凸構造１３を有し、機能性微粒子が分散されたゾルゲル材料の硬化物層１２と、を備え、硬化物層１２において、無機基材１１側から微細凹凸構造１３側にかけて機能性無機微粒子の濃度が増大するように機能性無機微粒子が分散されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マグネシウム以外の金属についても、固相反応させることにより、色中心含有金属酸化物を得て、色中心発光特性を有する発光媒体を提供する。
【解決手段】カチオンが電子を受け取って金属原子となる際の標準電極電位が−２．８７〜−２．２（Ｖ）で、かつ、アルカリ金属，マグネシウムを含むアルカリ土類金属、もしくは、スカンジウムを除く希土類元素のいずれかに属する金属と、酸化物を構成する金属の標準電極電位が−１．７〜＋０．４（Ｖ）である酸化物とを、所定の雰囲気下で、所定の温度で加熱する固相反応工程と、固相反応工程で得られる金属の昇華物を回収する工程とから成る。得られる昇華物は、酸素空孔を多量に導入させた金属酸化物であり、色中心由来の発光特性を有する。金属と固相反応させる酸化物のバリエーションを増やして、工業的生産の利便性を図る。 （もっと読む）

【課題】薄膜トランジスタのスイッチング特性に優れており、特に保護膜形成後も良好な特性を安定して得ることが可能な薄膜トランジスタ半導体層用酸化物を提供する。
【解決手段】本発明に係る薄膜トランジスタの半導体層用酸化物は、薄膜トランジスタの半導体層に用いられる酸化物であって、前記酸化物は、Ｚｎ、ＳｎおよびＳｉを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】低コストで安定した品質の薄膜を製造すること。
【解決手段】薄膜製造方法は、基板２０の第１主面２０ａ上に形成させる薄膜の金属酸化物前駆体溶液１２中に、基板を配置する配置工程と、光源１３からレーザ光１４を照射することにより、基板２０の第１主面２０ａ上に薄膜を形成する形成工程と、光源１３と同一の光源１３からレーザ光１４を照射して、基板２０の第１主面２０ａと金属酸化物前駆体溶液１２の液面の距離７３を計測する工程と、計測結果に基づいて、基板２０の高さ方向の位置を調整する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】工程が煩雑でなく、基板の表裏で金属酸化物膜の材質や膜厚が異なる場合でも、適切なパターンを形成できる金属酸化物膜パターンの製造方法を提供すること。
【解決手段】基板の片面に、金属錯体Ａを含む膜αを形成する第１の膜形成工程と、反対側の面に、金属錯体Ｂを含む膜βを形成する第２の膜形成工程と、前記膜αを、波長領域λ₁を含む光を用い露光する第１の露光工程と、前記膜βを、波長領域λ₂の光を用い露光する第２の露光工程と、前記膜αを現像する第１の現像工程と、前記膜βを現像する第２の現像工程と、前記金属錯体Ａ及び前記金属錯体Ｂを、それぞれ、金属酸化物に転化する転化工程と、を備え、前記金属錯体Ｂは、前記波長領域λ₂の光を照射したとき、前記金属錯体Ａに前記波長領域λ₂の光を照射した場合よりも、前記現像液に対する溶解性が大きく変化することを特徴とする金属酸化物膜パターンの製造方法。 （もっと読む）

【課題】従来の金属塩の分解温度よりも低い温度でのセラミックス形成を可能とし、粒子径のバラツキを少なくして、結晶性の高いセラミックス粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】金属源としての金属塩又は金属錯体（金属キレート化合物を除く）に、キレート化剤溶液を添加して形成された金属キレート化合物が溶媒中に溶解しているセラミックス形成用溶液を加熱・昇温して、該金属キレート化合物を熱分解させることによりセラミックスを製造することを特徴とするセラミックスの製造方法。 （もっと読む）

【課題】１００ｎｍ以下の規則的なパターン構造を有するＬＢ膜、及び該ＬＢ膜を鋳型材として利用して、２次元的な構造を持つパターン形成体を提供する。
【解決手段】ＬＢ膜形成分子としてフッ素化脂肪酸を用いるとともに、アルコール／水混合液をＬＢ膜作製時における下層液として利用することで、２０〜１００ｎｍの規則的なドメイン構造を有するＬＢ膜を得え、さらに、該ドメイン構造を有するＬＢ膜を鋳型材として、最終的に２次元的な構造を有するパターン形成体を得る。 （もっと読む）

【課題】 保存安定性を長期に亘って良好に保持することができるセラミックス薄膜形成
用組成物の保存方法、セラミック薄膜の製造方法、圧電素子の製造方法、液体噴射ヘッド
の製造方法を提供する。
【解決手段】 セラミックス薄膜を構成する有機金属化合物と、水と、を少なくとも混合
してセラミックス薄膜形成用組成物とし、該セラミックス薄膜形成用組成物を冷結晶化さ
せた後、冷結晶化のピーク領域の上限温度より高く融解開始温度より低い温度で保存する
。 （もっと読む）

【課題】 安価で、かつ高性能な機能性金属酸化物層を簡易に生産性よく製造することのできる機能性金属酸化物層の製造方法、およびその製造方法によって得られる機能性金属酸化物層を提供すること。
【解決手段】 金属酸化物からなる微粒子と、この金属酸化物を構成している金属元素の金属からなる微粒子とを含有する塗液を調製する工程と、塗液を支持体に被着させる工程と、塗液の層から溶媒を蒸発させ、金属酸化物微粒子と金属微粒子とを含有する微粒子層を形成する工程と、微粒子層に酸化性雰囲気中においてプラズマを照射することによって、金属酸化物微粒子間を直接、及び／又は、少なくとも一部が酸化された金属微粒子を介して連結し、機能性金属酸化物層を形成する。金属酸化物微粒子層に接して金属層を積層し、これにプラズマを照射して、機能性金属酸化物層を形成してもよい。 （もっと読む）

【課題】低コストで安定した品質の薄膜を製造することができる薄膜製造方法を提供する。
【解決手段】薄膜製造方法であって、基板２０の第１主面２０ａ上に形成させる薄膜の原料溶液中に、基板を配置する配置工程と、第１主面２０ａ側から光を照射することにより、基板２０の第１主面２０ａ上に薄膜を形成する形成工程とを有する。 （もっと読む）