重金属無機化合物 (11,210) | 気相法共通 (248)

基板材料の選択 (102)
基板の表面処理 (119)
各成分を別個に順次成膜するもの (14)
金属膜を成膜し、これを酸化等するもの (2)
膜をパターン化するもの (5)
電場、磁場を利用するもの (2)
基板に光、粒子線を照射するもの (2)
その他 (2)