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Fターム[4G059AC00]の内容

ガラスの表面処理 (18,270) | 機能 (3,660)

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【課題】熱CVD法により薄膜付基板を好適に製造し得る方法を提供する。
【解決手段】基板10の薄膜を形成しようとする部分である成膜部10cの他主面10c2に、基板10に吸収される波長域の光を照射することにより成膜部10cを加熱した状態で、成膜部10cの一主面10c1に対向して配置したノズル30から成膜部10cの一主面10c1に向けて反応ガスを供給することにより薄膜を形成する。 (もっと読む)


基板をコーティングする装置は、ポンプ区画の両側に並置された2個のプロセス区画を備えている。ポンプ区画は、この2個のプロセス区画および通路からのガスをポンプによってポンピングするためにそれらと動作可能に連通しており、また、基板コーティングプロセスに際してガスをほぼ分離することが十分可能である。ポンプ区画は、通路長さが1個のプロセス区画に関連した通路長さ、別のプロセス区画に関連した通路長さ、またはこの2つの通路長さの平均の2倍未満である場合にこのような分離を十分行うことができる。また、基板コーティングプロセスに際してガスをポンピングする装置、基板のコーティングまたはガスのポンピングに関連した方法も提供する。 (もっと読む)


【課題】効率的な乾燥工程を実現できる機能薄膜付きガラス板の製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、ガラス板の表面に液状の機能コーティング剤を塗布し、ガラス板の表面に液膜を形成する塗布工程と、前記液膜が形成されたガラス板を加熱し、前記液膜を焼成する加熱工程とを含む、機能薄膜付きガラス板の製造方法であって、前記塗布工程と前記加熱工程の間に、塗布された前記液状の機能コーティング剤を乾燥させる乾燥工程を有し、該乾燥工程は、真空乾燥工程と、該真空乾燥工程に後続する送風乾燥工程と、を含むことを特徴とする。 (もっと読む)


本発明は、ロック開口部を開閉するためのシャッター(6)と、該シャッターを固定するためのラッチ(7)とを備え、少なくとも1000mmの長さを持つロック開口部(13)を有する、コーティングチャンバー用の装入ロック、特には矩形の真空ロックを有するコーティングプラント、特には真空コーティングプラントに関する。シャッターおよびラッチを第1の開位置から第2の閉位置へと、またその逆に動かす手段が設けられており、これらの手段はまた確実に、シャッター(6)が、シャッターが閉じられた後にラッチ(7)によって自動的に固定されかつそれが開かれる前に再び解放されるようにして、シャッター(6)とラッチ(7)との動作が互いに連動されるようにする。
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