【課題】外部の機械的影響から保護する硬質材料層を少なくとも部分的に備えている改善されたガラスセラミックを提供する。
【解決手段】外部の機械的影響に対して保護する硬質材料層を少なくとも部分的に備えているガラスセラミックであって、その際、− 硬質材料層が、並んで存在しており、かつ互いに混合されている少なくとも２つの相を含有し、− 少なくとも１つのナノ結晶相及び１つの非晶相が存在し、− 硬質材料層が、少なくとも２６ＧＰａの強度及び少なくとも０．５μｍの層厚を有し、− 硬質材料層が、２００℃〜１０００℃の温度範囲内で耐化学薬品性であり、かつ− ガラスセラミックの熱膨張係数αが、硬質材料層の熱膨張係数αから^＋／₋２０％を超えて相違しないガラスセラミックによって解決される。 （もっと読む）

【課題】実用に耐えうる耐摩耗性を備えた撥油性膜を持つ撥油性基材を製造することができる成膜方法を提供する。
【解決手段】前照射工程、第１の成膜工程、後照射工程及び第２の成膜工程を順次有する。前照射工程では、基板１０１の表面にエネルギーを持つ粒子を３００〜６００秒の照射時間で照射する。第１の成膜工程では、前照射工程後の基板１０１の粒子照射面にイオンビームを用いたイオンアシスト蒸着法によって第１の膜１０３を３ｎｍ以上の厚みで成膜する。後照射工程では、基板１０１に成膜された第１の膜１０３にエネルギーを持つ粒子を照射する。これにより第１の膜１０３の厚みを０．１〜５００ｎｍとし、かつ第１の膜１０３の表面に特定の表面特性を満足する凹凸を形成させる。第２の成膜工程では、後照射工程後の第１の膜１０３の凹凸面に撥油性を有する第２の膜１０５を成膜する。 （もっと読む）

【課題】反射防止層の耐摩耗性を改良したコーティングされた基板とそのコーティング方法を提供する。
【解決手段】少なくとも一面に、多層反射防止コーティング５を有し、その多層反射防止コーティング５は、より高い屈折率を有する層５１，５３とより低い屈折率を有する層５２，５４とが交互になっている、異なる屈折率を有する複数の層から形成されており、その際、より低い屈折率を有する層５２，５４は、アルミニウム分を有する酸化ケイ素から形成されており、ケイ素に対するアルミニウムの物質量の比は、０．０５より大きく、好ましくは０．０８より大きいが、ケイ素の物質量は、アルミニウムの物質量に比べて多く、その際、より高い屈折率を有する層５１，５３は、ケイ化物、酸化物または窒化物を含有している。 （もっと読む）

【課題】窒化ケイ素をベースとし、改善された機械的抵抗性を有する少なくとも１つの層を含む多層系を含んでなる、特にグレージング用の基板を提供する。
【解決手段】ケイ素またはアルミニウムまたはこの２つの混合物の［窒化物、炭窒化物、酸窒化物または酸炭窒化物］をベースとする少なくとも１つの層を、ガラスからできているタイプの透明基板上に配設した被覆層と共に含む被膜を含んでなる透明基板である。この被覆層は酸化物ベースの機械的保護層であり、この酸化物が場合によっては化学量論以下または化学量論以上の酸素含量を有し、および／または場合によっては窒化物であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マスクブランク用基板の洗浄時に、超音波を印加した洗浄水を用いた洗浄方法を適用した場合でも、ガラス基板内部に潜傷が発生することを抑制でき、しかも基板主表面に存在するパーティクルを確実に排除できるマスクブランク用基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のマスクブランク用基板の製造方法は、ガラス材料からなる基板の表面に向かって、周波数が１．５ＭＨｚよりも高い超音波が印加された洗浄水を当てて基板の表面を洗浄する洗浄工程を有する。 （もっと読む）

【課題】空気接触面に付着した金属、金属合金、金属化合物、又は金属間化合物層から成る耐傷性を有する保護層を提供する。
【解決手段】この保護層の厚さは、通常、１〜３ｎｍであり、酸化後、光学吸収を持つ。この層は、始めに主に未酸化又は未窒化状態で付着される。該金属、金属合金、金属化合物、又は金属間化合物層は、空気に曝された後、数日以内に完全に酸化する。この層を酸素又は窒素等の反応性ガスを含むプラズマ、放電、又はイオンビームに曝す場合は、この保護層の厚さは、２〜５ｎｍであってもよい。 （もっと読む）

【課題】一般ガラスに赤外線反射物質をコーティングされたガラスを使用して赤外線を一次的に反射した後、遮断されない残りの赤外線を二次的にＬｏｗ−Ｅガラスまたは熱変色性物質がコーティングされたガラスで反射させて、室内に流入または室外に流出される熱エネルギーを遮断できる二重窓システムを提供する。
【解決手段】本発明は第１ガラス部材、第２ガラス部材及び第１ガラス部材と前記第２ガラス部材間に設けられて前記第１ガラス部材と前記第２ガラス部材の間隔を維持するスペース部材を有する赤外線遮断のための二重窓システムであって、第１ガラス部材の一表面には近赤外線反射用ナノ物質コーティング膜が形成されており、第２ガラス部材の一表面には熱変色性物質コーティング膜が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガラス・タイプの透明基板をコートするのに用いることができる新しい薄膜材料、新しい堆積・プロセスおよび新しい装置を提供する。
【解決手段】少なくとも一つの薄い誘電体層がコートされた基板（１）、例えばガラス基板。誘電体層はカソード・スパッタリングによって、例えば、磁界によってたすけられる、好ましくは酸素および／または窒素の存在下で反応性であるカソード・スパッタリングによって、イオン源（４）からの少なくとも一つのイオンビーム（３）への曝露と、堆積される。イオンビームに曝露された誘電体層がイオン源のパラメータに基づいて調整できる屈折率を有し、前記イオン源が線状源であることができる。 （もっと読む）

【課題】ガラス・タイプの透明基板をコートするのに用いることができる新しい薄膜材料、新しい堆積・プロセスおよび新しい装置を提供する。
【解決手段】少なくとも一つの薄い誘電体層がコートされた基板（１）、例えばガラス基板。誘電体層はカソード・スパッタリングによって、例えば、磁界によってたすけられる、好ましくは酸素および／または窒素の存在下で反応性であるカソード・スパッタリングによって、イオン源（４）からの少なくとも一つのイオンビーム（３）への曝露と、堆積される。イオンビームに曝露された誘電体層が結晶化することもできる。 （もっと読む）

【課題】アルカリ金属のガラス基板の表面への拡散を確実に防止することができるマスクブランクス、フォトマスクの製造方法及びフォトマスクを提供すること。
【解決手段】マスクブランクス１０は、アルカリ金属を含有するガラス基板１、このガラス基板の表面上に形成された拡散防止層２、拡散防止層２上に形成された遮光層３、遮光層３上に形成された反射防止層４を備える。ガラス基板の表面が研磨され、その表面粗さＲａが２ｎｍ以下とされた。表面粗さＲａが２ｎｍ以下であっても、拡散防止層２が設けられることにより、ガラス基板１からアルカリ金属が他の層へ拡散することを抑制し、マウスニップ欠陥の発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】薄膜自体に膜応力がある場合においても、マスクブランクの平坦度が所望の平坦度となり、マスクのパターン位置精度や、パターン転写の際、パターン位置ずれやパターン欠陥が発生することがないマスクブランクの製造方法および転写用マスクの製造方法を提供する。
【解決手段】電子デバイス用基板の主表面上に薄膜を形成してマスクブランクを製造するマスクブランクの製造方法であって、
前記薄膜を形成する側の主表面の表面形状が凸形状である基板に対し、クロムを主成分とする材料からなり、引張応力を有する前記薄膜をスパッタリング法で形成することにより、前記薄膜の成膜前よりも主表面の平坦度が高いマスクブランクを得ることを特徴とするマスクブランクの製造方法および転写用マスクの製造方法。 （もっと読む）

【課題】
低放射膜の可視光透過性を損ねることなくＡｇ層の酸化を抑制し、なおかつ現行のスパッタ生産設備でも低コストで容易に生産が可能な、新たなバリア層と、該バリア層を含む低放射膜を得ること。
【解決手段】
基材上に蒸着プロセスによって形成される低放射膜において、基材上に下地層と、薄膜積層部とを有し、該薄膜積層部は金属層と、該金属層上にバリア層とを含有するものであり、該バリア層は該金属層上に接し窒化物または酸窒化物からなることを特徴とする低放射膜。 （もっと読む）

【課題】水滴による曇りを防止できる優れた防曇性を有し、さらにその防曇性が長期間にわたって持続する時計用カバーガラス、これを備えた時計、および時計用カバーガラスの防曇処理方法を提供する。
【解決手段】内面に防曇剤が塗布されている時計用カバーガラスであって、該カバーガラス本体は、その体表面部における少なくとも一部が金属−酸素（Ｍ−Ｏ）結合を有する化学構造を備えており、前記体表面部の少なくとも一部には、非カップリング部位に少なくとも１個以上の硫黄原子を含むオルガノシランまたは／およびその加水分解物の、２量体以上の縮合物を含む有機層が形成され、前記有機層の表面に前記防曇剤が塗布されているとともに、前記防曇剤がアニオン界面活性剤を含むことを特徴とする時計用カバーガラス。 （もっと読む）

【課題】本発明は車両用窓ガラスの好適な熱線反射膜の除去方法を得ることを目的とした。
【解決手段】真空成膜法を用いて熱線反射膜が形成された車両用窓ガラスの製造方法において、基材上の成膜面に剥離材を塗布する工程、該剥離材が塗布された基材上に熱線反射膜を形成する工程、該熱線反射膜形成後に該剥離材を除去する工程、を有することを特徴とし、前記剥離材が水溶性高分子化合物であることを特徴とする車両用窓ガラスの製造方法。 （もっと読む）

本発明は、複合材料を生産する方法に関する。構造化されたゾル−ゲル層が、ガラス又はガラス−セラミック基板上へ付与される。続いて、更なる層が、ＰＶＤ法によって付与される。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】本発明は、放射制御コーティングを提供する。このコーティングは、その上を酸素遮断膜で覆われた透明導電膜を含む。幾つかの実施の形態においては、透明導電膜は、酸化インジウムスズを含有し、酸素遮断膜は、窒化ケイ素を含有する。 （もっと読む）

本発明は、ガラス基材の一方の面の少なくとも一部に下にある面の最大１５％を覆う二酸化チタンからなる光触媒コーティングを備えたガラス基材を含む材料であって、前記光触媒コーティングが相互接続されたストランドの二次元網状構造の形態である材料に関する。
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本発明は、電気伝導性金属を含有する低放射層と、前記低放射層の片面または両面に形成され、一般式１：ＴｉＣｅＯｘで表される複合金属酸化物を含む誘電体層と、を備える低放射ガラスに関する。本発明によれば、低放射ガラスの低放射層を保護して放射率を下げる役割を果たす誘電体層が、上述したように、一般式１で表される複合金属酸化物を含有することから、優れた低放射率を維持した状態で、可視光透過率を一層効率よく上げることができる。
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【課題】本発明は、反射色調を調整することが可能な低放射膜を提供することを課題とする。
【解決手段】基材上に蒸着プロセスによって形成される低放射膜であり、該低放射膜は、誘電体層とＡｇを主成分とする金属層とが、交互に２ｎ＋１層（ｎは１以上の整数）積層されてなる積層構造を有しており、上記金属層はＡｒと酸素とを含む混合ガスを用いて形成されるものであり、該混合ガスは酸素／（Ａｒ＋酸素）×１００で表される酸素濃度が０．５〜１３体積％であること。 （もっと読む）