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Fターム[4G060AD13]の内容

Fターム[4G060AD13]に分類される特許

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プラズマ中でイオンさやを形成して、非導電性基材(12)上にコーティングを堆積する装置。この装置は、第1の幅を有する第1の電極(60)に螺旋状に巻き付ける外側表面を有する管状反応チャンバ(56)を含む。第1の電極の螺旋状の巻き付けにより、管状反応チャンバの外側表面周囲に複数の第1のラップが与えられる。この装置は、第1の幅より大きい第2の幅を有する第2の電極(58)をさらに含む。第2の電極の螺旋状の巻き付けにより、管状反応チャンバの外側表面周囲に第1のラップと交互の複数の第2のラップが与えられる。プラズマ中のイオンさやは、第1の電極が無線周波数電源に接続され、第2の電極が接地のための経路を提供するとき、管状反応チャンバの少なくとも長手軸に延在する厚さまで形成される。
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金属/誘電体構造(10、20、30、50、62)は、その中を通して光を導くのに適している透光基体(12、54)又は誘電体基体(65)のいずれかと、基体の表面上に堆積された少なくとも1種の金属又はメタロイドの酸化物形態を含む任意の接着促進層(18、56、66)と、接着促進層(18、56、66)の上に配置されている高反射金属(14、58)及び/又は導電性金属(68)/電磁金属から成る層と、及び金属層(14)の上に形成されたパリレンポリマーフィルム(17、19)から成る保護層(16、60、70)とを含む。
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