Fターム［4G061DA00］の内容
ガラスの接着 (12,112) | 接着方法、装置 (1,948)
Fターム［4G061DA00］の下位に属するFターム
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Fターム［4G061DA00］に分類される特許
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被加工材の変形量低減方法、被加工材の加工方法及び処理器の製造方法
【課題】ガラス材に生じた反り等の変形量を低減する。
【解決手段】ガラス基板１０，２０，３０の両面にドライフィルムを施し、各ガラス基板１０，２０，３０について一方のドライフィルムに所定パターンの開口を露光・現像により形成する。次に、サンドブラスト法によってその開口パターンに沿った溝をガラス基板１０，２０，３０に施す。次に、ドライフィルムを貼り付けた状態でガラス基板１０，２０，３０をドライエッチング装置１００のステージ１０６に載置し、溝の壁面部分をドライエッチングする。次に、溝に触媒を担持し、ガラス基板１０，２０，３０を接合する。
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被加工材の変形量低減方法、被加工材の加工方法及び反応器の製造方法
【課題】ガラス材等の被加工材に生じた反り等の変形量を低減する。
【解決手段】ガラス基板１０，２０，３０の両面にドライフィルムを施し、各ガラス基板１０，２０，３０について一方のドライフィルムに所定パターンの開口を露光・現像により形成する。次に、サンドブラスト法によってその開口パターンに沿った溝をガラス基板１０，２０，３０に施す。次に、ドライフィルムを貼り付けた状態でガラス基板１０，２０，３０をエッチング液に浸漬し、溝の壁面部分をエッチングする。次に、溝に触媒を担持し、ガラス基板１０，２０，３０を接合する。
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