【課題】ＥＵＶリソグラフィにおけるフォトマスクまたはミラー材等として好適な、表層部分に微小空孔（ボイド）やパーティクル等の異物が実質的に内包されない光学用部材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】チタニア−シリカガラスＷの最表面から少なくとも０．２ｍｍ（ｄ）の表層領域における単位面積あたりの空孔、異物個数が、前記表層領域を超えた内部領域にける空孔、異物個数より少なく、かつ、チタニア−シリカガラス体の最表面から少なくとも０．２ｍｍ（ｄ）の表層領域におけるＳｉＯ₂含有量と、前記表層領域を超えた部領域にけるＳｉＯ₂含有量の変化率が０．１％以下であることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】画素欠陥のないＰＤＰを得ることができる誘電体層用組成物及びグリーンシート、並びにこのグリーンシートから形成された誘電体層を有する誘電体層形成基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】熱分解性バインダー、ガラス成分および分散剤を含有してなる誘電体層用組成物であって、前記熱分解性バインダーが、重量平均分子量が２０，０００〜２５０，０００で、かつ、ガラス転移温度が−５℃〜＋４０℃の高分子であり、前記熱分解性バインダーの含有量が、固形分比でガラス成分１００重量部に対し、１０〜５０重量部である誘電体層用組成物を乾燥してフィルム化した後、該グリーンシートを基板に貼り合わせ、焼成することにより、誘電体層形成基板を製造する。 （もっと読む）

Ａｌ_２Ｏ_３−Ｌａ_２Ｏ_３−Ｙ_２Ｏ_３−ＭｇＯセラミック（ガラス、結晶質セラミック、およびガラスセラミックを含む）およびその製造方法。本発明によるセラミックを、ガラスビーズ、物品（たとえば、プレート）、繊維、粒子、および薄いコーティングとして、製造、形成するか、それらに変換することができる。粒子および繊維は、たとえば、熱絶縁体、充填剤、または複合材（たとえば、セラミック、金属、またはポリマーマトリックス複合材）中の強化材料として有用である。薄いコーティングは、たとえば、磨耗を伴う用途における保護コーティングとして、および熱管理のために有用であることができる。本発明によるセラミック粒子のいくつかの実施形態は、研磨粒子として特に有用であることができる。
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