【課題】窒化ガリウム（ＧａＮ）の結晶成長を促進するフラックスとして機能するナトリウムを低コストで精製し供給する装置及び方法を提供する。
【解決手段】原料である固体ナトリウムｓｌを収容すると共に、液体ナトリウムｍｌについて通過自在かつ前記固体ナトリウムｓｌに不可避的に含まれるナトリウム化合物については通過を阻止して除去するろ過機能を有するろ過容器１と、固体ナトリウムｓｌが溶融し、かつ、前記ナトリウム化合物が溶融しない温度に固体ナトリウムｓｌを加熱する加熱保温部１５と、ろ過機能に基づいてろ過容器１から流れ出た液体ナトリウムｍｌを坩堝Ｂに供給する供給手段と、ろ過容器１、加熱保温部１５及び供給手段を非酸化性雰囲気に保持するチャンバ１６とを具備する。 （もっと読む）

【課題】粉粒体を安定供給する。
【解決手段】粉粒体を安定した供給速度で供給するための定量供給装置１０であって、粉粒体を収容する容器１２と、粉粒体が充満される環状溝１４ｂを上面１４ａに備える回転テーブル１４と、回転テーブル１４の環状溝１４ｂ内の粉粒体を掻き出すスクレーパ１６とを有し、環状溝１４ｂの一部分が容器１２内部に位置しつつ、環状溝１４ｂの残りの部分が容器１２外部に位置するように回転テーブル１４が回転可能に配置され、スクレーパ１６が、容器１２外部で環状溝１４ｂから回転テーブル１４外側に粉粒体を掻き出す。回転テーブル１４の環状溝１４ｂが容器１２内部に向かう容器１２の側壁１２ｂの部分において、容器１２の外部に連通し、且つ環状溝１４ｂおよび回転テーブル１４の環状溝周縁部分を環状溝幅方向に覆うように形成された凹部１２ｄを備える。 （もっと読む）

【課題】粉粒体を安定供給する。
【解決手段】粉粒体を安定した供給速度で供給するための定量供給装置であって、粉粒体を収容する容器１２と、粉粒体が充満される環状溝１４ｂを上面１４ａに備える回転テーブル１４とを有し、環状溝１４ｂの一部分が容器１２内部に位置しつつ、環状溝１４ｂの残りの部分が容器１２外部に位置するように回転テーブル１４が回転可能に配置されている。回転テーブル１４の環状溝１４ｂが容器１２外部に向かう容器１２の側壁１２ｂの部分において、環状溝１４ｂの移動方向Ｒ１に向かって且つ環状溝１４ｂに向かって延びる、容器１２内の粉粒体をすりきりして環状溝１４ｂ内に充満する傾斜面２４ａを備えるすりきり部材２４をさらに有する。 （もっと読む）

【課題】水等の逆流が防止され、液剤の高精度な混合が可能となる液体混合装置を提供すること。
【解決手段】流体が流通する管路部７と、管路部７へ液剤を供給するための液剤供給路１７と、液剤供給路１７に配設された液剤供給部材３とを備えており、液剤供給部材３が、液剤供給路１７から液剤を受け入れる液剤受入位置と、液剤を管路部７に排出する液剤排出位置とに変位可能に構成されており、液剤供給部材３が、所定量の液剤を収容しうる計量部を有しており、この計量部は、液剤供給部材３が液剤受入位置にあるときには、液剤供給路１７と連通し且つ管路部７には連通せず、液剤供給部材３が液剤排出位置にあるときには、管路部７と連通し且つ液剤供給路１７には連通しないように構成されている。 （もっと読む）

【課題】電解液の注入量をさらに精度よく制御できる装置を提供する。
【解決手段】注入装置１は、シリンダ１１内の計量空間Ｓをピストン１２が動く計量ユニット１０と、電解液１９を注入するディスペンサ２０と、計量空間Ｓの上端部とディスペンサ２０とをつなぐ第１の管路４１と、第１の管路４１に配置され、ピストン１２の動作に伴う背圧の変化により作動する背圧弁５０と、第２の管路４２を介して計量空間Ｓへ流入する液をオンオフする入口弁５と、操作棒６１により背圧弁５０を一時的に開にセットする開放ユニット６０とを有する。 （もっと読む）

【課題】 液体を計量容器に高速、かつ高精度で分注することができるようにする。
【解決手段】 供給容器内の液体を計量容器に、精密に分注するための分注装置において、当該供給容器にチューブで結ばれた粗秤量供給用のポンプとしてのエアーブロアを具備し、当該供給容器と当該計量容器間にチューブで結ばれた精密秤量供給用のポンプとしての圧電素子式ポンプを具備し、当該計量容器に注入された液体重量を計測する精密電子天秤を具備することを特徴とする精密液体分注装置。 （もっと読む）

【課題】より高精度な混合比率を得ることができる連続計量混合システムを提供する。
【解決手段】各々、異なる被計量物を連続して排出し、各被計量物の目標混合比率に応じて設定される各被計量物の単位時間当たりの設定排出量に基づいて各被計量物の排出量を制御するように構成されるとともに、各々から排出する被計量物が液体または粉体であって少なくとも１つの被計量物が液体である、複数の連続計量供給装置２，３，４と、全ての連続計量供給装置２，３，４から排出される被計量物を混合しながら連続して排出する混合装置５と、混合装置５から排出される混合物を後段装置へ供給するための輸送ライン７と、輸送ライン７の中途に挿入された貯槽８と、貯槽８内の混合物を吸い出すポンプ１０と、ポンプ１０で吸い出した混合物を貯槽８よりも混合装置５寄りの輸送ライン７へ戻すための戻りライン９とを備えている。 （もっと読む）

【課題】貯槽底部に設けた回転テーブルの外周部の環状溝に充填した粉体をスクレーパによって掻き出して排出口から供給先に送る粉体供給機における、特に粉体のかさ密度の低い場合の環状溝への粉体の充填量が少なくなる問題、そして供給量が所定より少なくなる問題を解決する粉体供給機を提供する。
【解決手段】回転テーブル６の外周部に環状溝９を形成する環状段部６ａが、鉛直Ｘ方向に延びる環状の縦面６ｂと、この縦面６ｂの下端から外方に向けて延び下方に傾斜した環状の底面６ｃを備えている。 （もっと読む）

【課題】ソレノイド駆動式のダイヤフラムポンプを用いても、騒音の低減が可能な除菌器を提供すること。
【解決手段】連結管７内を流れる流体に薬液を注入することで、除菌を行う除菌器１において、第１ベース１２、第１ベース１２の上面よりもその上面が上方に配置された第２ベース１４、及び、第１ベース１２及び第２ベース１４と連続する壁部１３を有し、樹脂材料により成形された架台３と、第２ベース１４上に配置された薬液を貯留させる薬液槽４と、壁部１３に配置される電磁ソレノイド４２、及び、電磁ソレノイド４２により駆動され、薬液を連結管７内に圧送するダイヤフラムポンプ４１を有する薬液注入手段６と、ダイヤフラムポンプ４１を支持するとともに、第１ベース１２に固定される支持体５１、第１ベース１２及び支持体５１との間に介在される第１弾性部材５２と、を備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】薬液の注入不良を防止することが可能な薬液注入装置を提供すること。
【解決手段】薬液注入装置１は、薬液槽１０に貯留された薬液を本管１００に流れる水に注入するダイヤフラムポンプ１１と、ダイヤフラムポンプ１１により本管１００に注入される薬液の流量を検出する第１流量センサ１４と、本管１００を流れる水の流量を検出する第２流量センサ１５と、第１流量センサ１４及び第２流量センサ１５により検出された流量から、水に注入された薬液の濃度を算出するとともに、目標の薬液の濃度とするために、ダイヤフラムポンプ１１から注入される薬液の量を制御する制御装置１８と、を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】薬剤濃度の変動が少ない薬剤水溶液を供給することができる薬剤溶解供給装置を提供する。
【解決手段】槽３は、下部の一方の側面部に水の流入口３ａを有し、他方の側面部に水の流出口３ｂを有している。流入口３ａ及び流出口３ｂは、槽３の底部と同レベルに設けられている。流入口３ａ及び流出口３ｂには、それぞれ固形薬剤Ａの流出防止用のメッシュ４が設けられている。流入口３ａには、ポンプ２からの水が定流量弁６を介して導入可能とされている。槽３の上部には、空気の導入口３ｅが設けられ、ブロワ５からの空気が槽３内に導入可能とされている。 （もっと読む）

【課題】安価な構成で純水の供給量を正確に計量することができる純水供給システムを提供する。
【解決手段】純水供給システム１は、純水を溜める貯留槽１０と、この貯留槽１０に溜めた純水を貯留槽１０の外部に送給して貯留槽１０に戻す循環路１２と、貯留槽１０から循環路１２に純水を送給するポンプ１１とを備えている。循環路１２の途中部には、鉛直下方に延びて循環路１２を流れる純水を反応槽３に供給する供給配管１３が接続されている。前記循環路１２には、前記途中部から上流側の所定範囲にかけて水平方向に延びる主管部１２ｅ１が設けられ、この主管部１２ｅ１には反応槽３に供給される純水の流量を計量する流量計８が配置されている。循環路１２の前記塗中部よりも下流側には、循環路１２を開閉する第１開閉弁１４ａが配置され、供給配管１３には当該供給配管１３を開閉する第２開閉弁１４ｂが配置されている。 （もっと読む）

【課題】薬剤補充口の開閉が容易であると共に、流量計等の機器の腐食が防止される薬剤溶解供給装置を提供する。
【解決手段】槽３の上部には固形薬剤Ａの補充口３ｃが設けられ、蓋３ｄが着脱自在に装着されている。槽３内に水を供給するための給水管７の途中は上下方向に延在した上向流部７ａとなっており、流量計５及び逆止弁７は、この上向流部７ａに、流量計５が逆止弁６の上側となるように設置されている。給水管７からの水は散水器３ａからシャワー状に吐出され、薬剤水溶液は槽３の下部の流出口３ｂから取り出される。 （もっと読む）

【課題】溶融炉からの供給量を自動調整できるフレーク製造機を提供する。
【解決手段】上面が半径方向に傾斜したターンテーブル２と、ターンテーブル２に原料を供給する原料供給源１と、原料供給源１の供給量を制御する供給量制御装置Ｃとを備え、供給量制御装置Ｃは、原料供給源の供給量を調整する供給量調整機６と、ターンテーブルを撮影するカメラ４と、カメラ４の撮影画像における原料部分の面積から原料供給源の供給量を演算し、演算結果を基に供給量調整機に調整指示を与える演算機５とからなる。ターンテーブル２の上面に均一な厚さの原料凝固体を得ることができ、原料凝固体の面積を演算することで原料供給源の供給量を求めることができ、供給量制御装置Ｃを簡易なものにできる。 （もっと読む）

【課題】粉粒体の連続搬送中に、予め定められた混合割合で混合を精度良く行う混合システムを提供する。
【解決手段】特定種別の石炭Ａの質量を計測し、搬送する第１石炭搬送経路２２と、前記石炭Ａと異なる種別の石炭Ｂの質量を計測し搬送する第２石炭搬送経路３２と、前記石炭Ａと前記石炭Ｂとを搬送中に混合した混炭を搬送する混炭搬送経路１２とからなる。前記石炭Ａと前記石炭Ｂの混合比率を予め定め、前記混炭の混合比率がその値となるように、前記石炭Ｂの単位時間当たりの搬送量を調整する制御手段を備え、前記制御手段は、前記石炭Ａの質量が計測されてから、前記石炭Ａが前記混合位置に至るまでの時間ｔ１から前記石炭Ｂの質量が計測されてから、前記石炭Ｂが前記混合位置に至るまでの時間ｔ２を減算して得られる時間差ｔ３に基づいて前記石炭Ｂの単位時間当たりの搬送量を調整する信号を前記第２石炭搬送経路へ出力する。 （もっと読む）

【課題】除菌剤などの薬剤を、少ない濃度ムラで注入する薬液注入器、および給水ユニットを提供する。
【解決手段】薬液注入器は、送水管内の流量を検出する流量検出手段と、薬液を注入する注入ポンプと、流量に基づき注入ポンプを作動させる制御手段を備え、算出された注入ポンプの作動頻度が下限値以上であれば、算出された作動頻度で注入ポンプを作動させ、作動頻度が下限値未満であれば、予め定められた最低頻度で注入ポンプを作動させることとした。給水ユニットは、薬液注入器と、給水ポンプと、濾過装置などから構成されている。送水管には、薬液注入器の注入位置より下流に濾過装置を設け、薬液は、原水を除菌、および酸化させる薬液であることとした。 （もっと読む）

【課題】徴候型電子デバイス製品の製造に使用される高純度液体試薬及び化学機械的研磨組成等の化学試薬及び組成を保存し、分配するために、分配作業中に閉じ込められた液体が涸渇するか、涸渇に近づいている場合、空の状態又はほぼ空の状態を検出する機能を有する流体供給システムを提供する。
【解決手段】ディスペンサから分配された材料を使用する下流のツールへの材料を流すために、供給パッケージとサーボ油圧分配ポンプの中間で分配された材料を監視するか、周期的なスケジュールで補給されているディスペンサ内で、ディスペンサ室の補給時間を監視する圧力変換器を含む、空検出構成を使用する流体送出システムである。 （もっと読む）

【課題】単位時間内に供給されるＣ４混合物に含まれる有効成分の供給量を精度よく管理することができる供給量管理システムを提供する。
【解決手段】供給量管理システム１は、プラント内において、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に供給されるＣ４混合物に含まれる有効成分の供給量を管理するシステムであり、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に供給されるＣ４混合物の流量を連続的に計測する流量計測部２と、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に供給されるＣ４混合物に含まれる有効成分の濃度を連続的に計測する濃度計測部３と、流量計測部２によって計測されるＣ４混合物の流量データ及び濃度計測部３によって計測されるＣ４混合物に含まれる有効成分の濃度データを用いて、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に単位時間内に供給される有効成分の供給量を算出する算出部７と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】多種類の半導体ガスの貯蔵、供給装置を低圧で小型化する。
【解決手段】直方体形状の流体貯蔵・計量分配容器５０，５２を含む流体貯蔵・計量分配装置及び、こうした流体貯蔵・計量分配装置および／または使用時換気ガス清浄器６１を、換気されたガスキャビネット２０内に含む一体型ガスキャビネットアセンブリを開示する。たとえば、ガスキャビネット２０から供給された処理ガスが、有毒又は有害な特性のものである場合、ガスキャビネット２０は、物理的吸着剤及び化学吸着媒体の使用によって、運転の安全面で強化されることが可能である。 （もっと読む）

【課題】 電気的な制御を行うことなく後設機器の状況に拘わらず、粉粒体供給機を連続的に運転することができる粉粒体供給機の材料供給方法を提供すること。
【解決手段】 粉粒体が粉粒体供給通路内に密に充満した状態で水平回転テーブルを一定速度で回転駆動し、粉粒体供給通路内の壁面と該通路内の粉粒体との摩擦力をＦ１［Ｎ］、水平回転テーブルの上面と該上面上の粉粒体との摩擦力をＦ２［Ｎ］、内筒内部から粉粒体を粉粒体供給通路内へ送り出す力をＦ０［Ｎ］としたとき、Ｆ１＜Ｆ２ の状態のときＦ０＞０、即ち、内筒から上記粉粒体供給通路への上記粉粒体の送り出しを行い、Ｆ１≧Ｆ２の状態のときＦ０＝０、即ち、内筒から上記粉粒体供給通路への粉粒体の送り出しを停止する方法により粉粒体材料を粉粒体供給機から排出する。 （もっと読む）