Array ( [0] => 供給、排出、か焼、融解、ガス発生 [1] => 供給、排出(対象物) [2] => 気体 ) 供給、排出、か焼、融解、ガス発生 | 供給、排出(対象物) | 気体
説明

Fターム[4G068AB01]の内容

Fターム[4G068AB01]の下位に属するFターム

Fターム[4G068AB01]に分類される特許

1 - 20 / 109














イオン供給マニフォールドが、イオン化気体流を受入る気体輸送チャンネルと、複数の出口とを備える。複数の出口によって気体の流れは複数の中和気体流に分割され、複数の目標領域へ向けて方向づけられる。複数の出口から異なるイオン流量を流出させることによって、複数の目標領域を横断して少なくとも実質的に均一にイオンが分配される。複数の中和流れを目標領域に供給する方法が、イオン化気体流を受入る段階と、イオン化気体流を複数の中和流れに分割する段階と、中和流れを目標領域に方向づける段階とを含む。中和流れのイオン流量が異なるようにすることによって、複数の目標領域を横断して少なくとも実質的に均一なイオン分配が実現される。
(もっと読む)









1 - 20 / 109