供給、排出、か焼、融解、ガス発生 (6,716) | 供給、排出（対象となる装置） (785)

高温装置（加温） (68)
低温装置 (6)
高圧装置 (28)
真空装置（減圧装置） (11)
半導体製造装置 (67)
固定床、たな段塔 (12)
移動床 (2)
流動床、噴流床 (10)
回転容器 (6)
ホッパー (28)
管路 (99)
タンク、貯槽 (263)
その他 (185)