【課題】より容易且つ安価に真空度を確保することができる真空脱泡装置を提供する．
【解決手段】被脱泡液５を貯留するための耐圧容器２と、該容器２に接続され該容器２内を減圧するための減圧装置３１と、該被脱泡液５を攪拌するための攪拌器３と、該攪拌器３に接続され該攪拌器３を駆動させるための駆動装置４とを備える真空脱泡装置１において、該攪拌器３及び該駆動装置４は、該容器２内に設けられる。 （もっと読む）

記載されるのは高温の蒸発する液体、固体および気体を共通の移送流で移送するための移送機構であって、この移送機構は損失動力によって回路の加熱も可能とし、キャビテーションと軸受およびシールの汚れとを制御し、高い寿命を可能とする。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】微粒子材料を気化するための装置は計量装置を備え、計量装置は、貯留室１３０ａと；内部容積空間１５０と、微粒子材料を収容する第１の開口部、吐出する第２の開口部１６０とを有するハウジング１４０と；内部容積空間内に配置される回転式シャフト１７０であり、滑らかな表面と、貯留室からの微粒子材料を収容し、微粒子材料を吐出するための外周溝とを有する、シャフトと、微粒子材料が外周溝によって輸送され、回転式シャフトの残りの部分に沿って輸送されないように協動する、回転式シャフト及び内部容積空間と；第２の開口部１６０との関連で配置され、端部おいて、回転式シャフト内の溝と実質的に同じ断面を有するスクレーパであり、溝と協動して該溝の中に保持される微粒子材料を取り除き、シャフトが回転するのに応じて、計量された量の微粒子材料を第２の開口部１６０を通じてフラッシュ蒸発器１２０ａに送達する、スクレーパとを備える。
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【課題】排気時の圧力損失を低減させてオゾン供給装置を簡素化させる。
【解決手段】フィルター装置１は上ケーシング部２とフィルター部３と第一ガス流通部４とベローズ部５と第二ガス流通部６と下ケーシング部７とを備える。例えばオゾンチャンバーから排出されたガスの圧力がベローズ部５の内圧よりも低い状態で前記ガスが上ケーシング部２導入口２１に供されると（例えば前記ガスが真空排気される場合）、ベローズ部５が膨張してフィルター部３が導入口２１を閉塞させてフィルター部３が導入口２１に供されたガスをろ過処理する。一方、前記オゾンチャンバーから排出されたガスの圧力がベローズ部５の内圧以上で前記ガスが導入口２１に供されると（例えば前記ガスが大気圧で排気される場合）、ベローズ部５が収縮した状態となり上ケーシング部２とフィルター部３との間に隙間が確保される。 （もっと読む）

【課題】二フッ化キセノン（ＸｅＦ_２）を効率よく確実に供給することができるＸｅＦ_２供給装置を提供する。
【解決手段】ＸｅＦ_２の固体を内蔵した容器の加熱手段と、配管加熱手段と、配管内圧力検出手段と、ＸｅＦ_２の固体の蒸気圧と温度との関係を記憶した第１記憶手段と、容器加熱手段の加熱温度と配管加熱手段の加熱温度との関係を記憶した第２記憶手段と、各加熱手段を制御する制御手段とを備え、入力された初期設定圧力に所定の圧力を加算して設定圧力を求め、第１記憶手段の蒸気圧と温度との関係から設定圧力が得られる容器加熱温度目標値として求め、第２記憶手段に記憶された両加熱手段の加熱温度の関係から配管加熱温度目標値を求め、容器加熱温度目標値に基づいて容器加熱手段を、配管加熱温度目標値に基づいて配管加熱手段を制御するとともに、測定圧力が設定圧力に一致する方向に容器加熱温度目標値を調節する。 （もっと読む）

アルカリまたはアルカリ土類金属の供給装置（１０；２０；３０；４０；５０；６０）に関し、ゲッター材料（１３；２３；３３；４３；５３；６３）およびアルカリまたはアルカリ土類金属源（１２；２２；３２；４２；５３；６３）の堆積物を含み、アルカリまたはアルカリ土類金属源はゲッター材料の堆積物により雰囲気ガスから保護される。
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【課題】真空雰囲気下あるいは不活性ガス雰囲気下で、作製又は加工した微粒子を、外気（又は空気）に触れさせずに液体中に取り込む方法として、上記雰囲気を形成する密閉容器中の微粒子捕捉用の容器に予め液体を入れておく方法がある。しかしながら、この方法では、液体が容器から蒸発して上記の真空雰囲気又は不活性ガス雰囲気を形成できなくなることがあり、このため、用いる液体に制限があるという課題があった。
【解決手段】開口部１１を持つ密閉容器１２の上蓋１３を開け、微粒子の原料を入れる。次に、密閉容器１２内を真空雰囲気あるいは不活性ガス雰囲気とする。続いて、密閉容器１２内で、気相法又は粉砕法により微粒子を作製する。次に、密閉容器１２に不活性ガスを導入していき、密閉容器１２内の圧力が密閉容器２外の圧力よりも高い状態で開口部１１を開け、開口部１１から密閉容器１２内の容器１４内に液体１５を注入して、容器１４内に捕捉された微粒子を取り出す。 （もっと読む）

【課題】従来、装置工業においては、加減圧又は密閉された容器への原料供給という操作は日常的に行われてきたが、該容器へ供給する原料形態は気体、液体或いは粉粒体といったもので、供給方法が比較的容易で技術的には確立されているものの、固形原料よる供給方法については明快な提案が為されていないところに問題があった。本発明は、これら加減圧又は密閉された容器へ該容器を大気開放することなく、加減圧又は密閉状態を維持しつつ固形原料を供給することが課題である。
【解決手段】固形原料を積載して所定の位置まで移送するコンベアと、該固形原料を該加圧又は密閉された容器まで移動する移動機構、及び、該移動機構の圧力又は雰囲気を該容器の圧力又は雰囲気と均一化する雰囲気調整部で構成する加減圧又は密閉された容器への固形原料供給装置によって解決した。 （もっと読む）

蒸発システムに供給する所定量の液体汚染除去剤を計量する方法および装置である。注入器に所定量の液体汚染除去剤を充填しチャンバを真空にするため１つの真空源が使用される。注入器に充填した液体汚染除去剤をチャンバに注入する。液体汚染除去剤はチャンバ内で蒸発して蒸気汚染除去剤が生成される。 （もっと読む）

【課題】 汽水分離槽内を真空状態に保ったまま槽内に溜まった水を外部に排出できるようにする。
【解決手段】 第1蓄水槽５２内の圧力を真空圧レベルに調整するとともに第１連通路ＰＬ１を開放して汽水分離槽５１内の水を第１蓄水槽５２内へ流入させる第１の蓄水動作及び第２連通路ＰＬ２を閉止するとともに第２蓄水槽５３内の圧力を大気圧レベルに調整して第２蓄水槽５３内の水を外部に排出させる第１の排水動作を同時に行う第１の工程と、第２蓄水槽５３内の圧力を真空圧レベルに調整するとともに第２連通路ＰＬ２を開放して汽水分離槽５１内の水を第２蓄水槽５３内へ流入させる第２の蓄水動作及び第１連通路ＰＬ１を閉止するとともに第1蓄水槽５２内の圧力を大気圧レベルに調整して第１蓄水槽５２内の水を外部に排出させる第２の排水動作を同時に行う第２の工程とを交互に繰り返し行う。 （もっと読む）

本発明では液滴吐出装置から吐出された液滴が基板に着弾した後の位置制御を改善することが可能なパターンの作製方法を提供する。また着弾後の液滴位置精度を改善することが可能な液滴吐出装置を提供する。更には、本発明の液滴吐出装置を用いた半導体装置の製造方法を提供する。
本発明は、吐出部から吐出された液滴、又は液滴を着弾する基板にレーザ光を照射して、液滴の着弾位置を制御することを特徴とする。本発明によりフォトリソグラフィー工程を用いることなくパターンを形成することが可能である。
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