【課題】窒化ガリウム（ＧａＮ）の結晶成長を促進するフラックスとして機能するナトリウムを低コストで精製し供給する装置及び方法を提供する。
【解決手段】原料である固体ナトリウムｓｌを収容すると共に、液体ナトリウムｍｌについて通過自在かつ前記固体ナトリウムｓｌに不可避的に含まれるナトリウム化合物については通過を阻止して除去するろ過機能を有するろ過容器１と、固体ナトリウムｓｌが溶融し、かつ、前記ナトリウム化合物が溶融しない温度に固体ナトリウムｓｌを加熱する加熱保温部１５と、ろ過機能に基づいてろ過容器１から流れ出た液体ナトリウムｍｌを坩堝Ｂに供給する供給手段と、ろ過容器１、加熱保温部１５及び供給手段を非酸化性雰囲気に保持するチャンバ１６とを具備する。 （もっと読む）

【課題】構造の簡素化と流通させる液体の清浄度向上との両立を図り、液体の供給停止後に生じる使用部における液垂れを抑制することができる新たな構造を備えた液体供給装置を提供する。
【解決手段】液体の供給部１０と、液体の使用部２０と、供給部から使用部へ液体を流通させる供給配管部３０とを有する液体供給装置１Ａであって、供給配管部は、供給部側から供給される液体を流通させる主配管部３１と、主配管部に接続されるアスピレータ５０と、アスピレータにより分岐され使用部側に液体を供給する使用側配管部３２及び副配管部３３と、副配管部に接続され開閉機能を有する弁１６とを備えており、アスピレータの主流路側に主配管部及び副配管部が接続され、アスピレータの吸引流路側に使用側配管部が接続される。 （もっと読む）

【課題】 ガス供給装置の緊急事態への対応、および消費量が変動する用途への対応ができるとともに、こうした対応時においても、製品ガスやエネルギーのロスが少なく、ガス供給システム全体のエネルギー消費を最小化することができること。
【解決手段】 消費設備に給送される基準ガス量Ｇｏを設定し、基準ガス量Ｇｏをガス供給装置１から分流点Ｍに給送されるガス量Ｇｓによって確保するように、ガス供給装置１から供出されるガスとベント流路Ｌ４に放出されるガスの、それぞれの圧力および流量を制御するとともに、消費設備に給送される所望のガス量Ｇが基準ガス量Ｇｏを超える場合の差量分ｄＧ、およびガス供給装置１が停止あるいは急速な供給量の低下状態の発生時における所望のガス量Ｇを、バックアップ装置２から分流点Ｍに給送されるガス量Ｇｗによって確保するように制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】全体的に選択触媒還元システムにおける流体のろ過に関する。
【解決手段】流体分配システムは、高体積のタンク１８内流体ろ過と例えばＳＣＲインジェクタのような外部装置１６への低体積流体分配とを組み合わせたバイパス流体フィルタ３６を備えている。流体フィルタ・ハウジングに沿って設けられた一つ以上の出口ポートは、他の流体分配システム・コンポーネントへ向かって流体２６を放出するように構成することができる。液体還元剤が未使用時に凍結する場合のある例えばＳＣＲシステムのようなシステムにおいて、既に融解した液体を他のシステム・コンポーネントに向かわせることは、所望の位置で最初に凍結した還元剤を融解するのに役立てることができる。流体分配システムは、分配サイクル時及びパージ・サイクル時に、フィルタを通る流れが同一方向を向くように配置することもできる。 （もっと読む）

【課題】 難溶解性気体の場合であっても、上記気体が溶解された液体を、溶解された気体の放出を最小限に抑制しつつ、次工程に搬送することが可能な気体溶解装置及び気体溶解方法を提供することにある。
【解決手段】 所定圧に加圧された気体を注入する気体注入部と、所定圧に加圧された液体を注入する液体注入部と、上記気体注入部及び上記液体注入部に接続されると共に、注入された上記気体と液体とを混合して溶解させる気液混合溶解器、及び上記気体が溶解した液体を注入時の圧力よりも低い所定圧まで減圧させる背圧バルブとを有する気液混合溶解部と、上記気液混合溶解部に接続されると共に、注入時の圧力よりも低い所定圧に加圧され、上記気体が溶解した液体と、上記気液混合溶解部おいて溶解しなかった気体とを、所定時間貯蔵して分離する気液分離部と、上記気液分離部に接続され、所定長及び所定径寸法を有し、上記気体が溶解された液体を減圧する減圧管路部とを有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】ディッシュの内底面の周囲部分を含む領域に対して、シリンジのノズルから吐出した液体を直接掛けることが可能な分注装置を提供する。
【解決手段】底面及び前記底面を囲む側面を有して形成されるディッシュが装着されるディッシュ装着部と、液体を吐出するノズルを有するシリンジと、前記ディッシュ装着部を前記シリンジに向けて傾斜させると共に、前記シリンジのノズルを前記ディッシュの内底面に垂直に向けた際の前記ノズルから前記内底面に至る垂線の向きを基準に、前記シリンジのノズルの向きを、前記ディッシュの内底面と内側面とが接する領域上において向かい合う２つの位置を結ぶ第１方向と、前記第１方向に交差する第２方向とにそれぞれ変える駆動部と、前記シリンジのノズルから液体を吐出させる制御部と、を備えることを特徴とする分注装置。 （もっと読む）

【課題】最低限の圧力で送液を行い、液体に気体を溶解させる。
【解決手段】気液混合流体生成装置３は、容器３ａと、その容器３ａ内に連通し、気体が溶存した液体を容器３ａ内に供給するための液体供給流路３ｂと、容器３ａを密閉状態及び開放状態に切替可能であり、液体供給流路３ｂから容器３ａへ送液を行う間、容器３ａを開放状態にして容器３ａの内圧を、液体供給流路３ｂ内の液体を容器３ａに向かって押す圧力未満にする内圧調整部３ｄと、容器３ａ内に連通し、液体が供給された密閉状態の容器３ａ内の空間に気体を供給するための気体供給流路３ｅとを備える。 （もっと読む）

【課題】電解液の注入量をさらに精度よく制御できる装置を提供する。
【解決手段】注入装置１は、シリンダ１１内の計量空間Ｓをピストン１２が動く計量ユニット１０と、電解液１９を注入するディスペンサ２０と、計量空間Ｓの上端部とディスペンサ２０とをつなぐ第１の管路４１と、第１の管路４１に配置され、ピストン１２の動作に伴う背圧の変化により作動する背圧弁５０と、第２の管路４２を介して計量空間Ｓへ流入する液をオンオフする入口弁５と、操作棒６１により背圧弁５０を一時的に開にセットする開放ユニット６０とを有する。 （もっと読む）

【課題】汚水が収容される圧力容器にオゾンガスをより効率的に低コストで注入することができる気体注入装置を提供すること。
【解決手段】溶解タンク１内に加圧下で収容される汚水９を溶解タンク１から導出管３１を介して導出させ、導出させた汚水９を循環ポンプ４６でさらに加圧した後、オゾンガス６１が収容されているバッファタンク４１ａに導入し、その汚水９の圧力によりバッファタンク４１ａ内のオゾンガス６１を加圧する。オゾンガス６１の圧力が溶解タンク１内の圧力を超えると、バッファタンク４１ａ内のオゾンガス６１が気体導出管５４ａを介して溶解タンク１内に注入される。 （もっと読む）

【課題】安価な構成で純水の供給量を正確に計量することができる純水供給システムを提供する。
【解決手段】純水供給システム１は、純水を溜める貯留槽１０と、この貯留槽１０に溜めた純水を貯留槽１０の外部に送給して貯留槽１０に戻す循環路１２と、貯留槽１０から循環路１２に純水を送給するポンプ１１とを備えている。循環路１２の途中部には、鉛直下方に延びて循環路１２を流れる純水を反応槽３に供給する供給配管１３が接続されている。前記循環路１２には、前記途中部から上流側の所定範囲にかけて水平方向に延びる主管部１２ｅ１が設けられ、この主管部１２ｅ１には反応槽３に供給される純水の流量を計量する流量計８が配置されている。循環路１２の前記塗中部よりも下流側には、循環路１２を開閉する第１開閉弁１４ａが配置され、供給配管１３には当該供給配管１３を開閉する第２開閉弁１４ｂが配置されている。 （もっと読む）

【課題】薬剤濃度の変動が少ない薬剤水溶液を供給することができる薬剤溶解供給装置を提供する。
【解決手段】槽３は、下部の一方の側面部に水の流入口３ａを有し、他方の側面部に水の流出口３ｂを有している。流入口３ａ及び流出口３ｂは、槽３の底部と同レベルに設けられている。流入口３ａ及び流出口３ｂには、それぞれ固形薬剤Ａの流出防止用のメッシュ４が設けられている。流入口３ａには、ポンプ２からの水が定流量弁６を介して導入可能とされている。槽３の上部には、空気の導入口３ｅが設けられ、ブロワ５からの空気が槽３内に導入可能とされている。 （もっと読む）

【課題】流体を低圧用途に分配するための低圧の吸着体ベースの流体貯留および分配容器を使用する際における流体利用率を最大にする改良された方法の提供。
【解決手段】容器内にナノ多孔質炭素吸着体２０を保持する流体貯留および分配装置１０で、１つの実施態様は脱硫用途、別の実施態様は塩素ガスなどの貯留である。配置構成では複数の多孔質炭素物品が移動しないように拘束するために位置安定化構造が用いられる。制御された方法で酸素と反応するシランを貯留するために炭素吸着体を使用する赤外線放射デバイスについて、吸着体の抵抗および／または誘導加熱によって炭素吸着体が残留流体を脱着する配置構成は、炭素吸着体を膨張剤と接触させ、続いて炭素吸着体を加圧したガス状浸透剤と接触させて、膨張剤および浸透剤を除去することにより、多孔質炭素吸着体の充填能力を増加させる方法。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で且つ乾式とし、装置コスト、ランニングコストの低いパイライト排出装置を提供する。
【解決手段】パイライト２を貯蔵するホッパ１と、該ホッパの上端に連通されたパイライト排出ダクト３と、前記ホッパの下部に設けられ開閉扉８により開閉されるパイライト切出し口７と、前記パイライト排出ダクトに設けられゲートシリンダ５により開閉されるゲートバルブ４と、ロックシリンダ１２によって駆動され前記開閉扉のロック／ロック解除を行うロック機構１１と、前記ゲートシリンダ、前記ロックシリンダにそれぞれ作動圧を給排する駆動回路とを具備し、該駆動回路は前記ゲートシリンダによるゲートバルブの開／閉に対応させ、前記ロックシリンダによる前記ロック機構のロック／解除を行う様に構成した。 （もっと読む）

【課題】徴候型電子デバイス製品の製造に使用される高純度液体試薬及び化学機械的研磨組成等の化学試薬及び組成を保存し、分配するために、分配作業中に閉じ込められた液体が涸渇するか、涸渇に近づいている場合、空の状態又はほぼ空の状態を検出する機能を有する流体供給システムを提供する。
【解決手段】ディスペンサから分配された材料を使用する下流のツールへの材料を流すために、供給パッケージとサーボ油圧分配ポンプの中間で分配された材料を監視するか、周期的なスケジュールで補給されているディスペンサ内で、ディスペンサ室の補給時間を監視する圧力変換器を含む、空検出構成を使用する流体送出システムである。 （もっと読む）

【課題】希釈剤を有する固形製品を分配する方法および装置を提供する。
【解決手段】ディスペンサー１０は、第１と第２の流れ制御部を使用する。流れ制御部は、ある圧力範囲内において希釈剤の圧力とは無関係な第１と第２の流れ範囲を維持しており、そこでは使用溶液の濃度は、その圧力範囲にわたって維持される。第３の流れ制御部がまた、その圧力範囲内において希釈剤の圧力とは無関係な第３の流れ範囲を維持するために、第３の希釈剤通路において使用されても良い。バイパスバルブ組立体は、第３の流入希釈剤通路に作動可能に接続する。バイパスバルブは、温度制御バルブを有する。温度制御バルブはバイパス通路を有し、追加の希釈剤が使用溶液に追加されて、それによって使用溶液の濃度を制御する。 （もっと読む）

【課題】多種類の半導体ガスの貯蔵、供給装置を低圧で小型化する。
【解決手段】直方体形状の流体貯蔵・計量分配容器５０，５２を含む流体貯蔵・計量分配装置及び、こうした流体貯蔵・計量分配装置および／または使用時換気ガス清浄器６１を、換気されたガスキャビネット２０内に含む一体型ガスキャビネットアセンブリを開示する。たとえば、ガスキャビネット２０から供給された処理ガスが、有毒又は有害な特性のものである場合、ガスキャビネット２０は、物理的吸着剤及び化学吸着媒体の使用によって、運転の安全面で強化されることが可能である。 （もっと読む）

【課題】 加圧容器に、液体を安定して確実に供給することができる液体供給装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
タンクから供給ポンプを介して加圧容器に注液する液体供給装置であって、前記加圧容器に接した注液流路にピストン形状の弁構造体を抜き差しして、流路の開閉を制御する第１の流路開閉手段であるピストンバルブが配置され、前記供給ポンプと前記ピストンバルブとの間にさらに別の弁構造を有する第２の流路開閉手段が配置されていることを特徴とする。
また、上記液体供給装置を使用して加圧容器に注液する液体供給方法であって、第1の流路開閉手段が開状態の場合は、必ず第１の流路開閉手段と第２の流路開閉手段との間の液圧力が加圧容器内から供給装置側へ逆流する液圧力より高くなるように供給ポンプの運転／停止、両開閉装置の開／閉タイミングおよび開度を制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 液体滅菌剤のような一定容量の液体をコンテナから気化装置内に計量供給するための装置および方法を提供する。
【解決手段】 上記の供給装置の動作方法は、付加的な液体滅菌剤の必要性を感知する工程と、当該液体滅菌剤が使用可能であるか否かを決定する工程と、当該液体滅菌剤をコンテナからアキュムレータ内に供給する工程とにより構成されている。さらに、気化装置内に液体滅菌剤を計量供給する方法は、当該気化装置に接続するチャンバー内を真空にする工程と、供給の流れを継続的に感知しながら液体滅菌剤を気化装置内に供給する工程とにより構成されている。この計量装置は緩やかで制御された流れを維持することにより、液体滅菌剤の気化効率を高め、ガス／液体境界面の正確な感知を実行可能にする。 （もっと読む）

【課題】所定量の軟膏基剤をチューブ容器のような充填口の小さな容器への注入や、広口の軟膏壺であっても正確に所定量を注入可能であるとともに、火傷の心配もなく安全で且つ場所もとらずに使い勝手のよい軟膏基剤の注入装置を提供する。
【解決手段】開閉手段を有する所定口径の注入口が底面に突設された軟膏基剤を収容する容器本体に収容された軟膏基剤を所定の温度に加熱、溶解するための第１の加熱手段が付設されているとともに、容器本体の注入口近傍に軟膏基剤の溶解温度よりも低い所定の温度に加熱する第２の加熱手段が付設されている注入器本体と、注入器本体を垂直または傾斜状態に支持する支持基台とからなるものとした。 （もっと読む）

【課題】シリンダを分解しなくてもその内部の渣滓がたまりやすい箇所を洗浄することができる。
【解決手段】流体送出装置２０は、シリンダ５０と、ピストン５２とを備える。ピストン５２が、ピストン本体と、シール材と、流路弁とを有する。ピストン本体は連通流路を有する。連通流路は、駆動流体室６０と送出流体室６２とを連通させる。シール材は、ピストン本体の外周に設けられる。シール材は、シリンダ５０の内面とピストン本体との間をシールする。流路弁は、連通流路内に設けられる。流路弁は、駆動流体の圧力と送出流体の圧力との差が閾値を超えると駆動流体が連通流路を通過できるよう開く。 （もっと読む）