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Fターム[4G068AF31]の内容

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【課題】窒化ガリウム(GaN)の結晶成長を促進するフラックスとして機能するナトリウムを低コストで精製し供給する装置及び方法を提供する。
【解決手段】原料である固体ナトリウムslを収容すると共に、液体ナトリウムmlについて通過自在かつ前記固体ナトリウムslに不可避的に含まれるナトリウム化合物については通過を阻止して除去するろ過機能を有するろ過容器1と、固体ナトリウムslが溶融し、かつ、前記ナトリウム化合物が溶融しない温度に固体ナトリウムslを加熱する加熱保温部15と、ろ過機能に基づいてろ過容器1から流れ出た液体ナトリウムmlを坩堝Bに供給する供給手段と、ろ過容器1、加熱保温部15及び供給手段を非酸化性雰囲気に保持するチャンバ16とを具備する。 (もっと読む)


【課題】簡便な構成で、固形分の析出等による被処理液系の配管の閉塞等が抑制され、被処理液中の薬剤濃度を微調整することができる固形薬剤供給装置を提供する。
【解決手段】固形薬剤を内部に充填した少なくとも1つの薬剤充填容器12と、薬剤充填容器12内の固形薬剤を溶解するために、薬剤充填容器12内に溶媒を供給する溶媒供給手段と、固形薬剤が溶解された溶解液が流入する溶解液貯槽14と、溶解液を希釈するために、希釈用溶媒を溶解液貯槽14へ供給する希釈用溶媒供給手段と、溶解液貯槽14内の溶解液の希釈溶液を被処理液系に供給するための希釈溶液供給手段と、を備える固形薬剤供給装置である。 (もっと読む)


【課題】構造の簡素化と流通させる液体の清浄度向上との両立を図り、液体の供給停止後に生じる使用部における液垂れを抑制することができる新たな構造を備えた液体供給装置を提供する。
【解決手段】液体の供給部10と、液体の使用部20と、供給部から使用部へ液体を流通させる供給配管部30とを有する液体供給装置1Aであって、供給配管部は、供給部側から供給される液体を流通させる主配管部31と、主配管部に接続されるアスピレータ50と、アスピレータにより分岐され使用部側に液体を供給する使用側配管部32及び副配管部33と、副配管部に接続され開閉機能を有する弁16とを備えており、アスピレータの主流路側に主配管部及び副配管部が接続され、アスピレータの吸引流路側に使用側配管部が接続される。 (もっと読む)


【課題】最低限の圧力で送液を行い、液体に気体を溶解させる。
【解決手段】気液混合流体生成装置3は、容器3aと、その容器3a内に連通し、気体が溶存した液体を容器3a内に供給するための液体供給流路3bと、容器3aを密閉状態及び開放状態に切替可能であり、液体供給流路3bから容器3aへ送液を行う間、容器3aを開放状態にして容器3aの内圧を、液体供給流路3b内の液体を容器3aに向かって押す圧力未満にする内圧調整部3dと、容器3a内に連通し、液体が供給された密閉状態の容器3a内の空間に気体を供給するための気体供給流路3eとを備える。 (もっと読む)


【課題】 難溶解性気体の場合であっても、上記気体が溶解された液体を、溶解された気体の放出を最小限に抑制しつつ、次工程に搬送することが可能な気体溶解装置及び気体溶解方法を提供することにある。
【解決手段】 所定圧に加圧された気体を注入する気体注入部と、所定圧に加圧された液体を注入する液体注入部と、上記気体注入部及び上記液体注入部に接続されると共に、注入された上記気体と液体とを混合して溶解させる気液混合溶解器、及び上記気体が溶解した液体を注入時の圧力よりも低い所定圧まで減圧させる背圧バルブとを有する気液混合溶解部と、上記気液混合溶解部に接続されると共に、注入時の圧力よりも低い所定圧に加圧され、上記気体が溶解した液体と、上記気液混合溶解部おいて溶解しなかった気体とを、所定時間貯蔵して分離する気液分離部と、上記気液分離部に接続され、所定長及び所定径寸法を有し、上記気体が溶解された液体を減圧する減圧管路部とを有する構成とする。 (もっと読む)


【課題】ディッシュの内底面の周囲部分を含む領域に対して、シリンジのノズルから吐出した液体を直接掛けることが可能な分注装置を提供する。
【解決手段】底面及び前記底面を囲む側面を有して形成されるディッシュが装着されるディッシュ装着部と、液体を吐出するノズルを有するシリンジと、前記ディッシュ装着部を前記シリンジに向けて傾斜させると共に、前記シリンジのノズルを前記ディッシュの内底面に垂直に向けた際の前記ノズルから前記内底面に至る垂線の向きを基準に、前記シリンジのノズルの向きを、前記ディッシュの内底面と内側面とが接する領域上において向かい合う2つの位置を結ぶ第1方向と、前記第1方向に交差する第2方向とにそれぞれ変える駆動部と、前記シリンジのノズルから液体を吐出させる制御部と、を備えることを特徴とする分注装置。 (もっと読む)


【課題】電解液の注入量をさらに精度よく制御できる装置を提供する。
【解決手段】注入装置1は、シリンダ11内の計量空間Sをピストン12が動く計量ユニット10と、電解液19を注入するディスペンサ20と、計量空間Sの上端部とディスペンサ20とをつなぐ第1の管路41と、第1の管路41に配置され、ピストン12の動作に伴う背圧の変化により作動する背圧弁50と、第2の管路42を介して計量空間Sへ流入する液をオンオフする入口弁5と、操作棒61により背圧弁50を一時的に開にセットする開放ユニット60とを有する。 (もっと読む)


【課題】汚水が収容される圧力容器にオゾンガスをより効率的に低コストで注入することができる気体注入装置を提供すること。
【解決手段】溶解タンク1内に加圧下で収容される汚水9を溶解タンク1から導出管31を介して導出させ、導出させた汚水9を循環ポンプ46でさらに加圧した後、オゾンガス61が収容されているバッファタンク41aに導入し、その汚水9の圧力によりバッファタンク41a内のオゾンガス61を加圧する。オゾンガス61の圧力が溶解タンク1内の圧力を超えると、バッファタンク41a内のオゾンガス61が気体導出管54aを介して溶解タンク1内に注入される。 (もっと読む)


【課題】 液体を計量容器に高速、かつ高精度で分注することができるようにする。
【解決手段】 供給容器内の液体を計量容器に、精密に分注するための分注装置において、当該供給容器にチューブで結ばれた粗秤量供給用のポンプとしてのエアーブロアを具備し、当該供給容器と当該計量容器間にチューブで結ばれた精密秤量供給用のポンプとしての圧電素子式ポンプを具備し、当該計量容器に注入された液体重量を計測する精密電子天秤を具備することを特徴とする精密液体分注装置。 (もっと読む)


【課題】より高精度な混合比率を得ることができる連続計量混合システムを提供する。
【解決手段】各々、異なる被計量物を連続して排出し、各被計量物の目標混合比率に応じて設定される各被計量物の単位時間当たりの設定排出量に基づいて各被計量物の排出量を制御するように構成されるとともに、各々から排出する被計量物が液体または粉体であって少なくとも1つの被計量物が液体である、複数の連続計量供給装置2,3,4と、全ての連続計量供給装置2,3,4から排出される被計量物を混合しながら連続して排出する混合装置5と、混合装置5から排出される混合物を後段装置へ供給するための輸送ライン7と、輸送ライン7の中途に挿入された貯槽8と、貯槽8内の混合物を吸い出すポンプ10と、ポンプ10で吸い出した混合物を貯槽8よりも混合装置5寄りの輸送ライン7へ戻すための戻りライン9とを備えている。 (もっと読む)


【課題】ソレノイド駆動式のダイヤフラムポンプを用いても、騒音の低減が可能な除菌器を提供すること。
【解決手段】連結管7内を流れる流体に薬液を注入することで、除菌を行う除菌器1において、第1ベース12、第1ベース12の上面よりもその上面が上方に配置された第2ベース14、及び、第1ベース12及び第2ベース14と連続する壁部13を有し、樹脂材料により成形された架台3と、第2ベース14上に配置された薬液を貯留させる薬液槽4と、壁部13に配置される電磁ソレノイド42、及び、電磁ソレノイド42により駆動され、薬液を連結管7内に圧送するダイヤフラムポンプ41を有する薬液注入手段6と、ダイヤフラムポンプ41を支持するとともに、第1ベース12に固定される支持体51、第1ベース12及び支持体51との間に介在される第1弾性部材52と、を備える構成とした。 (もっと読む)


【課題】薬液の注入不良を防止することが可能な薬液注入装置を提供すること。
【解決手段】薬液注入装置1は、薬液槽10に貯留された薬液を本管100に流れる水に注入するダイヤフラムポンプ11と、ダイヤフラムポンプ11により本管100に注入される薬液の流量を検出する第1流量センサ14と、本管100を流れる水の流量を検出する第2流量センサ15と、第1流量センサ14及び第2流量センサ15により検出された流量から、水に注入された薬液の濃度を算出するとともに、目標の薬液の濃度とするために、ダイヤフラムポンプ11から注入される薬液の量を制御する制御装置18と、を備える構成とする。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成で且つ乾式とし、装置コスト、ランニングコストの低いパイライト排出装置を提供する。
【解決手段】パイライト2を貯蔵するホッパ1と、該ホッパの上端に連通されたパイライト排出ダクト3と、前記ホッパの下部に設けられ開閉扉8により開閉されるパイライト切出し口7と、前記パイライト排出ダクトに設けられゲートシリンダ5により開閉されるゲートバルブ4と、ロックシリンダ12によって駆動され前記開閉扉のロック/ロック解除を行うロック機構11と、前記ゲートシリンダ、前記ロックシリンダにそれぞれ作動圧を給排する駆動回路とを具備し、該駆動回路は前記ゲートシリンダによるゲートバルブの開/閉に対応させ、前記ロックシリンダによる前記ロック機構のロック/解除を行う様に構成した。 (もっと読む)


【課題】徴候型電子デバイス製品の製造に使用される高純度液体試薬及び化学機械的研磨組成等の化学試薬及び組成を保存し、分配するために、分配作業中に閉じ込められた液体が涸渇するか、涸渇に近づいている場合、空の状態又はほぼ空の状態を検出する機能を有する流体供給システムを提供する。
【解決手段】ディスペンサから分配された材料を使用する下流のツールへの材料を流すために、供給パッケージとサーボ油圧分配ポンプの中間で分配された材料を監視するか、周期的なスケジュールで補給されているディスペンサ内で、ディスペンサ室の補給時間を監視する圧力変換器を含む、空検出構成を使用する流体送出システムである。 (もっと読む)


【課題】小型でコンパクトな液体輸送装置を提供することにある。
【解決手段】内部に液体を含有するシリンジ外筒及びシリンジ外筒の内部を摺動するピストンで構成されたシリンジと、一方の端部が前記シリンジ外筒に連結されたチューブと、ピストンを押す押し子と、を有し、押し子によりピストンを押し、シリンジ外筒からチューブに液体を供給することで、チューブの他端から液体を供給する液体輸送装置であって、シリンジ外筒を支持する支持部と、シリンジと略平行に配置され、かつ、押し子を支持部に対して、ピストンの移動方向に直線的に相対移動させる直線移動機構と、ピストンと押し子との間に配置され、押し子がピストンを押すことで発生する圧力を検出する圧力検出部と、を備えかつ、圧力検出部で検出した圧力に基づいて、直線移動機構の動作を制御する制御部と、を有することで上記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】希釈剤を有する固形製品を分配する方法および装置を提供する。
【解決手段】ディスペンサー10は、第1と第2の流れ制御部を使用する。流れ制御部は、ある圧力範囲内において希釈剤の圧力とは無関係な第1と第2の流れ範囲を維持しており、そこでは使用溶液の濃度は、その圧力範囲にわたって維持される。第3の流れ制御部がまた、その圧力範囲内において希釈剤の圧力とは無関係な第3の流れ範囲を維持するために、第3の希釈剤通路において使用されても良い。バイパスバルブ組立体は、第3の流入希釈剤通路に作動可能に接続する。バイパスバルブは、温度制御バルブを有する。温度制御バルブはバイパス通路を有し、追加の希釈剤が使用溶液に追加されて、それによって使用溶液の濃度を制御する。 (もっと読む)


【課題】液の停止・前進を簡便に切り替えることのできるコンパクトな送液装置を提供する。
【解決手段】流路と、液体を前記流路に導入する液受け部と、前記流路内の液体を排出する排出部と、前記排出部内及び/又は前記流路内に設けられた第一の吸収体と、前記第一の吸収体よりも前記液受け部側に設けられた第二の吸収体と、を備え、前記流路と前記液受け部との合計容積をQ0、前記第一の吸収体の吸収可能液容量をQ1、前記第二の吸収体の吸収可能液容量をQ2、前記第一の吸収体の吸収力をF1、第前記二の吸収体の吸収力をF2とするとき、Q1+Q2≧Q0≧Q2及びF1≦F2が成立することを特徴とする送液装置。 (もっと読む)


【課題】特別な装置を必要とせずに、対象ガス使用装置からの排気に含まれるフッ素によって、排気システムを構成する樹脂製材料が腐食されること抑制し、排気システムの寿命を延長させること。
【解決手段】本発明は、フッ素ガスまたは反応性の高いフッ素系ガスを排出する対象装置から排出された排気を処理するための処理装置、および、上記対象装置と上記処理装置とを接続する樹脂製部分を含む送気管を備える排気システムであって、少なくとも上記送気管内の樹脂製部分の一部に、フッ素と反応する物質を含有する反応用ガスが供給されることを特徴とする、排気システムである。 (もっと読む)


【課題】本発明は、二酸化炭素地中注入のための圧力及び温度調節機能が向上した二酸化炭素分配装置を提供するためのものである。
【解決手段】本発明は、複数の貯蔵タンクから地中注入のための二酸化炭素の取り入れられるように複数個に分枝形成された多岐管部と、入側は多岐管部と連通形成され、出側は地中管井に向かう注入配管と連結されて、多岐管部を通じて取り入れられた二酸化炭素を上記注入配管を通じて供給するように形成された分配チャンバー部と、分配チャンバー部の内部に取り入れられた二酸化炭素の温度を調節する温度調節部と、上記分配チャンバー部を通じて地中注入される二酸化炭素の流量及び油圧を調節する流量油圧調節部と、を含む構成からなり、地中注入時の二酸化炭素の温度及び圧力条件の安定性が確保できることは勿論、これをリアルタイムまたは時間帯別に、あるいはユーザ要請によって、何時でもユーザ端末機を通じてモニターリングできる効果がある。 (もっと読む)


【課題】 加圧容器に、液体を安定して確実に供給することができる液体供給装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
タンクから供給ポンプを介して加圧容器に注液する液体供給装置であって、前記加圧容器に接した注液流路にピストン形状の弁構造体を抜き差しして、流路の開閉を制御する第1の流路開閉手段であるピストンバルブが配置され、前記供給ポンプと前記ピストンバルブとの間にさらに別の弁構造を有する第2の流路開閉手段が配置されていることを特徴とする。
また、上記液体供給装置を使用して加圧容器に注液する液体供給方法であって、第1の流路開閉手段が開状態の場合は、必ず第1の流路開閉手段と第2の流路開閉手段との間の液圧力が加圧容器内から供給装置側へ逆流する液圧力より高くなるように供給ポンプの運転/停止、両開閉装置の開/閉タイミングおよび開度を制御することを特徴とする。 (もっと読む)


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